【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】基板表面温度の均熱化が可能な基板加熱装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】一方の面に基板を載置する加熱面を有する板状のセラミックス基体と、セラミックス基体に埋設された抵抗発熱体とを有し、加熱面が中央部が最も低く周辺部へ近づく程高い凹面形状である、基板加熱装置である。抵抗発熱体が埋設された板状のセラミックス基体を形成する工程と、加熱面となる、セラミックス基体の一方の面を、中央部が最も低く周辺部へ近づく程高い凹面形状に研削加工する工程と、セラミックス基体の他方の面の中央領域に筒状部材を接合する工程とを有する基板加熱装置の製造方法である。 （もっと読む）

ウェハを支持するための領域を有する表面および本体を備えるステージと、ステージに結合されたシャフトと、第１および第２の加熱素子とを含む加熱装置。第１の加熱素子は、ステージの本体の第１の平面内に配置される。第２の加熱素子は、第１の加熱素子よりステージの表面から離れた距離にあるステージの本体の第２の平面内に配置され、第２の加熱素子は、第１の平面および第２の平面の少なくとも１つに対して実質的に平行な平面に第１の加熱素子からずらされる。
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本発明は、透明パネル及び透明パネルと一体に形成された導電性のヒータ・グリッドを有するウインドウ・アセンブリを提供する。導電性のヒータ・グリッドは、第１の群のグリッド線及び第２の群のグリッド線を有し、各群の両側の端部が第１及び第２のバスバーに接続されている。第２の群のグリッド線は、第１の群の隣接するグリッド線の間に間隔を置いて配置され、第２の群のグリッド線それ自体の幅が第１の群のグリッド線幅より狭くなっている。
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【課題】 本発明は、水晶振動子の２つの振動モードによる発振信号と同時に且つ安定的に発振することが可能な水晶発振器を提供することを課題とする。
【解決手段】 水晶振動子Ｘｔａｌの出力をＢ、Ｃモード側それぞれ２つの水晶共振子Ｆ１１，Ｆ１２及びＦ２１，Ｆ２２に入力する。そして、これらの出力をトランジスタＴｒ１１、Ｔｒ１２及びＴｒ２１、Ｔｒ２２によって位相結合する。これにより、周波数変動に対して安定した位相と利得を持つ信号が得られるので安定した発振を行なえる。またビート信号を用いて温度補償制御を行ない、また水晶振動子Ｘｔａｌをその端子から過熱する。 （もっと読む）

その長手方向において互いに本質的に平行に、ならびに加熱される窓ガラス（１）の基端（２）に平行に延在する、極性の異なる２つの接触バスバー（６、７）と、接触バスバー（６、７）に電気的に接触している一連の加熱フィラメント（９）とを有する、とりわけ車のサイドウインド用の加熱される窓ガラス（１）が開示されている。本発明の窓ガラス（１）は、接触バスバー（６、７）がその長手方向に実質的に一直線に配置されている一方で、加熱フィラメント（９）が、窓ガラス（１）全体を確実に一様に加熱できるように本質的に同じ長さであることを特徴とする。加熱フィラメント（９）は、補償ループ（１１）を構成すること、および／または波形に配置される加熱フィラメント（９）の幅を変えることによって同じ長さにすることができる。
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発明は特にヒータとして役立つ導電性材料に関する。電気的に導電性材料によって、あるいはその導電性材料で形成された加熱手段は知られており、特に、英国、コミュニティーおよび米国登録商標INDITHERMの下で売られたものがその柔軟性のために有効である。導電性のレールが釣り合った柔軟性を持つ必要がある電源への電気的接続を提供するために使用され、発明の目的は導電性のレールの全長に電力の維持を保証することである。この目的は、電力の供給および帰路のための離間された第1のレールを含み、前記レールは半導電性材料と両立性を有する柔軟性を持ち、その長さに沿って各第1のレールに取り付けられた補助レールがあり、補助レールは柔軟性があり、かつ第1のレールのものより大きな強度特性を持っているように構成することにより達成される。 （もっと読む）

