【課題】中心開口部を有する被処理基板の両面に、中心開口部に塗液が侵入するのを防止しつつ、簡易な工程で均一に塗液を塗布することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布装置１は、中心開口部２ａを有する被処理基板２の両主面に塗液を塗布する塗布装置であって、被処理基板２を、その中心開口部２ａを閉塞して保持するチャッキング部１１を有する回転駆動機構３と、被処理基板２の一方の主面に塗液を噴出する第１の塗液用ノズル１８と、これを被処理基板２の一方の主面に沿って走査するように移動操作する第１の旋回駆動機構１７と、被処理基板２の他方の主面に塗液を噴出する第２の塗液用ノズル２８と、これを被処理基板３の他方の主面に沿って走査するように移動操作する第２の旋回駆動機構３１と、第１の塗液噴出口２３における塗液の噴出量と、第２の塗液噴出口２９における塗液の噴出量を独立に制御する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルアセンブリー、これを有する処理液供給装置、及びこれを用いる処理液供給方法が開示される。
【解決手段】 ノズルアセンブリーはハウジング、前記ハウジング内部に収納され、異種の処理液が流れる複数の流路を形成する処理液供給ライン、及び処理液供給ラインと各々接続され、いずれかの１つの端部が基板に向かう際、他の端部は基板から離れるように前記ハウジングの一端部から延長される噴射ノズル含む。従って、ノズルアセンブリーは単純化された構造を有する一方、基板から離れた方向に配置された噴射ノズルの汚染が抑制される。 （もっと読む）

【課題】角形基板でもその角部分の先端までほぼ均一な薬液層を形成する事の出来る薬液塗布装置を開発する事にある。
【解決手段】(1) 角形基板(1)が嵌め込まれる角形凹所(16)が形成され、該角形凹所(16)の外接円(G)外に面一にて平坦縁部(10b)が形成され、角形基板(1)が前記角形凹所(16)に面一に嵌め込まれた状態で回転する回転チャック(10)と、(2) 角形基板(1)上に薬液(2)を供給するための薬液供給部(11)と、(3) 回転チャック(10)に載置された角形基板(1)を覆うためのものであって、回転チャック(10)の直上に気体流入孔(12)が穿設されており、気体流入孔(12)から角形基板(1)側に導入された気体にて角形基板(1)の中心(P)側から周縁(S)方向に流れる気流(4)を作り出す円錐台状のフード(13)とを有する薬液塗布装置(A)であって、(a) フード(13)の気体流入孔(12)が角形基板(1)の内接円(N)に等しく、且つ、(b) フード(13)の裾縁(14a)が回転チャック(10)の外周縁(10c)に等しく形成されている事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レジスト液などの塗布液をスピンコーティングにより塗布するにあたって、塗布液の消費量を抑え、かつ塗布膜の膜厚について高い面内均一性を得る。
【解決手段】先ずウェハＷの中心部に溶剤Ｓ１を供給し、ウェハＷの表面をプリウェットする。続いて第１の工程において、ウェハＷを第１の回転数まで加速回転させ、回転中のウェハＷの中心部へレジスト液Ｒを供給する。その後第２の工程において、ウェハＷを第２の回転数まで減速回転させ、回転中のウェハＷの周辺部に溶剤Ｓ２を供給する。そして第２の工程でレジスト液ＲをウェハＷの端まで拡散させる。その後第３の工程において、ウェハＷを第２の回転数よりも高い第３の回転数まで加速させ、ウェハＷ上のレジスト液Ｒを乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】基板の周端部の洗浄能力が高く、且つメンテナンスの容易な塗布膜形成装置等を提供する。
【解決手段】
塗布膜形成装置は外カップ３１の中に設けられたスピンチャック１１と、このスピンチャック１１に保持された基板Ｗの下方領域を囲むように設けられた内カップ３４と、を備え、スピンチャック１１に保持された基板Ｗの中心部に薬液を供給してウエハＷを回転させることにより塗布膜を形成する。洗浄ノズル２１は、内カップ３４に設けられた切り欠き部３７に洗浄液供給管５２が接続された状態で着脱できるように構成され、切り欠き部３７に装着された状態で基板Ｗの裏面周縁部に洗浄液を供給することにより基板Ｗの周端部を洗浄する。 （もっと読む）

