【課題】液滴の吐出の有無を検出する検査装置の故障検査を行って、液滴の吐出の有無の検出を正確に行うことができる液体噴射ヘッド検査装置及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッド検査装置の検査方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１０から吐出された液滴が到達可能な液滴着弾部３０と、液滴着弾部３０の電気的変化を検出する電気的変化検出手段６０と、液体噴射ヘッド１０から吐出された液滴が液滴着弾部３０に着弾しないように飛翔条件を制御する制御部１１６と、電気的変化検出手段６０における検出結果に基づいて故障の有無を判断する判断部７０と、を具備し、電気的変化検出手段６０における液滴についての検出結果に基づいて故障の有無を判断する。 （もっと読む）

少なくとも部分的に円筒形状を有する物体上に印刷するためのインクジェットプリンタが、移動ラインの上方に配置された１つ以上の印刷用ヘッドと、少なくとも部分的に円筒形状を有する物体を、その軸が移動ラインに揃うように保持し、該物体を上記印刷用ヘッドに対して相対的に配置し、該物体を上記１つ以上の印刷用ヘッドに対して相対的に回転させるように構成される移送台アッセンブリーとを備えている。このプリンタは、移動ラインにそって配置され、噴射された流体を硬化させるために適したエネルギーを放出するように構成される硬化装置をさらに備えている。
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【課題】小型かつ簡易な構造でノズル先端の回転方向位置の正確な位置決めができるノズル回転機構およびそれを備える塗布装置の提供。
【解決手段】液体材料を吐出する吐出口を有するノズルと、ノズルおよび液体材料供給源と連通する流路を有するノズルユニットと、ベース部材と、ベース部材に配設され、ノズルユニットを回転させる回動装置とを備えるノズル回転機構であって、前記ノズルを、ノズルの吐出口の中心線とノズルユニットの回転軸中心線とが角度を構成するようにノズルユニットに配設し、前記ノズルユニットを、回動装置に着脱可能に装着したことを特徴とするノズル回転機構およびそれを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】液体塗布機のヘッドのノズル孔を混色等が生じないように拭浄する。
【解決手段】液体を吐出する多数のノズル孔をそれらの開口部が平面上に並ぶように複数列でヘッドに設け、ヘッドと拭浄体６とを一方向Ｙに相対移動させつつ、ノズル孔の開口部を拭浄体に接触させることにより、ノズル孔の開口部を拭浄する。ヘッドと拭浄体が一方向に相対移動する際にノズル孔の開口部の軌跡がノズル孔列８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2同士間で重なり合わないように、あらかじめ上記平面に垂直な軸の回りでヘッドを所望角度だけ回転させておく。拭浄体を介して異種類の液体がノズル孔の開口部に付着することがなく、異種類の液体同士の混合が防止され、適正な液体の塗布が可能になる。 （もっと読む）

【課題】光硬化性を有する液状材料を用い、高精度な液滴吐出を実現することができる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、ステージ２０に載置されたワークＷの描画領域とは反対の面側に設けられ、描画領域全域に向けて、液状材料を硬化する光を出射し得る光出射部２２を備え、液滴吐出ヘッドは、描画領域の少なくとも一部の領域上に液状材料Ｌを付与した後に当該領域上から退避し、光出射部２２は、液滴吐出ヘッドが前記領域上に存在するとき、前記領域に向けて光を出射せず、液滴吐出ヘッドが前記領域上から退避したとき、前記領域に向けて光を出射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】熱により反りや膨張収縮といった変形が基板に生じても基板上に形成された画素上に正確に材料を塗布することができる液体材料の塗布方法及び塗布装置の提供。
【解決手段】基板を載置するテーブルと、複数の吐出口を有する吐出部とを第一の方向及び第二の方向に相対移動させて前記基板上に液体材料を塗布する塗布方法における、塗布開始前の塗布位置調整工程であって、前記基板上の複数の基準マークの設定位置座標を記憶するステップと、熱処理を伴う工程を経た前記基板をテーブル上に載置し、前記複数の基準マークを画像認識し、測定位置座標を測定するステップと、前記設定位置座標と前記測定位置座標とに基づき前記基板の伸縮率を算出するステップと、前記基板の伸縮率に基づき、前記吐出部を走査方向に対して回動して塗布位置及び吐出口毎の吐出タイミングを調整するステップと、を有する塗布位置調整工程を含む液体材料の塗布方法及びその塗布装置。 （もっと読む）

【課題】１軸方向に移動自在なステージを用いてガラス基板にシール剤を矩形状に能率良く塗布できるようにしたシール剤塗布装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｓを保持する１軸方向に移動自在なステージ３と、ステージ３の移動方向をＸ軸方向として、ステージ３の移動経路を跨ぐようにして配置した門型のフレーム５にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に位置調整自在に配置したシール剤の塗布ヘッド６_１〜６_４と、ガラス基板ＳをＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向の軸線回りに回転させる回転機構１１とを備える。そして、回転機構１１でガラス基板Ｓを９０°回転することにより、ステージ３をＸ軸方向に移動させたときのガラス基板Ｓに対する塗布ヘッド６_１〜６_４の走査方向を９０°切り替える。 （もっと読む）

