【課題】モールドの汚染を簡単に検出することができるインプリント装置およびモールドの汚染検出方法を提供する。
【解決手段】インプリント装置によれば、基板２５の表面に保持される液状の樹脂材料２８に透明なモールド２９が重ね合わせられる。樹脂材料２８は、モールド２９の表面に規定されるナノパターン３１の形状に倣う。こうしたインプリント処理のたびにモールド２９の画像が撮影される。例えばモールド２９の表面に異物が付着すると、モールド２９および樹脂材料２８の間では異物の周囲に空気が溜まる。異物の周囲に空間が形成される。こういった空間は異物を拡大する。したがって、異物３２は画像上で簡単に検出される。こうした画像と基準画像とが比較されると、モールド２９の汚染は簡単に検出される。インプリント装置は常に清浄度の高いモールド２９を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被転写体の表面のマイクロメートルスケールのうねりをスタンパの表面にならし、かつ局所的な圧力集中による樹脂の流動の妨げを抑制することで、被転写体の表面に均一で薄いパターン形成層を有する微細構造体を得ることができる微細構造転写装置を提供すること課題とする。
【解決手段】本発明は、微細パターンが形成されたスタンパ２を被転写体１に接触させて、前記被転写体１の表面に前記スタンパ２の微細パターンを転写する微細構造転写装置Ａ１において、前記スタンパ２または前記被転写体１の裏面から流体を噴きつけて前記スタンパ２または前記被転写体１を湾曲させる流路Ｐ１を有することを特徴とする。 （もっと読む）