【課題】本発明は、基体と、基体に内蔵され、基板を加熱する抵抗発熱体とを有する静電チャックを備えた基板温調固定装置に関し、短時間の加熱により、基板全体の温度を所定の温度にすることのできる基板温調固定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板２０が載置される基板載置面２１Ａを有した基体２１と、基体２１に内蔵された静電電極２２と、基体２１に内蔵され、基板２０を加熱する抵抗発熱体２３と、を有する静電チャック１１と、静電チャック１１を冷却する冷却機構４６を内蔵すると共に、静電チャック１１を支持するベースプレート１２と、を備えた基板温調固定装置１０であって、冷却機構４６と静電チャック１１との間に位置する部分のベースプレート本体４５に、断熱部４７を設けた。 （もっと読む）

【課題】十分な強度を有し、広い面積から遠赤外線を効率的に発生でき、しかも安価な遠赤外線放射板を提供する。
【解決手段】遠赤外線を放射し、粒度が２ｍｍ以上８ｍｍ以下の骨材と、粒度が０．１ｍｍ以上２ｍｍ未満の細骨材とからなる遠赤外線放射材にバインダーを加えて固めた遠赤外線放射板１０であって、内部に面状の補強部材１１が設けられ、骨材は天然鉱石破砕物及びスラグ破砕物からなり、細骨材は天然鉱石粉砕物及び廃ガラス粉砕物からなって、骨材に対する細骨材の割合は、骨材に対して該細骨材が０．８以上２．５以下である。 （もっと読む）

【課題】通電暴走や異常昇温によって基板に破断が生じた場合でも、発熱体に不完全な破断が起きることを低減できるようにした加熱体の提供。
【解決手段】基板３ａと、通電により発熱する発熱体であって、前記基板に前記基板の長手方向に沿って設けられた発熱体３ｂと、前記発熱体の前記基板の反対側の面を覆う保護層３ｃと、を有する加熱体３において、前記発熱体は有機物を炭化させて形成した炭素系発熱体であり、前記炭素系発熱体と前記基板との接着強度を、前記炭素系発熱体と前記保護層との接着強度よりも強くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 腐食性ガスに曝された場合においても耐腐食性に優れた長寿命の耐腐食性積層セラミックス部材を提供する。
【解決手段】 少なくとも、セラミックス支持基板と、該セラミックス支持基板上に形成された電極層と、該電極層に接続された給電部材と、前記電極層を覆うように前記セラミックス支持基板上に形成された電気絶縁性保護層とを備えたセラミックス部材であって、前記セラミックス支持基板の前記電極層が形成された側の面に、前記セラミックス支持基板上に形成された前記電気絶縁性保護層に接するようにセラミックス保護基板が接合されたものであることを特徴とする耐腐食性積層セラミックス部材。 （もっと読む）

【課題】基板の長手方向において発熱抵抗体の発熱分布ムラを低減できるようにした加熱体、及びその加熱体を有する加熱装置の提供。
【解決手段】基板１４と、前記基板の長手方向に沿って設けられている発熱抵抗体１７と、を有し、サイズの異なる被加熱材を加熱する加熱装置に用いられる加熱体１３において、前記基板の長手方向と直交する短手方向における一端側と他端側にそれぞれ前記基板の長手方向に沿って設けられた電極１５・１６を有し、前記基板の短手方向において前記電極間に前記発熱抵抗体を有し、前記発熱抵抗体を前記基板の短手方向における抵抗値が前記基板の長手方向において連続的に変化するように形成する。 （もっと読む）

