ウェハを支持するための領域を有する表面および本体を備えるステージと、ステージに結合されたシャフトと、第１および第２の加熱素子とを含む加熱装置。第１の加熱素子は、ステージの本体の第１の平面内に配置される。第２の加熱素子は、第１の加熱素子よりステージの表面から離れた距離にあるステージの本体の第２の平面内に配置され、第２の加熱素子は、第１の平面および第２の平面の少なくとも１つに対して実質的に平行な平面に第１の加熱素子からずらされる。
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【課題】加熱体の耐久性・信頼性の向上。
【解決手段】被加熱材を加熱する加熱体において、細長い基板１０４面上に長手方向に沿って形成された３本以上の発熱パターン１０１ａ−１・１０１ａ−２・１０１ｂを有し、前記発熱パターンのうち少なくとも１本の発熱パターンは、基板の長手方向における単位長さ当りの発熱量分布が当該発熱パターン以外の発熱パターンと異なる。そして、前記発熱パターンのうち少なくとも２本の発熱パターン１０１ａ−１・１０１ａ−２は、それぞれ基板の短手方向における一端側と他端側に配設されて直列ないしは並列で接続される第１の導通経路をなし、前記発熱パターン１０１ｂは、基板の短手方向における前記第１の導通経路の形成領域より内側に形成されて第２の導通経路をなす。 （もっと読む）

概ね台形状を有する加熱可能な物品（例えば、自動車の風防）は、異なる長さを有する間隔を開けた一対の母線の間でかつ接触する伝導性部材（例えば、伝導性コーティング）を、有する。これら母線の間の選択された部分のコーティングは、電流がこのコーティングを通って移動する場合に母線でのコーティングの間の電力密度における差異を低減するために、セグメント化される。１つの非限定的な実施形態において、より長い母線でのセグメントの幅は、より長い母線でのセグメントの幅より小さい。この構成を持ちて、風防の底部の電力密度は増加されて、氷および雪をより効率的に除去する。別の非限定的な実施形態において、コーティングは、電磁スペクトルの振動波（例えば、ＲＦ波）を通過させて乗り物内から情報を得るため、連絡窓を有する。
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【課題】加熱体の耐久性・信頼性の向上。
【解決手段】基板２０ａと、前記基板の長手方向に沿って設けられている発熱抵抗体２０ｂと、を有し、被加熱材を加熱する加熱装置に用いられる加熱体２０において、前記基板には前記基板の短手方向の略中央Ｃを基準に複数本の前記発熱抵抗体２０ｂ−１−１，２０ｂ−１−２・２０ｂ−２−１，２０ｂ−２−２が略対称に配置されており、前記基準に対し対称の位置関係にある第１の発熱抵抗体と第２の発熱抵抗体の電気的端部に設けられた電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ同士が両端共に共通電極になっていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、透明パネル及び透明パネルと一体に形成された導電性のヒータ・グリッドを有するウインドウ・アセンブリを提供する。導電性のヒータ・グリッドは、第１の群のグリッド線及び第２の群のグリッド線を有し、各群の両側の端部が第１及び第２のバスバーに接続されている。第２の群のグリッド線は、第１の群の隣接するグリッド線の間に間隔を置いて配置され、第２の群のグリッド線それ自体の幅が第１の群のグリッド線幅より狭くなっている。
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【課題】 ウェハヒータアセンブリを提供することである。
【解決手段】 ウェハ加熱アセンブリは、単一のウェハ処理システムために、独特なヒータ部材を有して説明されている。加熱ユニットは、石英外筒で包まれるカーボンワイヤ素子を包含する。加熱ユニットは、ウェハに直接接触を可能にする石英としてコンタミネーションフリーである。カーボン「ワイヤ」または「編まれた」構造の機械的なフレキシビリティは、コイル構成を可能にし、そして、それは、ウェハ全体に独立したヒータゾーン制御を可能にする。ウェハ全体の複数の独立したヒータゾーンは、膜成長／堆積均一性を調整する温度勾配と、従来の単一ウェハシステムより優れている膜均一性およびウェハゆがみを最小とする高速熱調整とを可能にすることができる。 （もっと読む）

