【課題】
本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、ガラス、半導体、誘電／金属複合体及び集積回路等の被研磨材を研磨パッド上にスラリーを供給しながら研磨をおこなう際に、平均スラリー使用量を低減しても、大きな異音を生じず、ウェハー表面へのダメージを少なくした研磨方法を提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明は、上記課題を解決するために、次のような手段を採用するものである。すなわち、本発明の研磨方法は研磨パッドを用いて、スラリーを供給しながら研磨する方法であって、研磨圧力が４５０ｇ／ｃｍ^２以上、研磨パッド面積１５９．５平方センチメートルあたりの平均スラリー使用量が５０ｃｃ／分以上１５０ｃｃ／分以下であり、研磨開始から３秒間以上、２５０ｃｃ／分以上の平均スラリー使用量で研磨することを特徴とする研磨方法である。
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【課題】導電性の良い導電性多孔質フィルムを提供する。
【解決手段】多孔質フィルム１０をアルコール、次に界面活性剤溶液中に浸した後に、多孔質フィルムの繊維間に形成された細孔１１ａ内に導電性部材である粒子状のカーボン１２と撥水剤１３を含有させ、界面活性剤とアルコールを除去して乾燥して得られる導電性多孔質フィルムとその製造方法。 （もっと読む）

【課題】架橋型のイオン交換膜を用いた燃料電池用隔膜において、触媒電極層との接合性が高く、両部材間のイオン伝導性に優れ、これら性状と、メタノールの非透過性や寸法安定性、耐熱性等を両立させた燃料電池用隔膜を提供する。
【解決手段】燃料電池用隔膜６は、全重合性単量体中に占める二官能以上の架橋性単量体の割合が０．５〜４０モル％の単量体組成物を重合させて膜形成させた架橋型のイオン交換樹脂からなる固体高分子電解質膜の少なくとも一方の表面に、該イオン交換樹脂の有するイオン交換基とは逆極性の荷電基を有する重量平均分子量が５０００〜１００万の重合体が０．０００１〜０．５ｍｇ／ｃｍ^２付着されてなる。 （もっと読む）

【課題】エチレン系樹脂に優れた密着性を発現する光硬化型プライマーの提供。
【解決手段】スチレン系エラストマー（Ａ）、α，β−モノエチレン性不飽和基を有する単量体及びその他共重合可能な単量体からなる共重合性モノマー（Ｂ）、光重合性不飽和結合を少くとも２個有する光重合性モノマー（Ｄ）と、光重合開始剤（Ｅ）からなり、（Ａ）のスチレン含有量が２〜５０重量％、かつ重量平均分子量（Ｍｗ）が１〜７０万である、エチレン系樹脂用光硬化型プライマーである。また、スチレン系エラストマー（Ａ）、共重合性モノマー（Ｂ）、光重合性モノマー（Ｄ）との割合が、（Ａ）／（Ｂ）＝９９．５／０．５〜３０／７０、（（Ａ）＋（Ｂ））／（Ｄ）＝９５／５〜３０／７０の重量比であるエチレン系樹脂用光硬化型プライマーが好ましい。 （もっと読む）

本発明の耐薬品性を有する多孔性フィルムは、多孔性フィルム基材が耐薬品性高分子化合物により被覆されている多孔性フィルムであって、連通性を有する微小孔が多数存在し、該微小孔の平均孔径が０．０１〜１０μｍであることを特徴とする。前記耐薬品性高分子化合物としては、例えば、フェノール系樹脂、尿素系樹脂、メラミン系樹脂、ベンゾグアナミン系樹脂、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂、ベンゾオキサジン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、フッ素系樹脂、アルキド系樹脂、酢酸セルロース系樹脂、フタル酸系樹脂、マレイン酸系樹脂、及びケイ素系樹脂等を利用できる。 （もっと読む）

【課題】異方性導電膜の膜面方向の絶縁性および／または膜厚方向の導通性を向上させることが可能な異方性導電膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】膜厚方向に貫通した多数の孔部を有し、孔部はハニカム状に配列されるとともに孔部の内壁面は外側方向に湾曲されている、高分子よりなる多孔質膜を形成する工程と、膜を形成する高分子のガラス転移温度近傍まで多孔質膜を加熱する工程と、多孔質膜の孔部内に導電性物質を充填する工程と、多孔質膜の両面に接着層を被覆する工程とを含んだ異方性導電膜の製造方法とする。多孔質膜の形成には、水と混ざらず、揮発する有機溶媒中に高分子を溶かし、この高分子溶液をキャストした支持基板を、高湿度条件下に存在させる手法などを好適に用いる。また、多孔質膜を加熱する工程では、さらに、膜厚方向に多孔質膜を加圧すると良い。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便に、多孔質膜の孔部内に選択的に導電性物質を充填可能な工程を備えた異方性導電膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】膜厚方向に貫通した多数の孔部を有し、高分子よりなる多孔質膜を形成する工程と、多孔質膜の孔部内に導電性物質を充填する工程と、多孔質膜の両面に接着層を被覆する工程とを含み、導電性物質の充填には、第１の基板上に多孔質膜を固定するとともに、当該多孔質膜と一定距離離間させて第２の基板を配置し、当該多孔質膜と第２の基板との隙間に、導電性物質を溶媒に分散させた分散溶液を導入し、少なくとも一方の基板を膜面方向に移動させる手法を用いる。多孔質膜の形成には、水と混ざらず、揮発する有機溶媒中に高分子を溶かし、この高分子溶液をキャストした支持基板を、高湿度条件下に存在させる手法などを好適に用いる。 （もっと読む）

