活性鑞材（３２）によってセラミック基板（１２）に直接接合されたビード（２６）の形態の熱接点即ち測定接点を有する熱電対（１６）を備えたセラミック加熱器（１０）が提供される。別法としては、セラミック基板（１２）上に金属化層（４２）が形成され、通常の鑞材によって熱電対のビード（２６）が金属化層（４２）に直接接合される。セラミック基板にビードが直接接合されるため、ビードの温度はセラミック加熱器の温度をほぼ瞬時に反映し、したがって熱電対はセラミック加熱器の温度をより正確に測定することができる。
（もっと読む）

【課題】板状のセラミック製のヒータを構成する絶縁基板の長手方向に均一な発熱を得るとともに、非通紙部分におけるヒータの温度上昇を抑えるようにする。
【解決手段】セラミック製の絶縁基板１１上に、分割した発熱抵抗体１４１〜１４３を、絶縁基板１１の長手方向に直列に配列させ、小サイズの被加熱体を通紙するときに、非通紙部となる部分の発熱抵抗体１４１，１４３の抵抗温度係数を１００ｐｐｍ／℃以下の発熱抵抗体を用いて形成した。これにより、非通紙時の発熱抵抗体１４１，１４３の温度上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板、金属／セラミック型、あるいは脱気またはアニーリングのように温度調整を必要とする他の工業的プロセスのような、加熱ターゲットの温度を調整し加熱ターゲットを支持するアセンブリーを提供する。
【解決手段】 １実施形態において、アセンブリーは、加熱ターゲットを支持する加熱ターゲット支持体と；少なくとも温度３００℃に加熱ターゲットを加熱するセラミック発熱体と；基板支持体とセラミック発熱層との間に配置した第１の熱伝導性層と；セラミック発熱層の下に配置した第２の層とからなる。ヒーターアセンブリーにおいて、第1層および第２層の双方は５ＧＰａ未満の弾性率を有し、基板に絶え間なく均一で優れた加熱を供給しつつセラミックス層に損傷をもたらさずに、セラミック発熱層を付勢する。 （もっと読む）

【課題】機械的強度に優れ、産熱装置の産熱効率および散熱効果を向上させうる手段を提供する。
【解決手段】希土類元素を含む材料から形成されることを特徴とする、産熱装置用基板である。 （もっと読む）

【課題】均一な温度分布特性が得られるとともに、省スペース化を図ることができるヒータを実現する。
【解決手段】高剛性のセラミック等の基材で高い熱伝導性の短冊状の絶縁基板１１の表面側の長手方向に沿って平行に抵抗体ペーストを高温で焼成し、所定の抵抗値を有する帯状の発熱抵抗体１２，１３を形成する。一端を発熱抵抗体１２に重層し他端を絶縁基板１１の短手方向の側面上に接続部１４を、一端を発熱抵抗体１３に重層し他端を絶縁基板１１の短手方向の側面上に接続部１５をそれぞれ形成する。接続部１４，１５は発熱抵抗体１２，１３に接続される部分から直ちに絶縁基板１１の側面側に折曲される格好とする。発熱抵抗体１２，１３のそれぞれの他端を絶縁基板１１の短手方向の側面上に接続部１６を形成する。接続部１４〜１６に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】均熱性が良好で純度の高い炭化ケイ素焼結体ヒータ及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】かさ密度３．０ｇ／ｃｍ³以上、熱伝導率２００ｗ／ｍ・ｋ以上の炭化ケイ素焼結体からなる加熱体と、加熱体に通電して前記加熱体を昇温させる、かさ密度２．２ｇ／ｃｍ³以下、熱伝導率１００ｗ／ｍ・ｋ以下の炭化ケイ素焼結体からなる１対の電極と、を備え、加熱体と電極は、接合材を加熱焼結して得られる炭化ケイ素焼結体を介して一体に接合されている炭化ケイ素焼結体ヒータ。 （もっと読む）

【課題】 熱衝撃に対する耐性に優れ、絶縁基体とメタライズ電極との間の剥離やクラックなどの発生を抑制した電極内蔵セラミック構造体を提供する。
【解決手段】 本発明は、コージェライトを主結晶相とする絶縁基体の内部に、タングステンおよびモリブデンの少なくとも一方を３０〜７０体積％、ＲＥ_２Ｓｉ_２Ｏ_７（ＲＥは希土類元素）で表されるダイシリケートを７０〜３０体積％含有するメタライズ電極が形成されており、前記絶縁基体と前記メタライズ電極との３０℃から８００℃における線膨張率差が３．５×１０^−６／℃以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 所定温度での定常状態は勿論のこと、温度が降下あるいは上昇していく過渡的な状態においても、サセプタやホットプレートなどの温度分布を均一にすることのできる発熱体回路パターンを提供する。
【解決手段】 発熱体回路パターンは、複数の島状発熱体１が基板２上もしくは基板２内部に独立した島状に分布し、基板２内における発熱密度が略均一になるように配置されると共に、全ての島状発熱体１がリード回路３によって並列に接続されている。これらの島状発熱体１は温度の上昇に伴って抵抗値が上昇する特性を有し、リード回路３は島状発熱体１よりも抵抗値が低いことが必要である。 （もっと読む）

【課題】降雪地での信号機、道路標識に装着することで、着雪を有効に防止することを提供する。
【解決手段】セラミックス基材の中に発熱体を埋設し、一体成形した物を焼成することにより堅牢で高耐久、更に低電圧の給電で安全に使用可能なセラミックス製品が提供可能となる。 （もっと読む）

