【課題】発熱分布の異なる複数の発熱抵抗体を有するヒータを搭載していても安全素子の応答性が優れている像加熱装置を提供する。
【解決手段】記録材に形成された画像を加熱する像加熱装置において、基板３０と、基板上に形成された第１と第２の発熱抵抗体３１・３２と、を有するヒータ２３と、ヒータの熱に反応して作動し第１と第２の発熱抵抗体への通電を遮断する安全素子４０と、を有し、第１の発熱抵抗体の大部分の領域は、基板の長手方向端部に向かうに連れて単位長さ当りの抵抗値が小さくなっており、第２の発熱抵抗体の大部分の領域は、端部に向かうに連れて単位長さ当りの抵抗値が大きくなっており、第１の発熱抵抗体への通電と第２の発熱抵抗体への通電は個別に制御可能であり、第１と第２の発熱抵抗体のうち第２の発熱抵抗体だけが、その長手方向の一部に前記安全素子に対応する高抵抗部を有する。 （もっと読む）

【課題】昇降温特性に優れ、被加熱物を迅速に加熱、冷却することができるとともに、充分な機械的強度を有するセラミックヒータを提供すること
【解決手段】、セラミック基板の表面または内部に発熱体が形成されたセラミックヒータであって、上記セラミック基板の加熱面、または、上記加熱面と反対側の面に、溝部が形成されていることを特徴とするセラミックヒータ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加熱体の抵抗値を変化させる事で非通紙部昇温を抑え、各紙種のスループットアップを実現し、通紙領域の定着性と画像不良を満足する事を目的とする。
【解決手段】被加熱材の通紙方向に直交する方向を長手とする基板３０と、前記基板上に抵抗発熱体３１・３２を有し、被加熱材を加熱する加熱体において、基準位置から長手端部にかけて、抵抗発熱体の抵抗値が徐々に小さくなる領域を含み、前記領域の途中で抵抗値の変化率が不均一である領域を含む構成。 （もっと読む）

【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】帯状の抵抗発熱体を備えたウエハ加熱装置において、加熱冷却を繰り返しても抵抗発熱体の剥離やクラックの発生を防止する。
【解決手段】板状セラミック体２の一方の主面をウエハを載せる載置面３とするとともに、他方の主面に１または２回路以上の帯状の抵抗発熱体４を備えると共に、前記抵抗発熱体またはそれを覆う絶縁層の表面を凹凸面を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】加熱体の耐久性・信頼性の向上。
【解決手段】基板２０ａと、前記基板の長手方向に沿って設けられている発熱抵抗体２０ｂと、を有し、被加熱材を加熱する加熱装置に用いられる加熱体２０において、前記基板には前記基板の短手方向の略中央Ｃを基準に複数本の前記発熱抵抗体２０ｂ−１−１，２０ｂ−１−２・２０ｂ−２−１，２０ｂ−２−２が略対称に配置されており、前記基準に対し対称の位置関係にある第１の発熱抵抗体と第２の発熱抵抗体の電気的端部に設けられた電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ同士が両端共に共通電極になっていることを特徴とする。 （もっと読む）

ウェハを支持するための領域を有する表面および本体を備えるステージと、ステージに結合されたシャフトと、第１および第２の加熱素子とを含む加熱装置。第１の加熱素子は、ステージの本体の第１の平面内に配置される。第２の加熱素子は、第１の加熱素子よりステージの表面から離れた距離にあるステージの本体の第２の平面内に配置され、第２の加熱素子は、第１の平面および第２の平面の少なくとも１つに対して実質的に平行な平面に第１の加熱素子からずらされる。
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【課題】加熱体の耐久性・信頼性の向上。
【解決手段】被加熱材を加熱する加熱体において、細長い基板１０４面上に長手方向に沿って形成された３本以上の発熱パターン１０１ａ−１・１０１ａ−２・１０１ｂを有し、前記発熱パターンのうち少なくとも１本の発熱パターンは、基板の長手方向における単位長さ当りの発熱量分布が当該発熱パターン以外の発熱パターンと異なる。そして、前記発熱パターンのうち少なくとも２本の発熱パターン１０１ａ−１・１０１ａ−２は、それぞれ基板の短手方向における一端側と他端側に配設されて直列ないしは並列で接続される第１の導通経路をなし、前記発熱パターン１０１ｂは、基板の短手方向における前記第１の導通経路の形成領域より内側に形成されて第２の導通経路をなす。 （もっと読む）