【課題】 従来のヒータガラスは、電極が目立って外観が悪かった。また、用途も限られていた。
【解決手段】 本発明の発熱体は、耐熱性と絶縁性を備えた基板に導電薄膜発熱体が設けられ、導電薄膜発熱体に二以上の電極が接続され、それら電極が外部から見えないように被覆材で被覆され、それら電極に給電すると導電薄膜発熱体が発熱するものである。また、当該基板又は／及びそれとは別の装飾板に文字、図形、模様、絵等の装飾が施され、前記基板と前記装飾板は前後に離して又は前後に重ねて配置することもできる。導電薄膜発熱体の一部にその導通を遮断する切断部を設けて、一方の電極に給電される電気が切断部を迂回して他方の電極に通電して導電薄膜発熱体全般に通電して発熱するようにすることもできる。基板又は／及び装飾板に光を入射して文字、図形、模様、絵等の装飾を照明する発光素子を、被覆材で被覆されて設けられたものとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、発熱光源及びその製造方法に関し、特にカーボンナノチューブを利用した発熱光源及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の面発熱光源は、複数のカーボンナノチューブを含むカーボンナノチューブ構造体と、所定の距離で分離し、それぞれ該カーボンナノチューブ構造体に設置された少なくとも二つの電極と、を備える。ここで、前記複数のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている。本発明は面発熱光源の製造方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】ヒータ立ち上がり時と高温時、どの場合でもヒータ長手方向に均一な温度分布が得られ、温度制御を正確に行うことが可能なセラミックヒータを実現する。
【解決手段】長尺平板状のアルミナ等によるセラミック基板１１上の長手方向に、配線パターン１４，１５を並行させて形成する。配線パターン１４，１５の異なる方向の一端にそれぞれ配線パターン１４，１５に電力を供給させる電極１２，１３を形成する。配線パターン１４，１５間にセラミック基板１１の長手方向に幅広の銀・パラジウムをはじめとする銀系材料等などの発熱体ペーストをスクリーン印刷、高温で焼成し所定の抵抗値を有する帯状の発熱抵抗体１６を形成する。配線パターン１４，１５は、発熱抵抗体１６と接続された部分の中間部分に幅を漸次狭くした絞り部１４１，１５１をそれぞれ形成した。これにより配線パターン１４，１５の長手方向の異なる電流の流れに関係なく温度分布の均一化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】加熱面に取り付けられた被加熱物を面内で均一に加熱することのできる、しかも広い温度範囲で良好に均熱性を維持することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、加熱面１１ａを有し抵抗発熱体１２が埋設されたセラミックス基体１１と、このセラミックス基体１１の背面１１ｂに近接して取り付け固定された温度調節部材２１とを備えている。このセラミックス基体１１の加熱面と抵抗発熱体１２との間に、セラミックス基体１１の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する熱伝導性部材１４が配設されている。セラミックス基体１１と温度調節部材２１との間の空隙３１に、ガスが圧力を調節可能に導かれる。 （もっと読む）

【課題】 暴走試験およびヒートサイクル試験の双方においてよりよい結果を得ることができるヒータを提供すること。
【解決手段】 基板と、上記基板に形成されており、Ａｇ−Ｐｄおよびガラスを含む発熱抵抗体と、を備えるヒータであって、上記Ａｇ−Ｐｄ中のＰｄ含有比率Ｐｄが６５ｗｔ％以上であり、上記発熱抵抗体中のガラス含有比率Ｇｃが２０ｗｔ％以下である。 （もっと読む）

【課題】 温度検出の精度を高めることが可能なヒータを提供すること。
【解決手段】 基板１と、基板１に支持された発熱抵抗体２と、基板１に支持された検出抵抗体３と、を備えるヒータＡ１であって、検出抵抗体３は、Ａｇ−Ｐｄを含んでおり、かつ通電方向長さが発熱抵抗体２の通電方向長さ以上である。 （もっと読む）

【課題】耐久性及び加熱効率に優れたセラミックヒータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】セラミック基板１１とセラミック基板１１の内部に埋設された発熱体１２とからなるセラミックヒータ１。発熱体１２は、その全周にわたって、セラミック基板１１との間に隙間を形成することなくセラミック基板１１と接合されている。発熱体１２は、貴金属粉末に金属酸化物粉末とガラス粉末との少なくとも一方を混合して得られる導電性材料からなり、金属酸化物粉末はセラミック基板１１中の主成分となる金属酸化物とともにスピネル型分子構造を形成する金属酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】フィルム加熱方式の加熱装置の非通紙部昇温を改善するともに、被加熱材搬送方向の発熱分布に関する自由度を高めることにより、被加熱材の加熱性と非通紙部昇温対策の両立を図る。
【解決手段】加熱体２５の通電発熱体４３の裏面に絶縁層４５を設け、絶縁層４５に開口部４６を形成し、開口部４６から電極を確保して絶縁層４５上に導電パターン５１〜５６を形成することにより、通電発熱体４３の長手方向発熱領域を調整することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】ヒータ長手方向での均一な発熱分布の得られる板状ヒータを実現する。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２上には長手方向両端を残して副発熱抵抗体１７を、発熱抵抗体１３上には長手方向両端を残して副発熱抵抗体１８をそれぞれ積層形成する。発熱抵抗体１２，１３、副発熱抵抗体１７，１８それに接続導体１６を、厚膜印刷方法を用いてガラスペーストを印刷で覆い、これを焼成してオーバーコート層１９を形成している。抵抗発熱体１２，１３と副抵抗発熱体１７，１８の抵抗値・抵抗温度係数を任意に変えることにより、長手方向で発熱量・抵抗温度係数を自由に変えることができる。 （もっと読む）

