【課題】良好な吸着性能を維持するとともに、サブキャニスターに用いた場合、長期間破損することがない上、より安価に製造できるハニカム構造体及びその製造方法並びにキャニスターを提供する。
【解決手段】活性炭粒子と、該活性炭粒子を結合する粘土状物質で形成される結合相とからなる外周壁と、該外周壁の内側に複数の隔壁で区画形成されたセルを備え、ガス吸着法を用いて測定した前記外周壁および隔壁に存在する直径５〜７ｎｍの細孔容積が２５３ｍｍ^３／ｇ以上、直径１３〜１５ｎｍの細孔容積が９０ｍｍ^３／ｇ以上の構造であるハニカム構造体とする。このようにすることで、炭化水素の吸着および脱離に効果的な細孔の直径および細孔容積が最適化されるので、前記炭化水素に対して長期間良好な吸着性能および脱離性能を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】吸着材を含むハニカム状吸着素子で有機溶剤含有ガスを吸着除去し、その際に濃縮された有機溶剤を冷却により凝縮回収して処理するシステムにおいて、凝縮による回収される排水量を減らし、また排水中の有機溶剤濃度を高め、更に有機溶剤の品質の低下を抑制させる有機溶剤含有ガス処理システムを提供する。
【解決手段】吸着材を含有したハニカム状吸着素子１９により有機溶剤含有原ガス１４中の有機溶剤を吸着除去させると共に、一方で吸着した有機溶剤を加熱空気により脱着し、脱着された有機溶剤含有ガスを冷却凝縮器２０により液回収するシステムにおいて、脱着入口側に除湿機２２を設ける事を特徴とする有機溶剤含有ガス処理システム。 （もっと読む）

揮発性物質フィルタは該フィルタを通るガス流の流れ方向に平行に延伸しているプラスチック材料支持面（４２）上に揮発性物質吸着材料粒子（４２）を備えている。
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【課題】 本発明は、可溶性成分を有するガラス組成のガラス繊維を酸処理して微細孔を形成した後、最適な温度で加熱処理を行うことにより、物理的および化学的なガス吸着量が大きく、塵埃等の捕集効率の優れた多孔質ガラス繊維のペーパーからなるエアフィルタ用ろ材およびエアフィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明のエアフィルタ用ろ材は、ガラス繊維を酸処理後２５０℃以上４００℃未満で加熱した比表面積が２００〜６００ｍ²／ｇの多孔質ガラス繊維のペーパーからなることを特徴とする。また、本発明のエアフィルタは、前記エアフィルタ用ろ材が、多層構造や、ハニカム構造や、プリーツ構造に形成されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 例えば処理済の基板上に付着した腐食性ガスなど処理ガスのガス成分が搬送室などの排気とともにそのまま外部へ排出されることを防止し，工場の排気設備などの負担を軽減する。
【解決手段】 ウエハに所定の処理を施すための処理ユニットと，この処理ユニットに対してウエハを搬出入する搬送室２００とを備える基板処理装置であって，搬送室２００は，搬送室２００内へ外気を導入する給気部２３０と，給気部２３０に対向して設けられ，搬送室２００内を排気する排気部２５０と，排気部２５０に設けられ，排気に含まれる少なくとも有害成分を除去する有害成分除去フィルタ２５６からなる排気フィルタ手段２５４とを設けた。 （もっと読む）

【課題】小型の装置であっても、有害ガス成分を効率良く完全に除去し、しかも、大量の
空気の処理を行えるとともに吸着材の機能低下が少ない革新的な空気清浄技術の開発。
【解決手段】通気路を構成する隙間に気体を流し、気体中に含まれるガスと粒子の拡散係
数の相違を利用してガスを選択的に通気路表面に吸着させて気体中から除去する拡散スク
ラバーの通気路構成材料として活性炭繊維シートを用いて、空気中の揮発性有機化合物を
非濾過方式で活性炭繊維シートにより除去する活性炭繊維シートの使用方法。この方法を
、空気浄化装置をGormley及びKennedyの拡散スクラバの原理を表す理論式において、１パ
スで５０％以上の有害ガス除去効率を得られる構造として適用する。 （もっと読む）

【課題】（１）単位体積当りのイオン交換樹脂の担持量が多く且つ圧力損失が小さいエアフィルタ、又は単位体積当りのイオン交換樹脂の担持量が多く且つイオン交換樹脂が金属担体に担持されているエアフィルタ、（２）通気空洞の開口の面積が小さくても、イオン交換樹脂を担持することができるエアフィルタの製造方法、（３）これらに用いられるスラリー組成物を提供すること。
【解決手段】イオン交換樹脂粉末及びゼオライト粉末を含有することを特徴とするスラリー組成物。該スラリー組成物を用いて、エアフィルタ用担体に塗布処理又は浸漬処理を行い、次いで、乾燥させて得られることを特徴とするエアフィルタ。該スラリー組成物を用いて、シート状の繊維質担体に塗布処理又は浸漬処理を行い、次いで、乾燥させてエアフィルタ用シートを得、次いで、該エアフィルタ用シートを成形して得られることを特徴とするエアフィルタ。 （もっと読む）

