【課題】加熱−冷却を繰り返すときのアルミニウムシースとリード線の端部との間に熱応力が生じ難くし、これにより接続部分の早期の破断、断線を防止する。
【解決手段】シースヒータのリード線接続端子は、シースヒータ３の発熱線１０の端部をリード線１２に接続したものであって、アルミニウムの細線によりリード線１２を構成し、このリード線１２の端部にニッケルメッキ又はニッケルクラッド１３を施し、このリード線１２のニッケルメッキ又はニッケルクラッド１３の部分に抵抗溶接１４により発熱線１０の端部を接続し、固定する。或いは、ニッケルメッキ１３の部分に発熱線１０の端部を接続し、このニッケルメッキ又はニッケルクラッド１３の部分にニッケル製のパイプを固定し、このパイプでリード線１２に接続した発熱線１０の端部を覆う。 （もっと読む）

【課題】 動作開始直後に大電流が突入して流れてしまった場合のような異常時に、発熱体と基体との瞬間的な熱膨張の差により、隙間ができたり基体に亀裂が入ったりしてしまう。
【解決手段】 セラミックスからなる基体１に発熱体２が埋設されてなるセラミックヒータ10において、発熱体２が表面にセラミックスが入り込んだ窪み５を有しているセラミックヒータ10である。発熱体２と基体１との間に熱膨張差により大きな熱応力が発生した場合であっても、基体１のセラミックスが入り込んだ窪み５を有していることによって、その熱応力が大きくかかる発熱体２の長手方向においても発熱体２と基体１との間に隙間が生じたり基体１に亀裂が入ったりするのを防ぐことができる。 （もっと読む）

本発明は、合成樹脂溶液を使用せずに、複数の炭素繊維糸を物理的にブレーディング（Braiding）してなる細幅織り炭素体から製造される炭素発熱体及びその製造方法を提供する。この方法は、複数の炭素繊維糸を一方向に配列しブレーディングして細幅織り炭素体としたり、又は、原糸を一方向に配列しブレーディングしてなる細幅織物を炭化処理して細幅織り炭素体としたりして、この細幅織り炭素体を螺旋状にした炭素成形体の両端部にそのまま通電用クリップを取り付け、この炭素成形体を１次熱処理して熱処理炭素成形体とし、熱処理炭素成形体を２次熱処理して、表面にナノ結晶構造の炭素層が蒸着された炭素被膜発熱体とし、この炭素被膜発熱体を３次熱処理して、不純物を蒸発させ且つ残留する非晶質炭素をグラファイト化することによって炭素発熱体を製造する。したがって、細幅織り炭素体を別に加工せずに原形のまま熱処理するので、抵抗特性及び発熱分布が非常に均一となり、細幅織り炭素体の製造に合成樹脂溶液を使用しないだけでなく、高温の３次熱処理を実施するので、不純物含量がきわめて低くなり、寿命を大幅に延ばすことができる。
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【課題】ガラス基板などの低価で且つ用意し易い基板上に高品質のｐｎ接合を形成することができ、ｐｎ接合を大面積化することができるマイクロヒーターアレイ及びｐｎ接合の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明による一実施の形態によるマイクロヒーターアレイは、基板上に互いに交差して設けられる、または互いに並設される第１及び第２マイクロヒーターを含む。また、一実施の形態によるｐｎ接合の形成方法は、上記マイクロヒーターアレイに電圧を印加し第１及び第２加熱部からの発熱を利用して第１及び第２加熱部の間にｐｎ接合を形成する。このようにマイクロヒーターを利用してｐｎ接合を形成する場合、ガラス基板上の大面積にわたって高品質のｐｎ接合を形成することができる。 （もっと読む）