【課題】機能液の機種切替えに伴うメインタンク交換、装置全体のメンテナンス、装置の長期停止、および装置の設置場所変更等に伴う液抜き作業を容易に且つ短時間で行うことができる機能液供給装置および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク１３に貯留した機能液をサブタンク１２に圧力送液すると共に、サブタンク１２の機能液をインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド９に重力供給する機能液供給装置１０であって、メインタンク１３からサブタンク１２に至る１次側供給流路と、サブタンク１２から機能液滴吐出ヘッド９に至る２次側供給流路と、を備え、１次側供給流路がサブタンク１２からメインタンク１３に向って下り勾配に配管されている。 （もっと読む）

【課題】ローラ外周面に付着した塗布液を掻き取るスクレーパがローラの長手方向に亘って自律的に接触することができる予備塗布装置及び、それを備える塗布装置を提供する。
【解決手段】予備塗布装置は、ローラの外周面にスクレーパを当接させることによりローラの外周面に付着した塗布液を掻き取るローラ表面掻取装置を備えており、このローラ表面掻取装置が、スクレーパがローラの軸方向に沿ってローラの外周面に当接するようにスクレーパの姿勢変化を許容するスクレーパ姿勢自律調整手段を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】超伝導を利用した非接触式のスピンコータの回転ヘッド部の安定的回転を実現し、非接触式での回転力の伝達を効率的に行い、同時にスピンコータの鉛直方向における短尺化により、半導体ウエハ工場内の容積効率向上を実現する。
【解決手段】回転ヘッド部１０を、突出部を持つ密閉容器６０内に収容し、前記突出部の周囲を覆うようにリング状の浮上機構２０を設置し、前記密閉容器外部から非接触で前記回転ヘッド部を回転させる回転機構３０を設置し、前記浮上機構は第二種超伝導体であるピン止め体２１と冷却手段２４を具備し、前記冷却手段でピン止め体を臨界温度以下に冷却し、円板状部材１１に設置された永久磁石１４との間に磁気的ピン止め力を発生させて前記回転ヘッド部を所定の位置に磁気浮上させ、前記回転機構３０によって発生した回転力により前記回転ヘッド部に対応して回転力を追従発生させて前記回転ヘッド部を回転させる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド及び光学装置を用いて容易でかつ正確にマルチノズルヘッドを位置合わせすることができるインクジェットヘッドの位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】ノズル測定カメラを用いて第１ノズルの位置を認識する工程と、上記ノズル測定カメラを水平方向に移動させて第２ノズルの位置を認識する工程と、上記第１ノズルと第２ノズルとの間のチルティング角を算出する工程と、上記チルティング角に応じて上記インクジェットヘッドを回転させる工程と、を含む、複数のノズルが形成されたインクジェットヘッドの位置合わせ方法である。 （もっと読む）

【課題】部品に被覆層を形成するときの塗料液を最小にするとともに、被覆層の成形面の寸法精度を良好にする被覆層成形機を提供する。
【解決手段】被覆層成形機は、回転支持装置２と、供給部１５と、層形成装置２０と、塗料除去手段３０とを有し、被覆層を成形する塗着形成部２１の傾斜角を被覆面Ｄの塗料の回転接線方向に対し３０°〜７０°に保持するとともに、塗料除去手段３０で塗着形成部２１に付着した余剰塗料液を除去する。 （もっと読む）

