【課題】極端紫外光光源装置の集光点以降における角度分布特性が悪化して非対称になったことを検知できるようにすること。
【解決手段】レーザービームを照射して固体の原料Ｍを気化させ、放電電極２ａと２ｂの間にパルス電力供給部３からパルス電力を供給し、放電電極２ａ．２ｂ間で放電を発生させる。これにより高温プラズマが発生し、ＥＵＶ光が放射される。集光反射鏡６の光軸を中心とする円環上に、検知手段２０が配置され、検知手段２０内には、ピンホールを有する２つの絞り部材が配置され、ピンホールは、集光点Ｐと集光反射鏡６の光反射面６ａにおける任意の点とを結ぶ仮想線上に並ぶように配置される。このピンホールを通過した光は、受光素子に入射する。この受光素子で検知した照度データに基いて集光点Ｐに集光されたＥＵＶ光の角度分布変動を求めることができる。 （もっと読む）

本発明は、出力定格が向上された撮像用のＸ線管に関し、より具体的には、回転陽極型のＸ線源を用いるＸ線に基づくスキャナシステム用のマルチセグメント陽極ターゲット１０２’に関する。Ｘ線管は、陽極ターゲット１０２’の表面に入射する電子ビーム１０５ａに晒された時にＸ線を放射する陽極ターゲット１０２’を備えた、回転可能に支持された実質的に円盤状の回転陽極１０２を有し、回転陽極ディスク１０２は２つ以上の陽極ディスクセグメント１０２ａ及び１０２ｂに分割され、各ディスクセグメントは、回転陽極ディスク１０２の回転軸１０３ａに垂直な平面に対して異なる鋭角αだけ傾斜された円錐面を有することにより、それ自身の焦点軌道幅を有する。電子ビーム１０５ａをパルス化する制御ユニットが設けられ、所与の角度範囲内の傾斜角αを有する選択可能な陽極ディスクセグメント１０２ａ若しくは１０２ｂ、又は陽極ディスクセグメント１０２ａ若しくは１０２ｂのうちの選択可能な組内の何れか１つに入射する時にのみスイッチオン状態を取るデューティサイクルを電子ビームが有するように電子ビーム１０５ａをパルス化するよう適応される。電子ビームのパルスシーケンスを制御することは、所望の視野の角度サイズβに応じた最小の取り得る傾斜角αを有する焦点スポット軌道１０６ｂの最適なセグメントを選択することを可能にし、最大の輝度の焦点スポット１０６及び最大化された出力定格を達成する助けとなる。本発明の利点は、従来の回転陽極と比較して向上された画像品質にある。
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本発明は、電気的に動作される放電によって、光学放射（特に、ＥＵＶ放射又は軟Ｘ線）を生成する装置及び方法に関する。プラズマ１５は、少なくとも２つの電極１、２間のガス媒体において点火され、前記ガス媒体は、少なくとも部分的に、前記放電空間において移動する表面に供給されると共に、１つ又は複数のパルスエネルギビームによって少なくとも部分的に蒸発される液体材料６から生成される。提案される方法及び装置において、パルスエネルギビームのパルス９は、前記表面の移動方向に対して少なくとも２つの異なる横方向の場所に指向される。この手段により、この放射放出ボリュームは、拡張され、空間変動に対する感度があまり高くなく、如何なる用途の光学システムの要件に対してもより良好に適合化されることができる。更に、前記光学出力電力は、この手段によって増大されることができる。
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異なった形状の円錐ビームで物体を走査するために、本発明は、可動式X線管を用いたCTスキャナを提供する（「X線管を複数の所定の位置の間で動かす」ことの意味は、陽極ディスクが複数の対応位置の間で動かされる一方、X線管のシェルは動かない状況も含む）。そのX線管は、軸方向に沿って動作可能であるだけでなく、CTスキャナ・ガントリーの半径方向に沿っても動作可能である。そのスキャナは、X線管を含み、X線管は：複数の焦点軌道を有する陽極ディスクであり、各焦点軌道が、他の焦点軌道の陽極角とは異なる陽極角を持ち円錐形状である、陽極ディスク；及び複数の焦点軌道の少なくとも１つをターゲットにした電子ビームを放射するように構成された第１陰極；をさらに含む。異なる焦点軌道が電子ビームによって照射されるとき、異なる形状の円錐ビームを持つX線ビームが生成される。
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【課題】Ｘ線を所望の検出予定領域に最適に照射できるＸ線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置１は、Ｘ線を被検体Ｐに向けて発生するＸ線管２５と、被検体Ｐを透過したＸ線を検出するＸ線検出器１１と、Ｘ線管２５と前記Ｘ線検出器１１とを支持する支持部１２と、を備え、Ｘ線管２５は、電子線を第１方向Ａに向けて放出する陰極部２７と、陰極部２７と対向する位置に配され、第２方向Ｂを有する対向面３５ａが形成され、放出された電子線が当該対向面３５ａに衝突することで対向面３５ａの傾斜角度に応じた方向にＸ線を放出するターゲット３５と、陰極部２７とターゲット３５とを絶縁して支持する外囲器２９と、第１方向Ａと第２方向Ｂとの相対角を調整する角度調整可能な回転軸３７とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明による個別アドレッシングが可能な大面積のＸ線システムは、電子放出部の陰極部に電流スイッチングが可能なトランジスタを連結し、各トランジスタの個別アドレッシング動作によって大面積の全体領域で均一なＸ線量が出力されるようにして、大面積のＸ線システムを簡単に具現することができることを特徴とする。したがって、本発明による大面積のＸ線システムを医療用装置に適用する場合、被写体の所望の特定部位のみを効果的に撮像することができるので、人体の被害を最小化することができる。また、トランジスタを利用した電流スイッチングを通じて、大面積のＸ線システムを簡単に具現することができるので、他の分野の装置に非常に容易に適用することができる。
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【課題】内視鏡で直接検査対象１４を特定し、この特定に基づいて検査対象１４に直接Ｘ線を照射することにより検査対象１４内部を検査可能として検査不要箇所への被曝をなくし、かつ、高精度な検査を可能とした内視鏡式Ｘ線装置を提供すること。
【解決手段】真空管管壁にＸ線透過可能な薄膜からなるＸ線導出窓７を備え、真空管内部にＸ線発生手段（軸状陽極３７、環状陰極３９、電子遮蔽部材５１）を備えると共にこのＸ線発生手段が発生したＸ線をＸ線導出窓７から窓外前方へ照射するＸ線管３と、Ｘ線照射方向のＸ線照射領域内を撮影可能にＸ線管３に一体固定された内視鏡５と、を備え構成。 （もっと読む）