電気リード線を受け入れるための凹部を有する新規のセラミック加熱素子が提供される。かかるセラミック加熱素子は、１本又は複数の電気リード線と接する素子部分にわたる断面寸法の低減、並びに、電気リード線のより確実な係合をもたらすことができる。加熱素子は、ガス調理器具用の燃料点火装置並びに輸送機関用グロープラグを含め、様々な用途に極めて有用となり得る。
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少なくとも１つのテープ層をなす厚膜材料を含む抵抗装置が提供される。抵抗装置は、一例としてヒーターまたは負荷抵抗体であってもよく、また、誘電材テープの層がその上に配置され、該誘電材テープの層の上に抵抗層が配置され、該抵抗層の上にさらに保護層が配置された基板を含むこともできる。
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【課題】 高頻度の使用を繰り返してもヒーター電極層の亀裂や基板からの剥離が起こらない信頼性に優れたセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 酸化アルミニウムからなるセラミックス基板と、このセラミックス基板の上面に溶射により形成されたヒーター電極層と、このヒーター電極層を被覆するように前記セラミックス基板の上に溶射により形成された酸化アルミニウム層と、を具備するセラミックスヒーターにおいて、前記ヒーター電極層の気孔率が３〜７％であることを特徴とするセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主に半導体ウェーハ処理装置に用いるための加熱装置に関する。
【解決手段】バッチ加熱／ウェーハ処理に用いるための加熱処理装置が提供され、ウェーハボートを受けるためのプロセスチャンバと、少なくとも１つの加熱ゾーン用の電気加熱回路を形成するように構成され、連続オーバーコート層内に封入された基板本体を含む少なくとも１つの加熱素子と、ウェーハボート内のウェーハを加熱するために少なくとも１℃／秒の温度変化率を有する加熱素子上に配置された熱反射面を含む熱リフレクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のハロゲンランプ式ヒーターに比べ、環境への悪影響が少なく、発熱効率が良好なランプヒーターの発熱体に有用な発熱体用炭素繊維フェルト及びその製造方法を提供する。
【解決手段】厚さが１．０〜１０.０ｍｍ、目付が１００〜１０００ｇ／ｍ²、嵩密度が０．０５〜０．１１ｇ／ｃｍ³、面方向の比抵抗値が０．１７〜０．３０Ωｃｍ、厚さ方向の比抵抗値が０．２０〜０．８０Ωｃｍである特にランプヒーター用の発熱体に有用な発熱体用炭素繊維フェルト、及び酸化繊維フェルトのパンチングによる打込本数が２００〜６００本／平方インチ（３１〜９３本／ｃｍ²）、目付が１６０〜１７００ｇ／ｍ²、前記パンチング方向の厚さが２．５〜７．０ｍｍのポリアクリロニトリル系酸化繊維フェルトを不活性ガス雰囲気下で９００〜２３００℃で熱処理する発熱体用炭素繊維フェルトの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温で連続使用が可能で、極めて均一な発熱領域を有し、発熱層および絶縁層が強固に一体化されたフレキシブルな面状発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る面状発熱体は、発熱層、電極、および絶縁層を積層してなる。発熱層では、ポリイミドからなるマトリックス樹脂中にカーボンナノ材料及びフィラメント状金属微粒子からなる導電性物質が実質的に均一に分散されて存在している。電極は、発熱層に電力を供給するためのものである。絶縁層は、発熱層および電極を被覆する。 （もっと読む）

【課題】 Ａｕ、ＡｇやＰｔのような金属の単体を発熱抵抗体として使用したウエハ加熱装置は、発熱抵抗体の抵抗温度係数が４０００／℃以上と大きいため、ウエハ交換や設定温度変更のために急速昇温させようとした際、温度調節がうまくできずウエハの温度バラツキを低減できないという課題があった。
【解決手段】 ウエハ加熱装置の均熱板上に形成する発熱抵抗体の一部の抵抗値を小さくすることによって前記発熱抵抗体の抵抗値分布を調製する。 （もっと読む）

細線状抵抗体３０の各側にそれに沿って正電極１０と負電極２０を配置する。正電極１０は、抵抗体３０に沿って間隔を置いて配置された複数の枝部１３、１４によって接続点Ｐ２、Ｐ３で抵抗体３０に接続される。負電極２０は、抵抗体３０に沿って間隔を置いて配置された枝部２３、２４によって接続点Ｐ１、Ｐ４で抵抗体３０に接続された抵抗発熱体である。接続点Ｐ１〜Ｐ４は、抵抗体３０に沿って互いにずれた位置にある。接続点Ｐ１とＰ２並びに接続点Ｐ３とＰ４の間にある抵抗体３０の部分３１と３２は、抵抗体３０の有効領域として機能する。
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【課題】記録材が通過しない領域の過度の昇温を抑えられる像加熱装置及びこの装置に用いられるヒータの提供。
【解決手段】通電により発熱するヒータ３と接触しつつ移動する可撓性部材２と、前記可撓性部材を介して前記ヒータとニップ部Ｎを形成するバックアップ部材６との間で、画像を担持する記録材Ｐを挟持搬送しつつ加熱する像加熱装置である。この像加熱装置において、前記ヒータとして、有機物を含有する原材料を炭素が殆ど酸化しない雰囲気中で熱処理し有機物を炭化させたヒータを用いる。 （もっと読む）

溶融物（２２）の少なくとも１つの領域において、導電加熱時に高温に達することができるように、本発明は、冷却壁を有する溶融容器（３）で溶融物（２２）を加熱するための方法および装置であって、溶融物（２２）を導電加熱し、それぞれ溶融容器（３）の壁（１４、１６）の一部に取って代わる少なくとも２つの冷却電極（５、５０１、５０２）の間に電流を流す方法および装置を提供する。
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【課題】発熱成形体に含有させる電解質量及び発熱成形体の含水率を容易に制御することができるとともに製造工程中における被酸化性金属の酸化を極力抑えることができ、良好な発熱特性を有する発熱成形体を得ることができる発熱成形体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の発熱成形体の製造方法は、少なくとも被酸化性金属粉末、保水剤、繊維状物及び水を含む原料組成物から抄紙工程で中間成形体を抄紙した後に、該中間成形体に電解質を含有させることを特徴とする。 （もっと読む）