【課題】供給する各液体が他方の供給路側へ流入する不具合を防止ないし抑制するとともに、洗浄時には、洗浄液や混合液が他方の供給路側へ流入し難い構成とした多液混合装置を提供する。
【解決手段】本発明の多液混合装置は、複数の液体を混合する混合機４０と、前記混合機４０に前記液体を供給するための複数の供給路５０，６０と、を備え、前記混合機４０は、各液体が混合される混合部４１と、前記複数の供給路５０，６０から供給を受けた各液体をそれぞれ別個に前記混合部４１に誘導する複数の誘導部４２ａ，４２ｂとを備え、前記誘導部４２ａ，４２ｂは、それぞれ屈曲した誘導路４３ａ，４３ｂからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルアセンブリー、これを有する処理液供給装置、及びこれを用いる処理液供給方法が開示される。
【解決手段】 ノズルアセンブリーはハウジング、前記ハウジング内部に収納され、異種の処理液が流れる複数の流路を形成する処理液供給ライン、及び処理液供給ラインと各々接続され、いずれかの１つの端部が基板に向かう際、他の端部は基板から離れるように前記ハウジングの一端部から延長される噴射ノズル含む。従って、ノズルアセンブリーは単純化された構造を有する一方、基板から離れた方向に配置された噴射ノズルの汚染が抑制される。 （もっと読む）

【課題】小さな設置面積で効率よくウェブを略均一に加熱、冷却できる加熱冷却装置を提供する。
【解決手段】本発明のウェブの加熱冷却装置１は、所定の速度で搬送されるウェブの搬送経路中でその上流側に加熱手段１ａと下流側に冷却手段１ｂとを相互に隣接させて備える。冷却手段１ｂは、ウェブＲＬの片面に向かって気体を吹き出す吹き出しノズル１７を有し、この吹き出しノズル１７は、前記ウェブの下流側方向またはウェブに対し直角方向からウェブに近接させ、その先端部をウェブの搬送方向下流側を指向するように曲げたものである。 （もっと読む）

【課題】均一な膜厚を得ることができる液滴塗布方法及び液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布方法において、塗布対象物の塗布面に向けて溶媒を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させ、塗布面上に溶媒の蒸気雰囲気を生成する工程（ステップＳ１）と、蒸気雰囲気が生成された塗布面に向けて溶液を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させる工程（ステップＳ２）とを有する。 （もっと読む）

【課題】ユニットヘッドやヘッド自体が基準方向に対して傾いていても、搬送される記録媒体上の正規の位置に画像情報対応のインク滴を打ち込み可能にする。
【解決手段】ヘッドが記録媒体送り方向に直交する方向に複数個配設されたヘッドユニットと、画像情報に基づきヘッドユニットを駆動して、記録媒体に対してノズルから液体を吐出させる液体吐出タイミング制御をノズル毎に行う制御部４１と、ヘッドユニットの傾き情報を予め記憶している傾き量記憶部１１４と、を備え、制御部４１は、画像情報とヘッドユニットの傾き情報とから記録媒体送り方向に対して、最適な吐出タイミングを各ヘッドのノズル毎に算出する算出手段１２０を有する。 （もっと読む）

【課題】大きな騒音を生ずることなく、また、洗浄能力を低下させることなく効率的に高速流の圧力流体をフィルム状物の表面の剥離洗浄に用いられるようにする。
【解決手段】本装置１では、バックアップロール２とクリーニングヘッド３の凹部３ａとの間に形成されたギャップＧ、換言すれば、ロール２に吸着されたフィルム状物Ｗと上記凹部３ａとの間に形成されたギャップＧに、この凹部３ａの開口口から噴出する高速流のエアが流入して凹部３ａの上流側端側及び下流側端側に二分されてこのギャップＧを通過し、フィルム状物Ｗに付着したダストなどを剥離する。このとき、フィルム状物Ｗは、ロール２に吸着されているので、高速流のエアを作用させても当該ロール２から剥離されない。そして、ダストなどを含む排出エアは、排気ダクト７ａ_１，７ａ_２を通って排気マニホールド６ａ_１，６ａ_２で吸引され外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】膜厚形状が均一かつ品質が良好な膜を形成できるインク吐出装置およびインク吐出方法を提供する。
【解決手段】インク吐出装置において、ヘッド７は、カラーフィルタ基板上に設けられた表示用ドット領域１７内に、ノズル１０を介してインクを吐出する。インク吐出領域認識部は、表示用ドット領域１７の形状および大きさを認識する。インク吐出部は、インク吐出領域認識部１０による認識結果に基づき、表示用ドット領域１７内のインク吐出領域にインクを着弾させるように、ヘッド７を制御する。また、インク吐出領域１７の中心と、表示用ドット領域１６の中心とは、略一致している。さらに、インク吐出領域１７の縦幅Ｙ１と、表示用ドット領域１６の縦幅Ｙ３との比が、０．７〜０．９の範囲にある。さらに、インク吐出領域１７の横幅Ｘ１と、表示用ドット領域１６の横幅Ｘ３との比が、０．７〜０．９の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドユニットの複数の液滴吐出ヘッドのアライメントを精度良く行い、かつ従来よりも簡単な装置構成で行うことを可能にしたアライメント装置を提供する。
【解決手段】ＬＲカメラの傾きとマスタープレートの基準線の傾きとを一致させ、ＬＲカメラの焦点をマスタープレートのパターン形成面からヘッドのノズル形成面に切り替え、ヘッドの傾きをＬＲカメラの傾きと一致させて、複数のヘッドの傾きを一致させる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜等の処理膜の除去状態を改善する調整作業を、均質かつ迅速に行う。
【解決手段】ウェハＷの外縁部に形成された処理膜に除去液を吐出する除去液吐出ノズル５６と、除去液吐出ノズル５６を固定する固定ブロック１００を有している。固定ブロック１００には、除去液吐出ノズル５６をはめ込んで、除去液吐出ノズル５６を所定の俯角方向に向けて固定させるための溝が設けられており、この溝は、一定の角度毎に複数設けられている。 （もっと読む）