【課題】強度、伸度などの機械特性が均一な相互侵入高分子網目構造体およびその製造方法を提供する。また、研磨時の面内均一性に優れ、連続研磨において研磨レートの低下の小さく、パッド寿命が改良された研磨パッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、およびラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法であって、ラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程の前に、ラジカル重合禁止剤を、該ラジカル重合性組成物および／または該高分子成形体に添加する相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】特に、プロトン伝導性と水素ガス透過阻止性が高いため、燃料電池に使用すると高い最大出力が得られる電解質膜及びその製造方法、並びにそれを用いた固体高分子型燃料電池を提供する。
【解決手段】スルホン酸基含有ビニルモノマーを含む溶液を多孔性基材に含浸させた後、これを重合する工程を含む電解質膜の製造方法において、前記スルホン酸基含有ビニルモノマーとして、純度９０％以上のビニルスルホン酸及び／又はその塩を８０モル％以上含有するとともに、前記溶液中のビニルスルホン酸及び／又はその塩の濃度を３５重量％以上とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】軽量でなお強い圧縮強さを示し、さらに釘打ちや鋸引き、刃物加工といった木質様の加工ができる、構造主体材としても利用可能で断熱材としても働く軽量の複合発泡体及びその成形品並びにその製造方法を提供する。
【解決手段】複合発泡体を、多面体形状のフォームドメインと、このフォームドメインを取り囲む別の物質からなる薄膜状のセル壁とからなるセル構造単位が隙間無く多数集まった構造を持つものとする。この複合発泡体は断熱材、軽量構造部材、サンドイッチ構造パネル等として用いられる。 （もっと読む）

１０未満のヒドロキシル数を有する水性ポリウレタン樹脂、および着色料を含むコーティング剤によってコーティングされた圧縮可能な基材が、開示される。１０未満のヒドロキシル数を有する水性ポリウレタン樹脂および着色料によってコーティングされた圧縮可能な基材を備える、履物および履物構成材もまた、開示される。本発明の別の実施形態は、圧縮可能な基材をコーティングする方法であって、１０未満のヒドロキシル数を有する水性ポリウレタン樹脂および着色料を含むコーティング組成物を、その圧縮可能な基材の少なくとも一部上に塗布する工程を包含する、方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 多孔質基材の劣化を防止しつつ含浸されたポリマー前駆体の重合を行うことができ、電解質膜を効率よく得ることができる電解質膜の製造方法の提供であり、特に連続的に搬送される長尺状の多孔質基材を用い、当該電解質膜を連続的かつ効率よく得ることができる連続製造方法の提供。
【解決手段】 少なくとも次の（１）〜（３）の工程を有することを特徴とする電解質膜の製造方法。
（１）多孔質基材にイオン交換能モノマーを含有するポリマー前駆体を含浸させる含浸工程、（２）前記多孔質基材にポリマー前駆体が含浸されてなる前駆体含浸シートを、樹脂フィルムで挟み込む工程、並びに、（３）当該ポリマー前駆体を、波長３００〜４００ｎｍの電磁波の照射により重合させる重合工程。 （もっと読む）