【課題】 ベータトロン加速器で電子を加速するＸ線発生装置において、加速電圧を制御するコイルに過渡現象を含まない電圧を与えることにより、電子ビーム軌道の変更を正確に行えるようにする。
【解決手段】 電子ビームの軌道を制御するためのビーム制御コイル５に対し、複数の直流電源１１ないし１４のいずれか１つを接続する構成とする。電子ビーム軌道の遷移時に、スイッチ１５ないし１８のいずれか１つを投入してビーム制御コイル５に直流電圧を印加し、安定した電子ビーム軌道の変更を実現するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】中間集光点におけるＥＵＶ光の輝度分布が光軸対称性を有するようにし、ＥＵＶを利用した露光装置の光学系の設計を容易にすること。
【解決手段】第１の電極２ａに貫通孔２ｃを設け、第２の電極２ｂをこの貫通孔２ｃの一方の側に近接させて設ける。第２の電極２ｂは回転し、液体状または固体状の原料を、第１の電極２ａの貫通孔の中心軸上の貫通穴近傍に搬送する。そして、レーザ光を照射して原料を電離させ、第１の電極２ａと第２の電極２ｂ間に放電電圧を印加して放電電流を流し、電離した原料から上記貫通孔内に高密度高温プラズマを生成させてＥＵＶ光を発生させる。貫通孔２ｃの中心軸と、ＥＵＶ光を集光する集光鏡３の光軸を一致させ、貫通孔の中心軸と放電電流の流れる方向を一致させる。これにより、輝度分布が光軸対称性を有するＥＵＶ光を取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】X線管のX線主放射方向とターゲット傾斜面との間の角度を可変とする。
【解決手段】X線管10の外囲器16の大径部40と陽極絶縁部44との間に蛇腹状に形成された可撓筒状部50を設ける。陽極12の陽極端30に引張力を与えることにより、外囲器16の可撓筒状部50が撓み（右側50aが伸長し、左側50bが収縮する）、陽極12の中心軸27がX線主放射方向51に対して傾き、X線主放射方向51とターゲット18の傾斜面28とが作るターゲット角度５２が増加するので、その結果X線照射範囲は増加する。また、陽極12の陽極端30にかける引張力を変えることにより、ターゲット角度52及びX線照射範囲の増加を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】
X線取り出し方向で解像度に偏りのない実効焦点を有し、かつ許容負荷の大きいマイクロフォーカスX線管を得る。
【解決手段】
X線管の陰極の電子集束系14はカソード電極12と4個のグリッド電極、G1電極20、G2電極22、G3電極24、G4電極26で構成され、それぞれのグリッド電極はカソード電極12の電子放射面12aから放射された電子線が通過する開口20a、22a、24a、26aを有する。G4電極26の開口26aのみ楕円形にする。G1電極20〜G3電極24にはカソード電極12の電位に対し正のグリッド電位を、G4電極26には負のグリッド電位を印加することにより、G1電極20〜G3電極24にて電子線を細いビームに集束し、G4電極26にて電子線のビームの断面形状を楕円形にする。この電子線を陽極のターゲットの傾斜面に衝突させることにより、ほぼ円形の実効焦点が得られる。 （もっと読む）

【課題】大きな生産高を有し、低減された量の帯域外放射、及び、下流の物体をスパッタする可能性がある高速粒子の低減された量を発生できる放射システムを提供すること。
【解決手段】放射を多重化するための放射システムは２つの放射副線源を含む。副線源は各々特定の量の放射を供給する。システムは反射面を備えた部材をさらに含む。面は、面が副線源からの放射を受光し、かつ、この放射を結合する形で配列されている。放射副線源は同時に、又は、交番して動作することができる。面は濾過又は拡大（縮小）などの機能を行なうことができる。 （もっと読む）

ＣＴ撮像システムは、Ｘ線コーンビームを検査領域（１４）に挿入するＸ線管（１２、２１２）を含む。このＸ線管（１２、２１２）は、ターゲットの外部表面領域を持つ回転する円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）を含む。この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）は長軸方向に並べられた円柱軸（３２）の周りを回転する。電子は、この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）の前記ターゲットの外部表面領域上にある選択した焦点に向かい加速される。電子又は電磁気デフレクタは、前記円柱状検査領域の前記ターゲットの外部表面領域にわたって前記選択した焦点を前後に掃引する。前記撮像システムはさらに、円柱軸に平行な回転軸の周りにある検査領域の周りをＸ線管に回転させる回転ガントリ（２２）及び前記Ｘ線が前記検査領域（１４）を通過した後のＸ線を検出するように構成されるＸ線検出器を有する。
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