【課題】気泡の残留による液滴の噴射不良の発生を防止することができる液滴噴射ヘッド充填装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射ヘッド充填装置１において、充填口Ｈ１からノズル面Ｍ２に向けて伸びる第１内部流路２１、その流路から屈曲して伸び、複数の液室に連通する第２内部流路２２、及びその流路から屈曲して伸び、排出口Ｈ２に連通する第３内部流路２３により構成された液体流路Ｒ１を有する液滴噴射ヘッド２を、第２内部流路２２と第３内部流路２３との屈曲部が液体流路Ｒ１内で最も高い位置にある状態に傾け、その状態になった液滴噴射ヘッド２の液体流路Ｒ１に液体を供給し、液体流路Ｒ１を進行する液体における気体との界面が屈曲部に到達した場合、前述の状態になった液滴噴射ヘッド２を排出口Ｈ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置にある状態に傾ける手段を備える。 （もっと読む）

【課題】バックロールに巻回され支持された連続搬送する長尺状の支持体の支持体上に塗布液の液滴を吐出して塗布を行う塗布装置において、吐出ヘッドの配置のズレに伴う塗膜の膜厚のばらつき、塗布ムラが発生する恐れのない塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルを有する吐出ヘッドを具備し、連続搬送する長尺状の支持体を支持するバックロールに巻き回され支持された前記支持体の支持体上に前記吐出ヘッドより塗布液の液滴を吐出して塗布を行うライン型の塗布装置であって、前記複数のノズルから射出される液滴の射出性能を検出するための検出手段を有することを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