システム内で、スピンドル上に支持された各部品（ｃ）を水平方向に移送するスピンドルコンベアシステム（２５）を含むスピンドルスプレーコーティングシステム。スプレー時に、各部品を支持する個々のスピンドルを回転させるスピンドル回転ステーション（１８）も設けられる。調整可能なスプレーシステムによるスプレー中に、スピンドル上に支持された各部品を閉じ込めて、スプレーされるコーティング材料に対する環境および作業員の曝露を最低限に抑えるスプレー閉じ込め密閉スプレーブース（２０）。調整可能な二次スプレーシステムによる二次スプレー中に、スピンドル上に支持された各部品を閉じ込める第２のスプレー閉じ込め密閉スプレーブースを設けてもよい。スプレー工程（ｓ）に続いて、目視検査システム（２２）を使用して、コーティングされた各部品が検査される。垂直引き上げ機構と、欠陥部品を把持し、釣り合い重りを使用してこの部品を引き上げ１８０度回転移動させるグリッパ機構とを有し、引き上げ及び回転移動の後に、グリッパ機構からの放出によって部品が処分される欠陥部品自動廃棄用組立体（２４）も設けられる。
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【課題】基板を支持するユニットを提供する。
【解決手段】基板支持ユニットは、工程時に基板に旋回流を供給して基板をチャックプレート上から浮揚及び回転させる工程を行う。したがって、本発明は、基板を非接触方式でチャックプレートから浮揚させて支持し、工程速度で回転させる。 （もっと読む）

【課題】導電性を有する回転部材が高速で回転しても回転部材の表面に潤滑油を塗布することのできる静電式潤滑油塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電式潤滑油塗布装置は、導電性を有する回転部材１の表面に潤滑油を微粒子状に吐出する潤滑油吐出ノズル２と、潤滑油吐出ノズル２と回転部材１との間に直流電圧を印加して潤滑油吐出ノズル２から吐出される油粒子に静電気を付与する静電気付与手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】加熱ユニットと基板の搬送機構との間で高い精度で基板を受け渡すために行われる加熱ユニットの調整作業の手間を抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板に薬液を供給して液処理を行う液処理ユニットと、前記液処理ユニットにより液処理される前あるいは液処理された後の基板を加熱処理するための加熱ユニット４１を複数段に積み重ねて構成されたタワーＴと、加熱ユニット４１と液処理ユニットとの間で基板の受け渡しを行う搬送手段と、前記タワーＴを構成すると共に加熱ユニット４１が装着されて支持され、炭素繊維強化複合材により構成された支持枠部５と、を備えるように塗布装置を構成する。炭素繊維強化複合材は熱により変形し難いため、加熱ユニット４１の熱により支持枠部５が変形して、加熱ユニット４１の位置がずれることを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】回転塗布装置上で紫外線照射も行う場合に効率的な構造により余剰塗布液の硬化による問題を解消する。また回転塗布及び紫外線照射による樹脂層をより良好に生成できるようにする。
【課題を解決するための手段】ディスク基板９０に紫外線硬化樹脂を滴下し、被塗布物を回転させて紫外線硬化樹脂を被塗布物上に延伸塗布した後、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる回転塗布工程において、紫外線照射時には、回転台１を、回転実行位置から紫外線照射実行位置に上昇させる。紫外線照射実行位置では、回転台１が回収経路部２１に対する紫外線の遮蔽体として機能するようにし、回収経路部内に付着した余剰樹脂に紫外線が照射されないようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトレジスト溶液を効率的に用いる噴射式フォトレジストコーティング装置および方法に関する。
【解決手段】上部の接地されたプレート２３０とイオン化されたソルベント蒸気の誘導管２４１を用い、下部の所定電圧でバイアスされた基板２２０と上部の噴射ノズル２４０の間にイオン化されたソルベント蒸気の雰囲気を維持させ、噴射されたＰＲ液滴の損失を最小化すると同時に、基板前面が均一にＰＲでコーティングされるようにする。 （もっと読む）

【課題】 被処理体に対する塗布処理を行っていないときでも、塗布液が付着し易い容器の壁面を湿潤状態に維持できるようにした塗布装置を提供する。
【解決手段】 ウエーハＷの表面上にレジスト液を滴下すると共に、当該ウエーハＷを回転させ該レジスト液を遠心力で拡散させることによって、当該ウエーハＷの表面上に該レジスト液を塗布するスピンコータであって、ウエーハＷを回転可能に保持するスピンチャック１０と、スピンチャック１０の側方及び下方を取り囲むように設けられた容器２０等を含んだ構成となっており、この容器２０のスピンチャック１０と向かい合う側の壁面には、洗浄液を染み出させるための貫通孔ｈが設けられている。 （もっと読む）

【課題】塗布作業を一時中断することなく、またクリーンルーム内の清浄度を低下させることなくコーティング溶液の補充ないしコーティング溶液の容器交換作業を行い、装置の稼働率、生産性を向上させるようにした光学レンズのコーティング装置を提供する。
【解決手段】クリーンルーム７に隣接してコーティング溶液補充室１２０を設ける。クリーンルーム７内に移動自在な塗布容器６０と、第１、第２のコーティング溶液滴下手段６４，６５を配設する。コーティング溶液の塗布時には、第１、第２のコーティング溶液滴下手段６４，６５のいずれか一方で塗布し、他方をコーティング溶液補充室１２０内に待機させておき、この待機中においてコーティング溶液の容器を新しいものと交換する。 （もっと読む）