放射パイプ（1）と前記パイプに含まれる電気加熱要素（2,3）とを備える、放射チューブを有する電気加熱要素において、前記加熱要素は、前記パイプ内で前後に延びる脚部を有し、前記加熱要素は、電流がそこを介して前記加熱要素に供給される電力アウトレットが設けられる、炉壁に近接する前記パイプの一つの端部において接続され、前記加熱要素は前記パイプ内において、それぞれの脚部がそこを介して延びる貫通孔が設けられた支持セラミックディスク（9）により支持され、二つの加熱要素（2,3）が、前記放射パイプにおいて、その長軸に沿って順に配置される。本発明において、中心ロッド（5）が、前記放射パイプ（1）の中心を介して、その一つの端部（8）からそのもう一方の端部（11）へ、及び各前記支持ディスク（9）の前記中心を介して延び、前記中心ロッドは電力アウトレットを、前記加熱要素（3）の少なくとも一つに対して形成し、前記放射パイプにおける前記二つの加熱要素に対する接続領域（12）は、前記パイプ（1）の長手方向において前記加熱要素間に位置しており、それぞれの加熱要素は、前記接続領域のそれぞれの電力アウトレット（4〜6）に接続され、前記加熱要素は、前記接続領域に設置されるセラミックディスク（18〜23）を前記パイプの長軸に沿う方向において実質的に保持するように機能する、ストップ手段（13〜17）を含み、それぞれの要素を支持する支持セラミックディスク（9）が、前記接続領域（12）からある距離で配置されており、前記セラミックディスク（14,15）の少なくともいくつかは、前記要素の温度の変化に応答してそれぞれの要素が伸縮するときに、要素に関連するストップ手段（27）が許す範囲において、前記パイプ（1）に沿って自由に動くことができることを特徴とする。
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【課題】 支持容器のセラミック基板と接触する部分の平面度を管理する必要がなく、支持容器とセラミック基板との接触面積を小さくすることができ、セラミック基板からの熱の逃散が少なく、セラミック基板の加熱面の温度を均一にすることができるホットプレートユニットを提供すること。
【解決手段】 その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板が、支持容器に配設されてなるホットプレートユニットであって、前記セラミック基板と前記支持容器とは、点接触してなることを特徴とするホットプレートユニット。 （もっと読む）

【目的】 高い熱放射効率を保持する遠赤外線パネルヒータ装置を提供する。
【構成】 少なくとも遠赤外線放射板と面状発熱体と押さえ板を重ね合わせた発熱パネルユニットを備える遠赤外線パネルヒータ装置であり、前記面状発熱体に配設された発熱源である抵抗線１５の配線パターンが面状発熱体１７の中央部領域Ｃが周辺部領域よりも先に高温になるようにパターニング若しくは加熱制御されており、遠赤外線放射板全体がこれに当接する面状発熱体側に凸に反って隙間なく密着して高い熱放射効率を維持する構成である。 （もっと読む）

【課題】 小型または薄型で、耐冷熱衝撃性および熱交換効率が優れた温水加熱用のセラミックヒータ及びそれを用いた温水装置を提供する。
【解決手段】 セラミック基材３の表面に配設された矩形状の発熱抵抗体４と、該発熱抵抗体４の対向する端部に接続される複数の電極５と、該電極５に夫々接続される複数の端子７と、前記発熱抵抗体４表面に積層した保護層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 直径が５〜１５μｍであるカーボンファイバーを複数本束ねたカーボンファイバー束を複数本用いてワイヤー形状やテープ形状のような縦長形状に編み込み，その含有不純物量を灰分で１０ｐｐｍ以下としたヒータ部材（１１，１１１，１２１…１６１，２１２，２２２，４１１，５１５，６１２）を具備することを特徴とするカーボンヒータ。 （もっと読む）

【課題】発熱部分への電力供給が改善されて経時的な事故の発生が防止されるとともに、金属線などの金属系材料を使用しないことにより柔らかな繊維が本来持つ柔軟性を維持することのできる面状発熱体を提供すること。
【解決手段】非金属系糸の織布にて構成された基布にカーボン系発熱成分が給電部分と発熱部分とに区別され得るように固着されている面状発熱体、及びこのような面状発熱体であって、該基布において、給電部分の縦糸である布地糸とその他の布地糸とが異ならせしめてあり、かつ、給電部分の端部にボタン型のカシメ具によって接続せしめられたＬ字型の端子が設けられている面状発熱体。 （もっと読む）