【課題】帯電装置で発生するオゾンやトナー等の樹脂材料を熱定着する際に発生する臭気成分等を交換時期を気にすることなく長期に亘って除去することができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静電複写プロセスを経て画像を形成する画像形成装置において、多孔性材料の固体細孔へ気体を吸着する吸着フィルタ（吸着手段）１０ｃと、該吸着フィルタ１０ｃに熱エネルギーを付与する熱定着器（加熱手段）１１７と、該熱定着器１１７から前記吸着フィルタ１０ｃへ与える熱エネルギーの量を制御する吸引比率制御手段（制御手段）１０ａを設け、前記吸着フィルタ１０ｃが吸着した気体分子を離脱・放出する量を前記吸引比率制御手段（制御手段）１０ａによって制御するとともに、該吸着した気体分子を熱分解するよう構成する。 （もっと読む）

本発明は、半導体処理装置内のガスから汚染物質を除去するための装置を含むシステムおよび方法を提供する。この装置は、少なくとも２つの並列フィルタステージが内部に設置されたフィルタユニットを含むことができる。フィルタステージは、貫流するガス中に存在する汚染物質の少なくとも一部を除去するように設計される。この装置は、フィルタステージ間にガスフローを分配するフローコントローラを備えることもできる。一実施形態では、コントローラは拡散プレートで構成することができる。本発明は、本発明のシステムまたは方法におけるガスフロー制御のためのサンプリングチューブオリフィスも提供する。他の実施形態では、クリーンルーム内のガスから汚染物質を除去するための装置は、ガスが装置を通過するときにガス内の汚染物質の少なくとも一部を除去するために使用される少なくとも２つの並列フィルタステージを有するフィルタユニットを含む。
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【課題】 蒸散燃料のリーク量を低減することができ、通気抵抗が小さく、かつ成型性及び強度にも優れる活性炭シート成型体及び該活性炭シート成型体を用いて燃料タンク系及び吸気系から蒸散する燃料蒸気の蒸散を防止するための燃料蒸散防止装置用エレメントを提供すること。 【解決手段】 ４０℃における活性炭１００重量部あたりの１００％濃度のｎ−ブタン吸着量をａ重量部、１％濃度のｎ−ブタン吸着量をｂ重量部としたとき、ｂ／ａ＝０．３〜０．５５の範囲を満足する活性炭からなる活性炭シート成型体によって上記課題を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】
活性炭フィルタから脱離した揮発性有機化合物ガスと水分子ガスを通気パイプに流通させる際に発生する臭気を帯びた水を除去するとともに、揮発性有機化合物ガスの酸化反応により生成する窒素酸化物を除去することができる、活性炭フィルタの再生処理装置および活性炭フィルタの再生処理方法を提供する。
【解決手段】
活性炭フィルタに吸着された揮発性有機化合物ガスと水分子ガスを加熱により脱離させて、この活性炭フィルタを再生処理する活性炭フィルタの再生処理装置において、前記揮発性有機化合物ガスを分解する白金触媒反応器と、除湿器と、窒素酸化物成分を除去する酸性ケミカルフィルタ装置と、前記活性炭フィルタ、前記白金触媒反応器、前記除湿器および前記酸性ケミカルフィルタ装置のそれぞれの構成要素の順に沿って、それぞれの構成要素内のガスを吸引する吸引機とを備えたことを特徴とする活性炭フィルタの再生処理装置である。 （もっと読む）

【課題】通気抵抗の小さいハニカム活性炭を使用して、特に大量かつ低濃度の有機物を含むガスを効果的に吸着すると共に脱離させて有機物を回収し、それでいて爆発する危険性を確実に防止可能な有機物含有ガス処理方法とその処理設備を提供する。
【解決手段】有機物を含有する被処理ガス中の有機物を吸着除去する活性炭吸着装置２と、この活性炭吸着装置によって吸着された有機物を活性炭から脱離する加熱ガスを送給する装置４，５，６と、この加熱ガスにより脱離された有機物を回収する回収装置７，８とを有する。活性炭吸着装置２にはハニカム状活性炭が充填・装着されており、加熱ガス送給装置４，５，６は加熱された不活性ガスを送給する有機物含有ガス処理設備。 （もっと読む）

【課題】空気吸入口の清掃や吸着剤の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる簡易型空気清浄装置を提供すること。
【解決手段】ゼオライト粉末、セビオライト繊維、コロイダルシリカ等を含有するセラミック体からなる吸着剤を用い、ファンモータによって空気の流れを起こして脱臭、除塵、又は除湿を行う簡易型空気清浄装置であって、筒状体からなる装置本体の一端側に蓋体を、他端側に底板をそれぞれ着脱可能に設け、前記蓋体に空気吸入口を形成するとともに、前記底板に前記ファンモータを固定し、前記空気吸入口と前記ファンモータとの間の空間に、前記吸着剤を着脱可能に配設したことを特徴とする簡易型空気清浄装置。 （もっと読む）