【課題】印刷速度を早めた場合の定着フィルムによる磨耗を低減し、搬送不良や定着不良の発生を防止する。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１７を形成する。オーバーコート層１７上には複数の突起１７１を一体的に形成する。突起１７１上を摺動する定着フィルムの摺動性を向上させることができる。また、突起１７１の間に定着フィルムを摺動させることにより発生する突起１７１の屑を入り込ませることで定着不良の発生の防止にも寄与する。 （もっと読む）

【課題】不当な発熱を防止する手段を備え、かつ、安いコストで製造される、ヒータを提供すること。
【解決手段】ヒータ１０は、絶縁基板１と、抵抗体２と、からなる。抵抗体２は、高温下で断線するヒューズ部を備えている。ヒューズ部は、切り欠き５を設けられた上記抵抗体２の一区画である。上記切り欠き５の幅は、上記抵抗体２の幅の１／２０以上かつ１／５以下である。上記切り欠き５の長さは、０．０１ｍｍ以上かつ１．００ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】定着用フィルムによる磨耗を低減させ、搬送不良や定着不良の発生を防止することのできる板状ヒータを実現する。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１７を形成する。オーバーコート層１７上にはさらに表面粗さＲｚが３．０μｍ〜６．０μｍの熱伝導率が高いとともに延性の良い銀を主成分とする合金製の摺動層１８を形成する。表面粗さＲｚが３．０μｍ〜６．０μｍの摺動層１８を延性の良い金属により形成したことで、定着フィルム上を摺動させた場合の摺動屑の発生を低減して定着不良を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 均熱性に優れると共に、セラミックヒータを支持する筒状支持体にかかる応力を軽減して、破損のないヒータユニットを提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体を有するセラミックヒータ１に背面板２が機械的に結合され、この背面板２が更に筒状支持体３に機械的に結合されている。抵抗発熱体の電極端子４ａはセラミックヒータ１の背面側に複数設けてあり、セラミックヒータ１の径方向に沿った同心円状の複数の径方向長さゾーンに分けて配置されると共に、複数の電極端子４ａから筒状支持体３の内側空間内に給電リード４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップを搭載して加熱するためヒータの発熱量を大きくすることができ、しかも短時間で加熱あるいは冷却しても破損しない加熱冷却モジュールを提供する。
【解決手段】 被処理物を搭載し加熱するためのセラミックスヒータ１と、セラミックスヒータ１を冷却するための冷却機構３と、セラミックスヒータ１と冷却機構３の間に配置した支持体２とを有する加熱冷却モジュールであって、支持体２が材質の異なるヒータ側支持体２ａと冷却機構側支持体２ｂとを組み合わせた構造を有している。また、ヒータ側支持体２ａと冷却機構側支持体２ｂの間、冷却機構側支持体２ｂと冷却機構３の間には、熱伝導率が１Ｗ／ｍＫ以上の軟質材からなる介在層４、４を備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 載置面に被加熱物を搭載して加熱処理する際に、ウエハ面内の温度均一性を維持し又は更に向上させ、昇温・降温速度の高速化が可能であって、熱応力による損傷がなく信頼性に優れたヒータユニットを提供する。
【解決手段】 載置台６、抵抗発熱体７、押さえ板９等の２枚以上のプレート状部材を連結ネジ１０で機械的に結合すると共に、連結ネジ１０がベアリングボール１２を有するベアリング機構を備えている。このベアリング機構を備えることによって、縦方向に軸力を加えることで良好な熱伝達を保ちながら、横方向には熱膨張差を吸収できるようにベアリング機構で滑らせ、互いの熱膨張差による平面度変化の発生を防止して、ウエハ面内の温度均一性を確保する。 （もっと読む）