【課題】 高頻度の使用を繰り返してもヒーター電極層の亀裂や基板からの剥離が起こらない信頼性に優れたセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 酸化アルミニウムからなるセラミックス基板と、このセラミックス基板の上面に溶射により形成されたヒーター電極層と、このヒーター電極層を被覆するように前記セラミックス基板の上に溶射により形成された酸化アルミニウム層と、を具備するセラミックスヒーターにおいて、前記ヒーター電極層の気孔率が３〜７％であることを特徴とするセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造に用いるためのウェーハ加工装置内に埋め込まれた抵抗加熱素子の回路パターンに関する。
【解決手段】 抵抗加熱素子用の最適電極パターンを有するウェーハ加工装置が、開示される。最適電極パターンは、接触域、電気接続部、及びスルーホール等の区域の近傍又は周囲により多くの熱を発生させて最高温度均一性をもたらすことによって、これらの周囲の熱損失を補償するように設計される。本発明の最適設計の別の実施形態では、加熱素子の抵抗は、より高効率のために、詳細にはより高い動作温度又はより高い電気出力を必要とする時に電源のインピーダンスに密接に整合する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱用窒化アルミニウム基板１００は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分１１０と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分１２０とを備える。高熱伝導部分１１０は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分１２０は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター１は、加熱用窒化アルミニウム基板１０と、高熱伝導部分１１に形成された発熱層２０と、低熱伝導部分１２に形成された電極層３０とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分１２０を形成する。 （もっと読む）

本発明は、半導体処理チャンバを加熱するための装置及び方法に関する。本発明の一実施形態は、半導体処理チャンバを加熱するための炉を提供する。この炉は、独立して制御される少なくとも２つのゾーンに接続された複数の加熱素子を備え、上記半導体処理チャンバの側壁部を取り囲むヒータと、上記ヒータを取り囲むシェルと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ヒータの長手方向で均一な温度分布を得ながら被加熱体のサイズに応じて短手方向の場所を変えることなく発熱領域を変えた定着の実現を図る。
【解決手段】長尺板状絶縁基板１１に短手方向に幅広の発熱抵抗体１９を形成し、発熱抵抗体１９の両端部に形成された配線パターン１５，１６と接続する。配線パターン１５，１６、発熱抵抗体１９上にオーバーコート層２５を形成する。配線パターン１５，１６の絶縁基板１１の長手方向中間部と電極１２，１３をそれぞれ接続する。配線パターン１６の両端に電極１４を、絶縁基板１１の裏面の導体パターンを介してスルーホールを用いて接続する。電極１２，１３あるいは電極１２，１４に選択的に電力を供給することにより、絶縁基板１１の長手方向で均一な温度分布を得ながら、短手方向の場所を変えることなく異なるサイズの被加熱体に対応が可能となる。 （もっと読む）

【課題】長手方向に均一な発熱を得ることができ、素早い温度立ち上がり特性を有する定着等に用いるヒータを実現する。
【解決手段】長尺板状絶縁基板１１に短手方向に幅広の発熱抵抗体１６を形成し、発熱抵抗体１６の両端部にＡｇの含有率が９０ｗｔ％以上の配線パターン１４，１５を介して電力供給用の電極１２，１３を形成する。少なくとも配線パターン１４，１５、発熱抵抗体１６上にオーバーコート層を形成する。発熱抵抗体１６の一端と幅に相当する配線パターン１４，１５長をＬｃとし、配線パターン１４，１５の短手方向長の計をＷｃとする。これらＬｃとＷｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃを４０〜７５とする。これにより、配線パターン１４，１５の長さに対して幅を広くすることができ、配線パターン１４，１５全体に電流が流れやすくなる。このため幅広の発熱抵抗体１６の絶縁基板１１の長手方向に対して略均一な発熱量と温度分布を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】制御装置を使うことなく発熱能力を可変することのできる面状発熱体を提供する。
【解決手段】基板１上に形成された少なくとも３つの第１〜第３電極Ｅ１〜Ｅ３と、基板１上の第１〜第３電極Ｅ１〜Ｅ３間に複数形成され、第１〜第３電極Ｅ１〜Ｅ３から給電されて発熱する第１、第２抵抗発熱体Ｒ１、Ｒ２とを有し、第１〜第３電極Ｅ１〜Ｅ３のうち通電させる電極の組み合わせを変えることで第１、第２抵抗発熱体Ｒ１、Ｒ２での発熱能力を可変するようにしている。
これによれば、従来の一対の櫛歯状電極の間に、少なくとも電極を１つ追加して、これらの電極Ｅ１〜Ｅ３なかで通電させる電極の組み合わせを切り換えることにより、発熱部位が切り換わって制御装置を使うことなくスイッチ切り換えのみで発熱能力を可変することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかも、チャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層の上に酸素量が量論比以下である酸化物である耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に窒素ガス透過率が１×１０^−２ｃｍ^２／ｓｅｃ以下である耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】ウエハの吸着力がウエハ載置面内で均一となる静電チャックに使用可能なセラミックス焼成体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックスからなる焼成体層６３と、該焼成体層６３中に設けられ、ＲＦ電極を兼ねる導電体層１５とを備え、静電チャックに用いられるセラミックス焼成体であって、前記焼成体層６３の表面はウエハ載置面６５を含み、この焼成体層６３の表面から前記導電体層１５までの距離を略一定に構成したことを特徴とするセラミックス焼成体６１である。 （もっと読む）

【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかもチャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストな加熱素子を提供する。
【解決手段】 少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に第三の元素が含有された化合物からなる耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）