【課題】抵抗発熱体を像加熱装置のニップ部の外側にはみ出させた構成にした際に、セラミックス基板が急激に高温になり、セラミックス基板が割れるという可能性を抑制する。
【解決手段】加熱体は電気的に並列に接続された２本以上の抵抗発熱体を有し、ニップ部の内側に位置する抵抗発熱体の温度を制御する温度制御系を備え、ニップ部の外側に位置する抵抗発熱体が正の抵抗温度特性を有する。 （もっと読む）

【課題】長時間継続又は断続して高温で使用しても、抵抗変化率が小さく、クラックの発生を十分に抑制することが可能なセラミックヒータを提供すること。
【解決手段】本発明は、セラミック基体１と、セラミック基体１内に設けられた発熱抵抗体５とを備え、発熱抵抗体５の発熱部２におけるＭｇ成分の含有量が、高融点金属１００ｍｏｌに対してＭｇＯ換算で０．１〜７．５ｍｏｌであるセラミックヒータ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体を像加熱装置のニップ部の外側にはみ出させた構成にした際に、セラミックス基板が急激に高温になり、セラミックス基板が割れるという可能性を抑制する。
【解決手段】加熱体は電気的に直列に接続された２本以上の抵抗発熱体を有し、ニップ部の内側に位置する抵抗発熱体の温度を制御する温度制御系を備え、ニップ部の外側に位置する抵抗発熱体が負の抵抗温度特性を有する。 （もっと読む）

【課題】セラミックプレート内の任意の位置の温度を測定するのに適したサセプターを提供する。
【解決手段】サセプター１０は、円盤状のセラミックプレート２０の中に、セラミックプレート２０の焼結温度以上の耐熱性を有し互いに材料組成の異なる第１及び第２素線５１，５２と、各素線５１，５２の先端を接合した測温部５０ａとを備えた熱電対５０が、素線のまま埋設されたものである。このサセプター１０によれば、熱電対５０の各素線５１，５２はいずれもセラミックプレート２０の焼結温度以上の耐熱性を有しているため、セラミックプレート２０を焼結する前の成形体に熱電対５０を埋設したあとその成形体を焼結することができる。 （もっと読む）

【課題】 発熱体の幅と厚みを所定の設計値に限りなく近づけることができ、均一な温度分布を達成することが可能なセラミックスヒータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁性セラミックスより成る基体表面上に所定の深さの溝を形成し、この溝に、導電性の抵抗発熱部材ペーストを充填、または成膜し、焼成固化し、さらに、固化された抵抗発熱部材を基体表面を基準として研磨して、焼成固化した充填物の厚さを均一化した後、前記基体の表面に絶縁性被膜を形成してなるものであることを特徴とする。前記発熱抵抗部材のパターンの通電方向における断面積のバラツキが１％以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ウエハの温度の変化を高速化し温度の調節の精度を向上して処理の効率を向上できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器内部の処理室内に配置された試料台上にウエハを載置して前記処理室内に形成したプラズマを用いて前記ウエハを処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台の内部に配置された金属製の基材と、この基材上面に配置され溶射により形成された誘電体製の膜と、前記誘電体製の膜内部に配置され溶射で形成された膜状のヒータと、前記誘電体膜上に配置された接着層と、前記接着層によって前記誘電体膜に貼り付けられた厚さ０.２〜０.４mmのセラミック製の焼結板と、前記基材内部に配置され温度を検知するセンサと、このセンサからの出力を受けて前記ヒータの発熱を調節する制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 均熱性、信頼性に優れたウェハ加熱用ヒータユニットおよびそれを搭載した半導体製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明のウェハ加熱用ヒータユニットは、ウェハ載置面を有する載置台と、該載置台のウェハ載置面とは反対側の面に抵抗発熱ユニットを有し、前記載置台と抵抗発熱ユニットを支持する支持板とから構成され、前記抵抗発熱ユニットが、発熱体と該発熱体を挟み込む複数の絶縁層とからなり、前記絶縁層の少なくとも１層に溝が形成されており、前記発熱体は前記溝に収納されて、他の絶縁層によって挟み込まれており、前記絶縁層同士は互いに接着されていない部分を有することを特徴とする。前記絶縁層同士は、互いに接着されていないことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】作動特性の向上に寄与することが可能な、セラミックヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】セラミックヒータであって、第１セラミック基板と、前記第１セラミック基板上に設けられ、前記第１セラミック基板の熱伝導率よりも熱伝導率の大きな第２セラミック基板と、前記第１セラミック基板と前記第２セラミック基板の間に設けられる発熱抵抗体と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 略鉛直方向に配置した発熱体の発熱時の軟化による発熱体全体の変形を抑制して基本形状を維持することの可能な電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。発熱体１０は、スリットに沿う幅方向Ｗに位置する一対の幅方向端部１３，１３間で加熱空間Ｓ側に向かって凸状を呈する。幅方向Ｗが略鉛直方向に沿うように一対の幅方向端部１３，１３を絶縁体２０にそれぞれ固定することで発熱体１０を支持する。発熱体１０の中間部１０ｍに接当することでこの中間部１０ｍが絶縁体２０側に近接することを防ぐ支持部３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板厚を薄くした場合でも、セラミック基板の反りを抑制する。
【解決手段】長尺平板状の熱伝導率の高いＳｉ_３Ｎ_４製のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３それに接続導体１６上を、熱膨張の異なる少なくとも２種のフィラーが添加されているＳｉＯ_２-ＺｎＯ系ガラスの第１のオーバーコート層１７で覆い、この第１のオーバーコート層１７上をＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系の低熱膨張ガラスの第２のオーバーコート層１８を積層する。これにより、セラミック基板１１の厚みを薄くした場合でも反りを抑制でき、ヒータの立ち上がり時の昇温速度を早くでき、セラミックヒータ１００のオン／オフ制御時間が短縮できる。 （もっと読む）