【課題】電極／セパレータ間に十分な接着性を有すると共に、内部抵抗が低く、高レート特性にすぐれた電池を製造するために好適に用いることができるセパレータのための反応性ポリマーを担持させた多孔質フイルムと、そのような反応性ポリマー担持多孔質フイルムを用いる電池の製造方法を提供する。
【解決手段】分子中に３−オキセタニル基とエポキシ基とから選ばれる少なくとも１種の反応性基を有する架橋性ポリマーを酸無水物と反応させ、一部、架橋させてなる反応性ポリマーを基材多孔質フィルムに担持させることからなる電池用セパレータのための反応性ポリマーを担持させた多孔質フイルムが提供される。更に、電極／反応性ポリマー担持多孔質フイルム積層体を電池容器内に仕込んだ後、カチオン重合触媒を含む電解液を上記電池容器内に注入して、多孔質フィルムと電極を接着することからなる電池の製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】電極／セパレータ間に十分な接着性を有すると共に、内部抵抗が低く、高レート特性にすぐれた電池を製造することができる反応性ポリマー担持多孔質フィルムを提供する。
【解決手段】針入プローブ式熱機械的分析装置を用いて測定したときに初期の厚みの１／２になるときの温度が２００℃以上である多孔質フィルムを基材多孔質フィルムとし、分子中に３−オキセタニル基とエポキシ基とから選ばれる少なくとも１種の反応性基を有する架橋性モノマーとイソシアネート基に対して反応し得る反応性基を有する架橋性モノマーを共重合することによって得られる架橋性ポリマーを多官能イソシアネートと反応させ、一部、架橋させてなる反応性ポリマーを基材多孔質フィルムに担持させてなることを特徴とする電池用セパレータのための反応性ポリマー担持多孔質フィルム。 （もっと読む）

【課題】低硬度で、適当なローラ抵抗を有し、使用環境の変化に対するローラ特性の変化が小さいことに加え、圧縮永久歪が小さい現像ローラを提供する。
【解決手段】表面にトナーを担持して該トナーの薄膜を形成し、この状態で感光体に接触又は近接して、該感光体表面に前記トナーを供給することにより、該感光体表面に可視画像を形成する現像ローラ１において、良導電性シャフト２の外周に第１弾性層３を形成し、更に該第１弾性層３の外周に第２弾性層４を形成してなり、前記第１弾性層３が導電性を有し且つ気泡の連通化度が40〜80％である発泡ゴムからなり、前記第２弾性層４が導電性を有する非発泡ゴムからなることを特徴とする現像ローラである。 （もっと読む）

銀などの金属でポリマー発泡体を金属処理する方法により、抗微生物材料を製造する金属処理ポリマー発泡体の製造方法。発泡材料はポリウレタン、ポリエステル、ポリエーテル、またはこれらの組み合わせである。本方法は金属の３次元的な表面コーティングである。金属処理された基材は耐久性を有し、かつ高度に粘着性である。このように金属化された発泡体は高効率なフィルターおよび／または抗微生物製品である。ろ過機構はおもにファン・デル・ヴァール引力による。抗微生物活性は、部分的には刺激に応答した選択的な金属の放出によると思われる。 （もっと読む）

室温では固体状態であり、カルボキシル基及び／又はカルボン酸エステル基を含み、且つモル質量Ｍ_nが、１０００〜１００００００ｇ／ｍｏｌである少なくとも１種のポリマーを、未変性の連続気泡フォームに対して１〜２５００質量％の範囲で含む、５〜１０００ｋｇ／ｍ³の密度及び１μｍ〜１ｍｍの平均孔径を有する変性連続気泡フォーム。 （もっと読む）

【課題】電極シートとの間に耐熱接着性にすぐれる強固な接着を有する電極シート／セパレータ接合体を形成して、電池の性能を高く保つと共に、例えば、高温環境下において短絡の発生を抑えて、電池の安全性に寄与することができる電池用セパレータのための接着性多孔質フィルムを提供する。
【解決手段】フッ化ビニリデンとフッ化ビニリデンと共重合可能な含フッ素ラジカル重合性モノマーとオキセタニル基を有するラジカル重合性モノマー５〜５０重量％とエポキシ基を有するラジカル重合性モノマー０．１〜１０重量％とからなるモノマー混合物を共重合して得られる、５０〜１２０℃の範囲の融点を有し、１００００以上の重量平均分子量を有する架橋性ポリマーを架橋剤と反応させ、一部、架橋させてなる反応性ポリマーを基材多孔質フィルムに担持させてなる電池用セパレータのための反応性ポリマー担持多孔質フィルム。 （もっと読む）

【課題】 ガラス、半導体、誘電／金属複合体及び集積回路等に平坦面を形成するのに使用される研磨用パッドにおいて、基板表面にスクラッチが生じにくく、研磨中に研磨状態を光学的に良好に測定できる研磨パッドおよび研磨装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも研磨層１とクッション層５からなる研磨パッドにおいて、該研磨層が透明発砲構造体からなり、かつ、該研磨層には設けられていないが、該クッション層以下の層に開口部７が設けられている。 （もっと読む）

減摩性耐磨耗性材料を記載する。この材料はポリマー樹脂材料を分散して含む延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）フィルムを含む。本発明は、熱硬化又は熱可塑性ポリマーを吸収した、高強度とユニークなミクロ構造とのユニークで有用な組み合わせを有するこのようなＰＴＦＥに関する。これらの材料で製造される製品は機械プレーンベアリングライナー材料などのベアリング材料としての使用に特に適する。
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