半導体のウェット化学処理に使用するインラインヒーターは、単結晶アルミナ基材と、単結晶アルミナ基材上に配置された抵抗加熱部材と、抵抗加熱部材上に配置された保護層と、を含む。単結晶アルミナ基材は、抵抗加熱部材及び保護層の熱膨張係数（ＣＴＥ）と実質的に同等な適度のＣＴＥを有する。従って、基材と保護層との間のクラックを最小化することができる。本発明に係るインラインヒーターは、高温であっても優れた耐食性を示し、フッ化水素溶液を含む様々な腐食性薬品を使用することができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの支持体層と、該支持体層に少なくとも部分的に直接又は間接に隣接する少なくとも１つの発熱体層と、少なくとも１つの電気的な接点又は導体エレメントを含む、特に少なくとも１つの調理品を直接および／または間接に電気により加熱するための調理機用の発熱体であって、該電気的な接点又は導体エレメントと結合しているか又は結合可能である少なくとも１つの弾性拘束エレメントを備え、該電気的な接点又は導体エレメントが弾性拘束エレメントの弾性力を介して少なくとも一時的に少なくとも１つの加熱抵抗器および／または発熱体層の少なくとも１つの接点箇所と接触可能である、調理機用の発熱体に関する。
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腐食的な製造環境での製作中に、半導体ウェハーを加熱するための改良された加熱システム（１０）が開示されている。前記システム（１０）は、新規なセラミックヒータ（１２）を備えており、前記セラミックヒータ（１２）は、該セラミックヒータ（１２）のセラミック基板（１６）内部に完全に直接埋め込まれている多数の加熱素子（４４）と温度センサ配置（３８）を有している層状のセラミック基板（１６）から作成されている。前記複数の加熱素子（４４）と温度センサ配置（３８）は、前記セラミックヒータ（１２）の作動効率を改良する低い温度抵抗係数を備えているモリブデンと窒化アルミニウムの複合物から構成されている。作動時に、前記温度センサ配置（３８）は、前記半導体ウェハーの全表面に渡って一定で一様な温度分布を供給するような方法で前記加熱素子（４４）を制御すること可能であるマイクロプロセッサー（１４）に温度示度を伝達する。 （もっと読む）

【課題】十分な強度と耐候性、耐久性を有し、穏やかに発熱する保温・加熱用ヒーターを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックカーボンヒーターは、発熱体層の上面と下面に絶縁層を有し、該発熱体層が石英閃緑袴岩５０〜８５重量％、カーボン１０〜３０重量％及び粘土５〜１５重量％からなる組成を有し、導電性を有することを特徴としている。これを製造するには、上記組成を有する混合粉末に、適量の水を加えて顆粒状に造粒し、これを所望の形状に加圧成形した後、可燃性カーボンを酸化させることなく１，　１００〜１，３００℃で焼成すればよい。 （もっと読む）

【目的】 高い熱放射効率を保持する遠赤外線パネルヒータ装置を提供する。
【構成】 少なくとも遠赤外線放射板と面状発熱体と押さえ板を重ね合わせた発熱パネルユニットを備える遠赤外線パネルヒータ装置であり、前記面状発熱体に配設された発熱源である抵抗線１５の配線パターンが面状発熱体１７の中央部領域Ｃが周辺部領域よりも先に高温になるようにパターニング若しくは加熱制御されており、遠赤外線放射板全体がこれに当接する面状発熱体側に凸に反って隙間なく密着して高い熱放射効率を維持する構成である。 （もっと読む）

【課題】 支持容器のセラミック基板と接触する部分の平面度を管理する必要がなく、支持容器とセラミック基板との接触面積を小さくすることができ、セラミック基板からの熱の逃散が少なく、セラミック基板の加熱面の温度を均一にすることができるホットプレートユニットを提供すること。
【解決手段】 その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板が、支持容器に配設されてなるホットプレートユニットであって、前記セラミック基板と前記支持容器とは、点接触してなることを特徴とするホットプレートユニット。 （もっと読む）

【課題】 小型または薄型で、耐冷熱衝撃性および熱交換効率が優れた温水加熱用のセラミックヒータ及びそれを用いた温水装置を提供する。
【解決手段】 セラミック基材３の表面に配設された矩形状の発熱抵抗体４と、該発熱抵抗体４の対向する端部に接続される複数の電極５と、該電極５に夫々接続される複数の端子７と、前記発熱抵抗体４表面に積層した保護層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）

【課題】発熱部分への電力供給が改善されて経時的な事故の発生が防止されるとともに、金属線などの金属系材料を使用しないことにより柔らかな繊維が本来持つ柔軟性を維持することのできる面状発熱体を提供すること。
【解決手段】非金属系糸の織布にて構成された基布にカーボン系発熱成分が給電部分と発熱部分とに区別され得るように固着されている面状発熱体、及びこのような面状発熱体であって、該基布において、給電部分の縦糸である布地糸とその他の布地糸とが異ならせしめてあり、かつ、給電部分の端部にボタン型のカシメ具によって接続せしめられたＬ字型の端子が設けられている面状発熱体。 （もっと読む）