【課題】 昇降温特性を向上させ、高スループットを実現できる剛性の高い加熱ヒータを比較的安価に提供する。
【解決手段】本発明の加熱ヒータは、ウェハ載置面を有する第１の均熱板と、この第１の均熱板を支持する第２の均熱板と、第１の均熱板と第２の均熱板の間に抵抗発熱体を有し、この抵抗発熱体を第１の均熱板のウェハ載置面とは反対側の面に絶縁性の接着層によって一体化したことを特徴とする。このような構造とすることによって、変形や割れが発生することなく、高速昇降温させることができる加熱ヒータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】基材と発熱シートとを重合させた面状発熱体を発熱させても、反りを緩和することができる面状発熱体を提供する。
【解決手段】本発明の面状発熱体Ａは、ＰＴＣヒータ４による発熱部５を有する発熱シート１と、該発熱シート１に重合された基材２とを備えている。前記発熱部５は互いに離間するよう隣接配置された複数の発熱セル１４を有している。発熱シート１と基材２とは、発熱セル１４の部分で接着され且つ前記離間した領域が非接着とされている。 （もっと読む）

【課題】小型で狭い室内にも設置でき、設備費や運転コストも安く、携帯も容易で、体の必要な部位を効率よく温めることができる焼結セラミックス及び健康ヒータを提供する。
【解決手段】健康ヒータ１は、セラミックス粉末を布生地に担持させてなる布生地層２と面状発熱体４間にＳｉ：９５％〜９６％、Ｎｉ：３．０％〜３．２％、Ｆｅ及びＣｒを総量で１．０％〜１．１％（質量％、以下同じ）以上を含有し、残部不可避的不純物からなる焼結セラミックス３を敷き詰めてなり、セラミックス３を加熱して微量放射線若しくは遠赤外線を放射する。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒータの、長手方向の温度分布の均一化を図る。
【解決手段】長尺板状のセラミック基板１１の長手方向が幅で短手方向が長さの発熱抵抗体２２と電力供給用の電極１２，１３を形成する。発熱抵抗体２２の両端には、セラミック基板１１上に形成された配線パターン１４，１５を接続する。電極１２に形成されたスルーホール１８１と配線パターン１４の長手方向の両端側と中央に形成されたスルーホール１８２〜１８４とを接続パターンを介してそれぞれ接続する。電極１３に形成されたスルーホール１９１と配線パターン１５の長手方向の両端側と中央に形成されたスルーホール１９２〜１９４とを接続パターンを介してそれぞれ接続する。電極１２とスルーホール１８２〜１８４を接続する接続パターンの抵抗値を同じようにし、電極１３とスルーホール１９２〜１９４を接続する接続パターンの抵抗値を同じようにした。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒータの長手方向の温度分布の均一化を図る。
