【課題】要求される使用環境下において長寿命である発熱体ユニット、及びその発熱体ユニットを用いた加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体２と、前記発熱体２の両端に電気的に接続される金属箔６と、金属箔６の他端に電気的に接続される外部リード線７とを有する発熱構成体８と、前記発熱体２を管体１に内包し前記それぞれの金属箔６部分を封止する封止部と前記封止部の外方に空孔部１２を設けた管体１と、前記空孔部１２に装着され前記外部リード線７を保持する保持部材９とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ランプ自体の寸法を大きくすることなく、複数の独立的な給電経路を有するフィラメントランプを提供すること。
【解決手段】この発光部１０の両端にフィラメントＦの数に対応した金属箔３０が並ぶように埋設された封止部２０とから構成されるとともに、各フィラメントＦには独立的に給電ができる。そして、封止部２０は、端部から突出する外部リード４０と、この外部リード４０を覆うとともに、先端が当該封止部２０と一体的にシールされたガラスパイプ６０を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 各々のフィラメントに独立に給電可能に連結された内部リードが接続する金属箔を封止部に備えつつも、フィラメントへの電力入力を高めたときでも、大電流を流すことが可能なフィラメントランプを提供すること。
【解決手段】 金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄには、一方の面に内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが接続され、他方の面に外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが接続されるとともに、外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの端部１４１は内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄの端部１３１より発光管２側に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置毎に被処理体上の放射分布のバラツキを解消したフィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置を提供すること。
【解決手段】封止部２ａ、２ｂが形成された長管状の発光管３の内部に、コイル状のフィラメント４１１〜４５１とこのフィラメントに電力を供給するリード４１２ａ〜４５２ａ、４１２ｂ〜４５２ｂとが連結されてなる複数のフィラメント体４１〜４５が、各フィラメントが発光管の管軸に沿って伸びるよう順次に並んで配設され、各フィラメント体における各々のリードが封止部に配設された複数の各々の導電性部材８１ａ〜８５ａ、８１ｂ〜８５ｂに対して電気的に接続されて各フィラメントに対して各々独立に給電されるフィラメントランプ１において、フィラメント４１１〜４５１の内側に、フィラメント体４１〜４５のリード４１２ａ〜４５２ａ、４１２ｂ〜４５２ｂが挿通されていることを特徴とするフィラメントランプである。 （もっと読む）

【課題】バルブの表面に形成した反射膜上に保護膜を形成させ、反射膜付きバルブの寿命や放射効率の低下を抑えた管型白熱ヒータを実現する。
【解決手段】管型バルブ１１内の長手方向に直列接続され、電力供給により発光する発光部１２と導電性の非発光部１３を収容するとともに不活性ガスが封装され、バルブ１１の両端部にピンチシール１５１，１５２を形成し、直列接続された発光部１２および非発光部１３の両端からアウターリード線１８１，１８２を介して導出してハロゲン電球１００を構成する。バルブ１１の長手方向に直交する上側には反射膜１９を施し、反射膜１９が施されない部分は光熱を放射させる光熱放射開口部２１とする。反射膜１９には反射膜１９のバルブ１１からの離脱を防止する保護膜２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス管の曲成加工において、内部に収納した発熱体の酸化消耗を確実に抑制することができて、品質の低下やばらつきのないしかもどのような極率半径を有する曲管型ヒータ装置をも製造できる方法を提供するにある。
【解決手段】 内部に発熱体(1)が曲管状のガラス管(2)に収納され、両端に封止部(3)(4)が形成されている曲管型ヒータ装置(A)の製造方法であって、
直管型のガラス管(2a)内に発熱体(1)を収納した後、ガラス管(2a)内を不活性状態に保ったままガラス管(2a)を曲成し、然る後、必要に応じてガラス管(2a)内をウォッシングした後ガラス管(2)を封止することを特徴とする。
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【課題】 振動環境下においても、カーボンワイヤー発熱体と該カーボンワイヤー発熱体を収容したガラス管の内壁との衝突を抑制することにより、耐久性のあるヒータを提供する。
【解決手段】 ガラス管２内に封入されたカーボンワイヤー発熱体３と、前記カーボンワイヤー発熱体に電力を供給する接続線を有する二つの封止端子部４とを備え、前記カーボンワイヤー発熱体３と接続線５とを導電性部材７によって挟持し、かつ、導電性部材７と弾性体８が封止端子部４を構成するガラス管２，６の内部に収容され、前記導電性部材７を弾性体によってガラス管２，６の内壁に押し付けられることにより、ガラス管２，６の内壁に固定される。 （もっと読む）

【課題】 ウェハヒータアセンブリを提供することである。
【解決手段】 ウェハ加熱アセンブリは、単一のウェハ処理システムために、独特なヒータ部材を有して説明されている。加熱ユニットは、石英外筒で包まれるカーボンワイヤ素子を包含する。加熱ユニットは、ウェハに直接接触を可能にする石英としてコンタミネーションフリーである。カーボン「ワイヤ」または「編まれた」構造の機械的なフレキシビリティは、コイル構成を可能にし、そして、それは、ウェハ全体に独立したヒータゾーン制御を可能にする。ウェハ全体の複数の独立したヒータゾーンは、膜成長／堆積均一性を調整する温度勾配と、従来の単一ウェハシステムより優れている膜均一性およびウェハゆがみを最小とする高速熱調整とを可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 直径が５〜１５μｍであるカーボンファイバーを複数本束ねたカーボンファイバー束を複数本用いてワイヤー形状やテープ形状のような縦長形状に編み込み，その含有不純物量を灰分で１０ｐｐｍ以下としたヒータ部材（１１，１１１，１２１…１６１，２１２，２２２，４１１，５１５，６１２）を具備することを特徴とするカーボンヒータ。 （もっと読む）