【課題】本発明はスピンコート法による塗布において、装置内部に飛散した塗布液が固化した固形物が塗布面に付着するという問題を解決するためになされたものであり、スピンコート法において塗布物の再付着による欠陥を防止することを目的とする

【解決手段】本発明は、基材を水平に支持した状態で回転し基材上に保持された塗布液を塗布する回転台と、回転台を回転駆動する駆動部と、駆動部を制御する制御部と、支持された基材および回転台を取り囲みかつ支持された前記基材よりも高い位置まで延びるカバー部材と、カバー部材の内側に配置され塗布液に対して不活性な液体を保持する塗布液受け部を有する回転塗布装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 保持具からレンズへの熱伝達が殆んど生じず、コーティングにおける膜厚のばらつきを防止することができるレンズの保持具およびレンズの製造方法を提供すること。
【解決手段】保持具２０の吸着パッド２４のレンズ５０との当接面に、弾性体２５を設けたことにより、レンズ５０を吸引する際、吸着パッド２４とレンズ５０との密着性が向上する。加えて、弾性体２５を介した通気流ＣＲによって吸着パッド２４からレンズ５０への熱伝達が殆んど生じないので、レンズ５０に熱的なムラが生じず、レンズ５０の加工面５２に形成される反射防止膜を均一な厚さで形成することができる。したがって、反射防止膜の膜厚のばらつきによる干渉色のばらつきが抑制され、レンズ５０の表面反射をより確実に防止できる。 （もっと読む）

【課題】 膜厚分布の少ない被膜を形成するスピンコート用基板を提供し、膜厚分布の少ない被膜を有するセンサー用固体基板を提供すること。
【解決手段】 基板の外周部の一部または全周にわたって、塗布面以外の面を塗布面に隣接して有することを特徴とするスピンコート用基板。 （もっと読む）

バッチスプレイ方法は、ターンテーブル上に搭載される基板を設置するステップと、ターンテーブルの中心軸まわりに基板を回転させるためにターンテーブルを回転させるステップと、ターンテーブルから独立して基板を回転させるステップであって、基板の回転がターンテーブルの回転と同時に生ずるステップと、少なくとも１つの固定位置から基板上に化学物質を定量供給するステップとを含む。ターンテーブルから独立して基板を回転させることは、基板の全周が化学物質の噴射に晒されることを可能とする。一実施例では、基板は、プロセスカセット内に装着されてもよく、プロセスカセットは、ターンテーブル上に搭載され、プロセスカセットは、ターンテーブルが回転している間、ターンテーブルから独立して回転してもよい。

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【課題】基板表面における膜形成において、生産性を低下させることなく、パーティクルの発生を防止できる成膜方法および成膜装置、かかる成膜方法により形成された膜を提供すること。
【解決手段】成膜装置１は、液状の膜形成材料が塗布されるウエハＷを回転支持するウエハ支持部２と、膜形成材料をウエハＷに塗布法により供給して膜を形成する膜形成材料供給部４と、ウエハＷの一方の面の縁部および他方の面の縁部に撥液材料を供給して撥液膜を形成する撥液膜形成部５とを備え、ウエハＷの一方の面に液状の膜形成材料を膜形成材料供給部４から供給するのに先立って、ウエハＷの一方の面の縁部および他方の面の縁部に、撥液材料を撥液膜形成部５から供給して撥液膜を形成することにより、ウエハＷの他方の面側に前記膜形成材料が浸入するのを防止するものである。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の一般的な形成方法であるスピンコート法やバーコート法には、基体の縁端部で塗布膜が厚くなってしまうという問題があり、この問題を回避するためには、最終製品の樹脂基板よりも広い基体の上に溶液を塗布し、乾燥、焼成工程を経て樹脂基板を形成した後、基体に接着した樹脂基板を必要なサイズに切断しなければならなかった。
【解決手段】溶液を全面に塗布する基体を保持する載置部、この基体に近接する溶液を一部にだけ塗布する基体とを保持する載置部、該載置部の少なくとも一方が上昇および下降する手段、基体の表面から所要のギャップをおいて近接するバー、などを有する塗布装置によって、溶液を塗布した後、溶液を全面に塗布する基体を保持する載置部または溶液を一部にだけ塗布する基体を保持する載置部の少なくとも一方を上昇または下降することによって塗布膜を切断し、溶液を全面に塗布する基体上に厚みが一定の塗布膜を形成する。 （もっと読む）

１または複数の層を有する被覆物体（物品）を製造するために使用される方法および装置。当該層は浸漬被覆、スプレー被覆またはフロー被覆によって適用されることができる。当該装置および方法は、被覆されたプリフォームから、被覆された容器、好ましくは、ポリエチレン・テレフタテレートを含む容器を製造できる。ある装置構成において、当該装置および方法は、被覆の損傷の危険を低減し、それゆえ、最終的な容器の効力を増加させる、エネルギー的に効率の良い方法で被覆される容器またはプリフォームを製造することを可能にする。
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