【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体７を有する板状でＡｌＮ等からなるセラミックスヒータ５の上に、被処理物９を保持するＡｌ等からなる金属製保持部１０を備えている。金属製保持部１０内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路１２が形成されている。この保持体１０は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 （もっと読む）

【課題】 均熱板にウエハを支持するウエハ加熱装置において、均熱板の載置面が凹状になると、中心付近で均熱板とウエハの間のギャップが大きくなるので、特に、均熱板の温度設定を変更したり、ウエハを交換したりした際の昇温過渡時に中心部の加熱が遅れ気味になり、その結果ウエハ面内の温度分布が大きくなるという課題があった。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の載置面を凸状にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含み、前記カーボンナノチューブ複合構造体がカーボンナノチューブ構造体及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブ構造体と基体材料が複合される。前記カーボンナノチューブ構造体が複数のカーボンナノチューブのみからなる。 （もっと読む）

【課題】ダミー部材を用いることなくセラミックヒータの加熱面の温度の均一性を高める。
【解決手段】発明のセラミックヒータの製造方法は、窒化アルミニウム粉末を主体とし希土類酸化物粉末を０．０３〜１重量％含む低温焼結原料粉からなる内層成形体３２の表裏両面を、金属メッシュからなる抵抗発熱体１４，１６を介して体積抵抗率が１０¹⁵Ωｃｍ以上の窒化アルミニウム焼結体からなる一対の外層３０，３０で挟み込んだ状態で、１６００〜１７５０℃で焼成することによりセラミックヒータ１０を得るものである。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を有し、アウトガスの発生が少ないマイカヒーターを得る。
【解決手段】 マイカヒーターの電気発熱体が設けられる絶縁板として、マイカ原料を抄造した原紙板に、フッ素化ポリエーテル骨格とその末端を修飾し且つケイ素を含む架橋反応基とを有する高分子材料を架橋反応させてなる液状のフッ素エラストマーからなる接着剤を含浸させた後、加熱圧縮して得られる集成マイカ板を用いる。 （もっと読む）

【課題】セラミックスヒータの非通紙部を記録紙が通過した場合における定着性の低下を防止する。
【解決手段】長尺のセラミック基板１１の長手方向に平行して発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２の両端には発熱抵抗体１２から漸次幅を広くした端部発熱抵抗体１２１，１２２をそれぞれ形成する。発熱抵抗体１３の両端には発熱抵抗体１３から漸次幅を広くした端部発熱抵抗体１３１，１３２をそれぞれ形成する。電極１４，１５以外は、発熱抵抗体、端部発熱抵抗体、それに接続導体上をオーバーコート層１７で覆い、電気的、機械的、化学的な保護を行う。端部発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２を記録紙が通過した場合も、端部発熱抵抗体により、絶縁基板端部領域での中央領域からなだらかに温度低下させ、加熱不良を解消させる。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の特性に鑑みて、対象物の載置面における温度均一化を図りうるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１によれば、抵抗発熱体４の電流経路の緯線方向についての折り返し箇所が角張っているので、当該折り返し箇所が丸みを帯びている場合と比較して、抵抗発熱体４の面積の増加が図られる。さらに、電流経路の折り返し箇所が、抵抗発熱体４の中央部分４０からみて第１方位および第２方位とは異なる方位、特に中間方位に配置されるように当該電流経路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロヒーターの加熱要素を化学的及び／または機械的に保護するための保護層を備えたマイクロヒーター及び該マイクロヒーターを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロヒーターは、基板と、前記基板と離間した発熱体としての金属パターンと、前記金属パターン上の保護層と、を含むことを特徴とすることにより、マイクロヒーターの加熱要素を化学的及び／または機械的に保護する。 （もっと読む）

【課題】 冷却時の均熱性を維持しながら、温度変更速度を速めるとともに、冷却終了後にヒータの温度を安定させるまでに要する時間を短縮することによって、被処理物を速やかに載置することができるようにし、スループットの向上を図る。
【解決手段】 被処理物を載置して処理するための載置面を有した好適にはセラミックス製のヒータ基板１と、このヒータ基板１を冷却する冷却ブロック２とを備えたヒータユニット１０であって、ヒータ基板１と冷却ブロック２との間に一定高さの介在層６が存在している。この介在層６は、ヒータ基板１の加熱時に相対的に高温部となる領域が、相対的に低温部となる領域に比べて高密度となるような密度分布をもって配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】電力供給時には立ち上がりを速くし、定着時には非通紙部での温度上昇を抑えるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】長尺板状のセラミック基板１１の長手方向が幅で短手方向が長さの発熱抵抗体２０と電力供給用の電極１２，１３を形成する。発熱抵抗体２０の両端には、セラミック基板１１上に形成された配線パターン１４，１５を接続する。電極１２と配線パターン１４の中央部分とはセラミック基板１１の裏面側に形成された接続パターン１６とをスルーホール１８１，１８２を介して接続する。電極１３と配線パターン１５の中央部分とはセラミック基板１１の裏面側に形成された接続パターン１７とをスルーホール１９１，１９２を介して接続する。配線パターン１４，１５には抵抗温度係数が３０００ｐｐｍ／℃以上のものを用いた。 （もっと読む）

【課題】定着用ヒータとしての特性に優れた材料を発熱体とする定着用ヒータを提供する。
【解決手段】フラン樹脂、塩素化塩化ビニル樹脂などの炭素含有樹脂に窒化硼素などの導電阻害物質となり得る金属または半金属化合物を混合し、基材上にスクリーン印刷により発熱体のパターンを形成し、１０００℃程度の温度で焼成してＮＴＣ特性の定着用ヒータを得る。 （もっと読む）