【課題】基材フィルム上に硬化樹脂層を備える積層フィルムであって、十分な表面硬度を備え、かつ、カールが少なく、しわの少ない積層フィルムの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】連続で搬送される基材フィルムの一方の面に電離放射線硬化型材料と溶媒を含む塗液を塗布し、基材フィルム上に塗膜を形成する工程と、連続で搬送される基材フィルム上の塗膜を乾燥する工程と、連続で搬送される基材フィルム上の塗膜に電離放射線を照射し硬化樹脂層を形成する工程とを順に備え、該塗膜に電離放射線を照射し硬化樹脂層を形成する工程において、連続で搬送される基材フィルムの塗膜面と反対側の面を温調ロールで支持した状態で塗膜面側から塗膜に対して電離放射線が照射され、且つ、前記基材フィルムが前記温調ロールとの抱き角が３０°以上９０°以下の範囲内で連続搬送されることを特徴とする積層フィルムの製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの走査方向に交差する方向に線画像を描画する場合であっても、画質劣化の抑制される液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置によれば、記録媒体上に異なる方向に延伸された複数種類の線画像が形成対象の線画像である場合であっても、各線画像の延伸方向と主走査方向Ｘとが同一となるように調整した後に、液滴吐出ヘッド１４の主走査方向Ｘへの移動によって該線画像を形成する。このため、形成対象の各線画像の全てについて、液滴吐出ヘッド１４の主走査方向Ｘの移動に伴う液滴の吐出により線画像形成が行われることとなる。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に厚さが均一な機能性薄膜を形成できるように溶液を塗布することができるようにした塗布装置を提供することにある。
【解決手段】凹凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板に溶液を塗布する溶液の塗布装置であって、ノズルを有し、ノズルから溶液を基板に滴下塗布する塗布ヘッド２２と、基板と塗布ヘッドとを相対的に移動させる載置テーブル１３と、載置テーブルによって基板と塗布ヘッドとを相対的に移動させるときにこれらの相対的移動方向を基板に形成された凹凸パターンの凹凸部の配置方向に対して所定角度ずらすよう制御する制御装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の垂れ落ち等の問題を生じることがなく、塗布液の無駄をなくし、しかも塗布処理に要する時間を短くすることができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 塗布ヘッド３６の本体３８の下部には、保持板３１より保持された基板Ｇの表面に向けて塗布液としてのレジスト液を吐出する複数の吐出孔３９が列設されたノズル４０が設けられている。そして、ノズル４０を吐出孔３９の列設方向５０と直交する方向に走査しつつこれら複数の吐出孔３９から同時にレジスト液を吐出している。また、回動機構を設けることでノズル４０を回動し、列設方向５０と走査方向５１との間に一定の角度を持たせることで隣接する吐出孔３９間のピッチＰを調節できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】渦巻き状の軌跡を描いて塗布するスキャン塗布法を比較的大きな基板上に適用する場合に、塗布ムラを最小限に抑えながら塗布時間を短縮する。
【課題を解決するための手段】
ステージ１０は基板Ｓを載置して水平回転し、アーム１１はステージ上を弧を描きながら基板Ｓの周縁部からステージの回転中心Ｐに向かって移動する。アーム上には加圧気体の圧力によって塗布液を前記基板上に吐出する複数の供給ノズル１２が設けられ、加圧気体の圧力を変化させる圧力可変手段を有している。更に、供給ノズルを固定するための固定部材２０は回転機構２１により水平回転することができる。供給ノズルは、所定の間隔ずつ離間して直線状に配置して固定部材に固定されていると共に、供給ノズルから基板上に吐出される塗布液の間隔が、制御手段２２によってステージの回転中心Ｐに近づくにつれて狭くなるように固定部材の回転角度が制御される。 （もっと読む）

【課題】インラインで塗工膜幅、または塗工膜厚を制御し、管理することのできる塗工方法、及び塗工装置を提供すること。
【解決手段】 帯状シート２０の表面に、塗工ダイ１１によりペースト材料を所定の塗工膜幅、所定の塗工膜厚さに塗工する塗工方法であって、塗工膜幅Ｗを計測する計測工程と、計測工程の計測値に基づいて、塗工ダイ１１を帯状シート２０に対して、塗工膜１０との距離を０．１μｍのレベルで変化させている。 （もっと読む）

【課題】 複数の液滴吐出駆動部から吐出される各液滴の質量偏差を実時間で測定し、各液滴が高い精密度を要求する直径を有する場合にも各液滴吐出駆動部から吐出される各液滴の質量偏差を測定することができる液滴質量偏差測定装置及びその液滴質量偏差測定方法を提供する。
【解決手段】 複数の液滴吐出駆動部から吐出される複数の液滴に前記複数の液滴の吐出方向と異なる移動方向を有する移動力を提供する液滴移動力提供部と；前記複数の液滴の位置が個別的に反映される液滴位置映像を取得する吐出液滴位置感知部材と；前記吐出液滴位置感知部材によって取得された前記液滴位置映像を用いて前記複数の液滴の液滴吐出方向離脱角を算出し、前記複数の液滴の質量偏差を測定する液滴質量偏差測定制御部と；を含んで液滴質量偏差測定装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】被塗布部材に塗布液を均一な膜厚で塗布することができるスリットコート式塗布方法及びスリットコート式塗布装置を提供する。
【解決手段】スリット状のノズル２１を有すると共にノズル２１の延設方向に沿って設けられる支持軸２３を中心として回動可能に設けられる塗布ヘッド２０と、被塗布部材１００を保持する保持手段３０と、塗布ヘッド２０及び保持手段３０の少なくとも一方を移動させてノズル２１と被塗布部材１００との相対位置を制御する位置制御手段５１と、塗布ヘッド２０の回動動作を制御する回動制御手段５２とを具備し、塗布ヘッド２０と被塗布部材１００とを被塗布部材１００の面内方向で相対的に移動させることで被塗布部材１００の表面に塗布膜２を形成し、塗布液１を塗布膜２から切り離す際に、支持軸２３を中心として塗布ヘッド２０を回動させて塗布ヘッド２０の進行方向に向かって傾斜させるようにする。 （もっと読む）