エネルギーを集めるかまたは分散させるためのラジエータ装置。一つの実施形態では、このラジエーターは、熱伝導層、放射層、および断熱層を備える。この放射層は、エネルギー源によりエネルギーを与えられ、そして、熱伝導層の少なくとも一部に埋め込まれた少なくとも一つの放射エレメントを備える。上記断熱層は、熱伝導層に面している。別の実施形態では、上記ラジエーターは、エネルギー源によりエネルギーを与えられる、一般的にらせん状のドーム形状の放射部材およびこの放射部材に面する反射表面を備える一般的にドーム形状の反射部材を備える。さらに別の実施形態では、このラジエーターは、エネルギー源によりエネルギーを与えられる放射部材、および少なくとも部分的に帽子形状もしくは環形状の領域にエネルギーを分散するための、少なくとも一部が環形状の凹反射面を有する反射部材を備える。
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その長手方向において互いに本質的に平行に、ならびに加熱される窓ガラス（１）の基端（２）に平行に延在する、極性の異なる２つの接触バスバー（６、７）と、接触バスバー（６、７）に電気的に接触している一連の加熱フィラメント（９）とを有する、とりわけ車のサイドウインド用の加熱される窓ガラス（１）が開示されている。本発明の窓ガラス（１）は、接触バスバー（６、７）がその長手方向に実質的に一直線に配置されている一方で、加熱フィラメント（９）が、窓ガラス（１）全体を確実に一様に加熱できるように本質的に同じ長さであることを特徴とする。加熱フィラメント（９）は、補償ループ（１１）を構成すること、および／または波形に配置される加熱フィラメント（９）の幅を変えることによって同じ長さにすることができる。
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【課題】 ＰＴＣ素子を有する改良された暖房装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つのＰＴＣ素子を有する特に自動車用の暖房装置であって、ＰＴＣ素子（２）が電気的結合に役立つコンタクト板（３、４）の間に配置されており、コンタクト板（３、４）とＰＴＣ素子（２）が接着剤（５）によって結合されているものにおいて、接着剤（５）が最小で５０Ω・ｃｍ、最大で５００Ω・ｃｍの電気固有抵抗を有することを特徴とする暖房装置。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの支持体層と、該支持体層に少なくとも部分的に直接又は間接に隣接する少なくとも１つの発熱体層と、少なくとも１つの電気的な接点又は導体エレメントを含む、特に少なくとも１つの調理品を直接および／または間接に電気により加熱するための調理機用の発熱体であって、該電気的な接点又は導体エレメントと結合しているか又は結合可能である少なくとも１つの弾性拘束エレメントを備え、該電気的な接点又は導体エレメントが弾性拘束エレメントの弾性力を介して少なくとも一時的に少なくとも１つの加熱抵抗器および／または発熱体層の少なくとも１つの接点箇所と接触可能である、調理機用の発熱体に関する。
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【課題】
ヒートポンプ式の加熱保温装置を備えることなく、しかも内部の温度を適正温度に維持することが可能な、軽量であって内部のスペース効率に優れ、低コストの機内食用温蔵庫を提供する。
【解決手段】
カーボングラファイトシート１１を所定の形状に打抜くとともに、その両側の面に絶縁フィルム１２を接合して封止し、アルミニウム板から成る放熱板１５の裏面に接合して面状発熱体１０となし、このような面状発熱体１０を筐体３５の壁面の内側に接合したものであって、上記カーボングラファイトシート１１に通電を行なうことによって筐体３５の内部を加熱保温する。 （もっと読む）

腐食的な製造環境での製作中に、半導体ウェハーを加熱するための改良された加熱システム（１０）が開示されている。前記システム（１０）は、新規なセラミックヒータ（１２）を備えており、前記セラミックヒータ（１２）は、該セラミックヒータ（１２）のセラミック基板（１６）内部に完全に直接埋め込まれている多数の加熱素子（４４）と温度センサ配置（３８）を有している層状のセラミック基板（１６）から作成されている。前記複数の加熱素子（４４）と温度センサ配置（３８）は、前記セラミックヒータ（１２）の作動効率を改良する低い温度抵抗係数を備えているモリブデンと窒化アルミニウムの複合物から構成されている。作動時に、前記温度センサ配置（３８）は、前記半導体ウェハーの全表面に渡って一定で一様な温度分布を供給するような方法で前記加熱素子（４４）を制御すること可能であるマイクロプロセッサー（１４）に温度示度を伝達する。 （もっと読む）

【課題】十分な強度と耐候性、耐久性を有し、穏やかに発熱する保温・加熱用ヒーターを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックカーボンヒーターは、発熱体層の上面と下面に絶縁層を有し、該発熱体層が石英閃緑袴岩５０〜８５重量％、カーボン１０〜３０重量％及び粘土５〜１５重量％からなる組成を有し、導電性を有することを特徴としている。これを製造するには、上記組成を有する混合粉末に、適量の水を加えて顆粒状に造粒し、これを所望の形状に加圧成形した後、可燃性カーボンを酸化させることなく１，　１００〜１，３００℃で焼成すればよい。 （もっと読む）

【課題】 小型または薄型で、耐冷熱衝撃性および熱交換効率が優れた温水加熱用のセラミックヒータ及びそれを用いた温水装置を提供する。
【解決手段】 セラミック基材３の表面に配設された矩形状の発熱抵抗体４と、該発熱抵抗体４の対向する端部に接続される複数の電極５と、該電極５に夫々接続される複数の端子７と、前記発熱抵抗体４表面に積層した保護層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 発熱装置内部での空洞をなくし、発熱体から被加熱面への熱伝導を促進し、かつ、面状発熱材の単位面積あたりの出力を上げて発熱温度を上げること。
【解決手段】 発熱体の少なくとも表裏両面に対して合成樹脂シートを挟着してなる面状発熱材を有し、その少なくとも片面が、放熱板またはその加工品で被覆された発熱装置。 （もっと読む）