【課題】均一加熱性及び耐久性に優れ、電気的短絡も発生しない加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、密着状態に積層された複数の電気絶縁性基材１１，１２と、電気絶縁性基材１１，１２同士を接合するため電気絶縁性基材１１の凹溝１５内に充填された状態で融着された抵抗発熱材１３と、を備え、抵抗発熱材１３はケイ素若しくはケイ素化合物を含んでいる。抵抗発熱材１３は、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４における一方の電気絶縁性基材１１に形成された凹溝１５内に隙間無く充填された状態で融着されている。電気絶縁性基材１１，１２は、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスで形成されている。また、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４の外周１４ａの一方の電気絶縁性基材１１の全周に渡って形成された開先部１１ａ内にも抵抗発熱材１３ａが充填された状態で融着されている。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体とコネクタとの距離を離さない場合においてもコネクタとの接触不良の発生を抑えるようにする。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２の一端には接続パターン１６を介して通電用の電極１４を、発熱抵抗体１３の一端には接続パターン１７を介して通電用の電極１５を他端には接続パターン１８を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１９を形成する。電極１４，１５は接続パターン１６，１７より厚くし、コネクタが嵌合される側には摺動部２０，２１が形成される。 （もっと読む）

【課題】セラミック基体と接続端子との分離を抑制することができる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】長手方向に延びるセラミック基体と、セラミック基体の表面に設けられた電極パッドと、外部回路と電気的に接続する接続端子と、電極パッドと接続端子とを接合する接合部と、を備えるセラミック接合体を利用する。ここで、電極パッドは、セラミック基体と接する第１層と、第１層上に積層されるとともに接合部と接する第２層と、を含む。第１層は、前記第１層に含有される前記セラミック基体のセラミック材料の含有量（ｗｔ％）は、前記第２層での含有量よりも多い。第１層の輪郭は、全周において、第２層の輪郭の外側にある。 （もっと読む）

【課題】被加熱物の温度を低温領域において急速に高くする場合に優れた昇温特性を発揮することができるヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータユニットは、板状の炭化ケイ素を含むヒータ部１と、被加熱物が載置される、ヒータ部１の上面に載置される試料台３と、ヒータ部１の上面と、試料台３の被加熱物が載置される面に対する反対面とを接着する接着剤２とから構成されおり、積層構造且つ一体化構造を有する。試料台は、窒化アルミを含む材料で構成していることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】
セラミックス基材の中に高融点金属電極層を内蔵した従来のセラミックサセプターでは、内蔵電極層とＮｉ電極棒の接合部で破断、折損等が起こり易い。折損、剥離、破断すると修復不能で、高価なサセプターでも廃棄されるのが常である。本発明は耐酸化性、機密性に優れ、破断、折損し難い新しい構造のセラミックスサセプター（通電部材）を提供する。
【解決方法】
セラミックス基材の中に、該基材と共に同時焼成された高融点金属からなる通電体を内蔵し、該通電体の電極端子との接合部露出面が該セラミックス部材の空所の中に位置してなると共に、該空所に電極端子が埋め込まれて該端子と該通電体露出面および該端子と該セラミックス基材の隙間をＳｉ基合金の層で埋めてなる構造の通電体を内蔵するセラミック部材において、該Ｓｉ合金の層が、該層と接する該通電体露出面および該セラミックス基材面に融着してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイグレーションパターンにより抵抗発熱体の耐久性をより向上させることを目的とする。
【解決手段】長手方向に延び、第１主面および第１主面と対向する第２主面を備える長板状のセラミック基体と、第１主面上に配置され長手方向先端側に配置された発熱部及び長手方向に延びるように第１主面上に配置され、発熱部に電流を供給する一対の発熱リード部を有する抵抗発熱体と、第２主面上に配置され、長手方向先端側に配置された導体部及び導体部と発熱リード部の一方とを接続する導体リード部、を有するマイグレーションパターンと、を備えるセラミックヒータは、第１主面と第２主面との対向方向に見たときに導体部の面積は発熱部の面積より大きい。 （もっと読む）

【課題】昇降温を繰り返しても接触面での接触不良が生じ難く、長寿命なだけではなく、ヒータ本来の温度分布を低下させずに均一な加熱を可能とするユニットを提供すること。
【解決手段】支持基材１の主面に設けられた導電路を有する発熱体２と、端部端子が導電路および電源部に設けられた端子と接続された棒状電極４と、棒状電極４を発熱体２に押圧して密着させるためのばね部であるコイルばね５と、棒状電極４をサポートする電極支持部６を備えている。コイルばね５はブッシュ９によりサポートされ、当該ブッシュ９と固定ボルト７及びナット８の作用によりコイルばね５が圧縮されて、棒状電極４の一方端部に設けられた端子が発熱体２の導電路に設けられた端子と密着することとなる。支持基材１の加熱試料支持面と反対の面側に設けられている電極支持部６は、断熱又は発熱体側への熱輻射により、発熱体２からの放熱を抑制する効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】発熱温度が３００℃以上の高温でも、塗料膜としての強度、及び基体との結合強度が確保できる。
【解決手段】粉砕した竹炭及びファインカーボンを含む炭素粉末と、珪酸カリウム、珪酸ナトリウム、ヨウ素化合物及び水を含む無機系バインダとを、所定の配合割合にて混合攪拌して製造する。製造した発熱塗料は、セラミックス又はガラスの基体表面に塗布する。無機系バインダを使用するため高温に耐える。またバインダと基体との双方に含まれる無機珪酸塩（ＳｉＯ_２）が混合（コンポジット化）して、両者を強く結合させるので、高温発熱においても、両者間の剥離が生じない。 （もっと読む）