【課題】
帯状の基材に粘着剤層が形成された粘着シートを製造すべく、基材に形成されたエマルション粘着剤溶液を乾燥するための粘着シート製造用乾燥装置であって、粘着シートの乾燥装置へのセッティングや乾燥装置のメンテナンスが簡便に行えるとともに、粘着シートの自重による撓みを抑制し、粘着シートの乾燥装置への接触を防止することを課題とする。
【解決手段】
粘着シート製造用乾燥装置には、搬送コンベア、マイクロ波導波路部材が備わっており、マイクロ波導波路部材は、２枚の鋼板に設けられた溝を対向させることによってマイクロ波導波路が形成されたものであり、マイクロ波導波路部材には、搬送コンベアと粘着シートを通過させるためのスリットが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理室内において処理空間から非処理空間へのマイクロ波の漏洩を抑制し、非処理空間内の基板搬送口等に設けられるＯリングの焼損やパーティクルの発生を抑制する手段を提供する。
【解決手段】基板を処理する処理室１１０を形成し導電性の壁で構成される処理容器１８と、処理室内に設けられ、基板が載置される側の基板載置面と該基板載置面と垂直な側壁とを有する導電性の基板支持台１２と、基板加熱処理時における基板載置面側の空間である処理空間へマイクロ波を供給するマイクロ波供給部２３と、基板加熱処理時における基板載置面と反対側の空間である非処理空間１３０を形成する処理容器の壁に設けられ、基板を処理室内外へ搬送する基板搬送口７１と、基板支持台の側壁又は該側壁に対向する処理容器の内壁に設けられ、処理空間へ供給されたマイクロ波が非処理空間へ通過することを抑制するマイクロ波通過抑制用の溝１７と、を備えるた基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】加熱モードの切り替えを一層効果的に行う。
【解決手段】加熱調理器は、導電性材料で構成され、マグネトロンから導波管１０内に供給されたマイクロ波を、導通孔１２を介して加熱庫３内に導く２つのアンテナ１６，１７を備える。２つのアンテナ１６，１７のうち少なくともアンテナ１７は、導通孔１２を貫通する内側回転軸１７ａを有し、アンテナ１６と相互に絶縁された状態で内側回転軸１７ａを回転軸として回転可能に配設されている。内側回転軸１７ａを有するアンテナ１７に接続されたアンテナモータ１９が当該アンテナ１７を回転させると、このアンテナ１７の回転に連動してアンテナ１６が回転するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率に優れ、加熱対象物に対して簡単な構造で効率よく加熱することができる。
【解決手段】誘電加熱装置１は、断面形状が楕円形をなす空胴部２を有する空胴体３と、空胴部２の内部にマイクロ波Ｍを供給するための発振器４と、一端が発振器４に接続されていて他端が空胴部２に連通して設けられた導波管５と、空胴部２の外周の一部に開口して形成された開口部６とを備え、空胴部２において、マイクロ波Ｍの電界の向きが空胴部２の断面に対して直交する方向の厚さ方向に一致するとともに、楕円短軸ｙ付近にマイクロ波Ｍのエネルギーが集中する共振による電磁界集中領域Ｔを形成することで、発振器４から発振されるマイクロ波Ｍが導波管５を介して空胴体３内（空胴部２）に伝達され、空胴体３の開口部６から加熱対象物Ｋに向けてマイクロ波Ｍを放射する構成とした。 （もっと読む）

【課題】単一の高周波照射部を用いる場合でも、微粒子捕集部を均一に加熱し、微粒子捕集部の溶損を低減し、微粒子捕集部の再生が図られる排気浄化装置を提供する。
【解決手段】排気浄化装置１０は、高周波照射部１３から照射されたマイクロ波を微粒子捕集部１２側へ反射するタービン１６および段差部２３を有している。タービン１６の翼面２８は、排気通路１４の中心軸に対し傾斜している。そのため、タービン１６が回転すると、高周波照射部１３から照射されたマイクロ波が反射する翼面２８の位置は変化する。これにより、タービン１６が回転すると、タービン１６で反射したマイクロ波は、伝搬長が変化し、微粒子捕集部１２における位相が変化する。その結果、タービン１６で反射したマイクロ波の電界が集中する部位は、タービン１６の回転にともなって微粒子捕集部１２に対し移動する。これにより、マイクロ波は、微粒子捕集部１２に対し均一に照射される。 （もっと読む）