【課題】塗布精度を向上させることができ、さらに、塗布精度の低下を防止することができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置１において、塗布対象物Ｋの塗布面Ｋａにペーストを塗布する塗布ヘッド３と、塗布面Ｋａに沿うＸ軸方向に長尺な部材であって塗布ヘッド３をＸ軸方向に移動可能に支持する支持部材５Ａ、５Ｂと、Ｘ軸方向に塗布ヘッド３を移動させるＸ軸移動機構４ａと、塗布面Ｋａに沿ってＸ軸方向に直交するＹ軸方向に塗布対象物Ｋと塗布ヘッド３とを相対的に移動させるＹ軸移動機構４ｂと、Ｘ軸方向に対する支持部材５Ａ、５Ｂの傾きを求める手段と、求めた傾きに基づき、塗布ヘッド３のＸ軸方向の移動量に応じて塗布ヘッド３のＹ軸方向の補正移動量を求め、求めた補正移動量に基づいてＹ軸移動機構４ｂを制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細かつ複雑な形状を有する、媒体上に存在する複数の領域に対して、迅速かつ正確にインクを塗布することができるインク吐出装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】本発明のインク吐出装置１０は、インクジェットヘッド３１を用いたインク吐出によって基板２０上にパターンを形成するために、該基板２０上に形成することを所望するパターンに基づいてインクの吐出対象領域の形状を決定する吐出対象領域決定手段１１と、該インクジェットヘッド３が有する複数のノズル３１を駆動するノズル駆動部１３と、該吐出対象領域の形状に基づいて、インクの吐出を行うノズル３１を決定し、かつインクの吐出を行う該ノズル３１のそれぞれから吐出されるインクの吐出回数および着弾位置を制御する制御信号をノズル駆動部１３に供給する制御手段１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】隣り合うパターンを近づけることができ、且つ粘性流体材料の垂れ落ちがないノズルを提供する。
【解決手段】粘性流体材料の概ね傾斜波状パターンを形成するノズル（４０）において、ノズルが塗布装置に取り付けられたときに、基材との相対移動方向に対して所定角度で傾斜した長手方向に延在する突起（４６）と、突起に設けられ、粘性流体材料を吐出して、実質的に連続した粘性流体材料の繊維を形成するためのオリフィス（４８）と、突起（４６）の長手方向に延在する両壁（４６ａ）の近傍にそれぞれ設けられ、粘性流体材料の繊維に対してガスを噴射して粘性流体材料を長手方向とほぼ垂直な方向に振動させる少なくとも二つのガス孔（５６）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出ヘッドから吐出した液滴により形成される薄膜の膜厚均一性を向上し
た薄膜形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】第１吐出ヘッドＨ１が、Ｘ矢印方向に配列された複数の第１吐出ノズルＮ１
を有し、各第１吐出ノズルＮ１から吐出距離だけ離れた吐出直線Ｌ上の第１吐出位置Ｐ１
に向けて第１吐出角θ１で第１液滴Ｆａ１を吐出する。第２吐出ヘッドＨ２が、Ｘ矢印方
向に配列された複数の第２吐出ノズルＮ２を有し、各第２吐出ノズルＮ２から前記吐出距
離だけ離れた吐出直線Ｌ上の第２吐出位置Ｐ２に向けて第２吐出角θ２で第２液滴Ｆａ２
を吐出する。そして、制御部が、第１液滴Ｆａ１及び第２液滴Ｆａ２を同じタイミングで
吐出させる。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドのヘッド面における正確な真直度を測定する。
【解決手段】 連続的に走行する非磁性支持体上に磁性層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、表面部材にエッジ面と同一の面を形成する位置合わせ工程と、表面部材の前記エッジ面と同一の面と、エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、ラップ工程により形成された測定子の先端面と、エッジ面とを接触させることにより、エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板等の基板を熱処理する際におけるスペース面での問題を有効に回避した上で、基板の温度ムラを可及的に低減させて、製品の均質化や品質の向上を図る。
【解決手段】 基板Ｇを熱処理エリア２Ａに搬入した後、熱処理エリア２Ａにて基板Ｇに熱処理を施し、然る後、基板Ｇを熱処理エリア２Ａから搬出する基板熱処理方法において、熱処理エリア２Ａに熱処理用のプレート３を配設すると共に、プレート３の表面を上部よりも下部が前方に位置するように傾斜させ、且つ、プレート３の表面に基板Ｇを実質的に密接させた状態で熱処理する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド上に残存するポリイミド液を效率的にとり除いてピンホール不良や線のにじみなどを改善できるポリイミド膜塗布装置及びその方法を提供する。
【解決手段】ポリイミド膜塗布装置は、印刷テーブル、インクジェットヘッド、ポリイミド液供給タンク、ワイパーを含み、インクジェットヘッドの噴射面に接触するワイパーの一面は所定の傾斜角を有する傾斜面で構成される。ポリイミド膜塗布方法は、基板が置かれる段階、ポリイミド液供給タンクにローディングさせる段階、ポリイミド液を基板上に噴射する段階、傾斜面を有するワイパーを利用してインクジェットヘッドのノズルを拭き取る段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】 ダイを用いて経時変化のある塗布液を被塗工物に塗布する際に、特有のスジなどの外観不良の発生を低減した塗布液の塗布方法、それに用いる塗布装置及び塗布装置の設計方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る塗布液の塗布方法は、分散粒子を含む塗布液を、ダイを用いて被塗工物上に塗布する塗布液の塗布方法であって、前記ダイの内部に設けられたマニホールド５内に於ける前記塗布液の流動は、前記マニホールド５に於ける液供給部８から端部Ｐまでの少なくとも８０％の領域に於いて、前記塗布液の平均流速の幅方向偏差をマニホールド５全域での平均流速の６０％以下とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の法線と液滴の吐出方向のなす角度を液滴の吐出間隔に対応させて、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させたパターン形成方法、配向膜形成方法、液滴吐出装置、配向膜形成装置及び電気光学装置並びに液晶表示装置を提供する。
【解決手段】液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１を、吐出方向Ａを投影方向にした液滴Ｆｂの投影像で近似するようにした。そして、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１が液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗ以上になるように、対向基板１５の法線と吐出方向Ａのなす傾斜角θを、吐出する液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗに基づいて設定させるようにした。 （もっと読む）