【解決手段】長尺板状のセラミック基板１１の長手方向が幅で短手方向が長さの発熱抵抗体２０と電力供給用の電極１２，１３を形成する。発熱抵抗体２０の両端は、分割して形成された配線パターン１４１〜１４３，１５１〜１５３をセラミック基板１１上で接続する。電極１２に形成されたスルーホール１８１と配線パターン１４１〜１４３の長手方向中央に形成されたスルーホール１８２〜１８４とを接続パターン１６を介してそれぞれ接続する。電極１３に形成されたスルーホール１９１と配線パターン１５１〜１５３の長手方向中央に形成されたスルーホール１９２〜１９４とを接続パターン１７を介してそれぞれ接続する。スルーホール１８２と１９２、スルーホール１８３と１９３、スルーホール１８４と１９４の対向部分の発熱抵抗体２０の発熱量を高くし、セラミックヒータの全体の温度分布の均一化を図る。 （もっと読む）

【課題】長時間継続あるいは断続して高温で使用した場合であっても、抵抗発熱材の劣化を十分に防止することができ、耐久性が高いセラミックヒーターを提供する。
【解決手段】セラミックスからなるセラミック基体１ａ，１ｂと、セラミック基体１ａ，１ｂ内に設けられた、少なくとも抵抗発熱材が埋設された発熱部２と、を備え、セラミックスが８８〜９６重量％のＡｌ_２Ｏ_３、３〜１０重量％のＳｉＯ_２、１〜２重量％のＣａＯ、０．０１〜０．５重量％のＭｇの酸化物を含有し、且つＣａＯに対する前記ＳｉＯ_２の重量比が１．５以上３．５未満である。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体の局所部分が過昇温状態となるのを抑制することができるとともに、高い安全性および充分な絶縁耐圧性を確保することができる加熱ヒータを提供する。
【解決手段】 加熱ヒータ２００は、複数の絶縁層２０２，２０３，２０４，２０５からなる矩形板状のセラミック基板２０１と、通電によって発熱する発熱領域がそれぞれ異なる複数の発熱抵抗体２０３２，２０４２とを含む。そして、前記複数の発熱抵抗体２０３２，２０４２は、複数の絶縁層２０２，２０３，２０４，２０５のそれぞれ異なる層間に設けられる。 （もっと読む）

【課題】長時間継続あるいは断続して高温で使用した場合であっても、抵抗発熱材の劣化を十分に防止することができ、耐久性が高いセラミックヒーターの製造方法を提供する。
【解決手段】基材及び２種以上の助剤を焼結させたセラミックスからなるセラミック体と、セラミック体内に埋設された発熱部とを備えるセラミックヒーターの製造方法であって、少なくとも２種の助剤を７００〜１４５０℃で熱処理する熱処理工程と、抵抗発熱材が埋設されるように、基材と熱処理された助剤とを混合した混合物を成形して成形体を作製する成形工程と、前記成形体を１４５０〜１６５０℃で焼成してセラミックヒーターを形成する焼成工程とを有するセラミックヒーターの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】使用時の快適性を損なうことなく、熱伝達性能の優れた高分子発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】ベース側電気絶縁性基材２とカバー側電気絶縁性基材３に挟持された一対の電極４ａ，４ｂと、これら電極４ａ，４ｂ間に配設されたＰＴＣ特性を有する高分子抵抗体５とを備え、前記ベース側電気絶縁性基材２、カバー側電気絶縁性基材３の少なくとも一方に保温性素材を用いたものである。これにより、高分子発熱体５から発せられた熱を効率よく伝えることが可能となり、省エネ性に優れ、環境にも配慮したものとなる。 （もっと読む）