【課題】導波管内のマイクロ波の電磁界分布や定在波位置が視覚をもって検出することができるマイクロ波可視センサーを提案すること。
【解決手段】方形導波管構造のアプリケータ３４の側面３４Ｅに、管軸に沿って複数の小孔３６を設けると共に、前記小孔３６の各々の間隔に合わせたアンテナ３９を有する複数個の検出部材３７を設けた基板３８を前記アプリケータ３４の側面３４Ｅに固着し、さらに、前記した各検出部材３７には前記アンテナ３９に発生する起電力によって導通する検波ダイオード４０とこの検波ダイオード４０の導通により点灯するＬＥＤ４１とを備えたマイクロ波可視センサー５０となっている。 （もっと読む）

【課題】複数の給電部を加熱室壁面に最適配置し夫々の給電部からの放射マイクロ波の周波数および位相差を最適化することで、様々な被加熱物を高効率に加熱する装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波発生部１は発振部２ａ，２ｂ、電力分配部３ａ，３ｂ、増幅部５ａ〜５ｄ、被加熱物を収納する加熱室８、加熱室８の壁面に配置されマイクロ波発生部１の出力が伝送されそのマイクロ波を加熱室８内に放射供給する給電部７ａ〜７ｄ、マイクロ波伝送路に挿入した位相可変部４ａ〜４ｄを備え、給電部７ａ〜７ｄより出力されるマイクロ波の位相差および発振周波数の可変制御とにより、様々な被加熱物に対して反射電力を最小に抑制し高効率な加熱を実現させることができる。 （もっと読む）

【課題】消費電力の無駄を少なくして効率のよいマイクロ波焼成を短時間で行うことのできること。
【解決手段】マイクロ波発生源１で発生された進行波を伝播すると共に、収容する加熱対象物Ｗを加熱焼成する焼成導波管５０は、その焼成導波管５０の長さ方向に対し直角方向の電磁界強度の弱い位置から加熱対象物Ｗを取り込み、加熱対象物Ｗを電磁界強度の強い位置に進行波の進行方向に移動させながら、加熱対象物Ｗの加熱焼成温度を上昇させるものである。したがって、焼成導波管５０内で焼成を行う場合、突然、高エネルギで加熱対象物Ｗの加熱を開始することがない。焼成導波管５０内の反射波の発生が殆どないから、マイクロ波発生源１を構成するマイクロ波発振器を反射波で傷めることがなく、加熱対象物Ｗのみにエネルギを供給することができ、効率がよい。 （もっと読む）

【課題】被加熱物の加熱効率を低下させることなく、マイクロ波加熱特有の局所加熱を抑制して、被加熱物の加熱均一化を図るマイクロ波加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロ波放射手段１１から放射されたマイクロ波が伝播可能なマイクロ波空間９に複数の通路１３〜１６を配し、この複数の通路への誘電体１７の出入りを制御手段３３で制御するようにし、複数の通路１３〜１６内における誘電体１７の有無によりマイクロ波空間９の誘電率分布状態を変更して、マイクロ波分布を変化させるものである。これによって、マイクロ波空間９に含まれる加熱室３内のマイクロ波分布を変化させることができ、加熱室３に収納された被加熱物２周辺のマイクロ波の電界分布が変化することになり、単一の分布で加熱するときのような局所加熱を抑制して、被加熱物２の加熱均一化を図り、加熱後の出来映えを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 セラミック担体を低消費電力で急速且つ均一に加熱できるマイクロ波加熱方法及びマイクロ波加熱装置を提供すること。
【解決手段】 本発明のマイクロ波加熱方法は、空胴共振器内に配置されたマイクロ波吸収体１３にマイクロ波Ｗを照射して、マイクロ波吸収体１３を担持したセラミック担体１４を加熱するマイクロ波加熱方法であって、マイクロ波吸収体１３として、炭化ケイ素系複合酸化物を含むマイクロ波吸収体を用い、且つ空胴共振器として、単一モードの直方体型空胴共振器１１０を用いることを特徴とする。 （もっと読む）