【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体と基板を互いに密着させた後、両者を互いに離間させることで剥離して担持体上のパターンを基板に転写するパターン転写技術において、担持体と基板との剥離を良好に行う。
【解決手段】離間開始時では第１離間速度Ｖ１でブランケットＢＬおよび基板ＳＢを互いに離間移動させてブランケットＢＬと基板ＳＢとの密着領域ＣＰの各角部でブランケットＢＬおよび基板ＳＢを部分剥離させた（第１工程）後、当該部分剥離後に離間速度を、第１離間速度Ｖ１よりも遅い第２離間速度Ｖ２に切り替えて、少なくとも密着領域ＣＰが円弧を描く前までの間、この第２離間速度Ｖ２でブランケットＢＬに対して基板ＳＢを離間移動されてブランケットＢＬおよび基板ＳＢの剥離を進行させる（第２工程）。 （もっと読む）

【課題】光学部材の凹凸形状をより簡易に決定するための光学部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】試作用転写型５３の形状を異なる転写率で転写することにより、互いに異なる凹凸形状を有する複数の光学部材試作品３０を成形する試作品成形ステップと、複数の光学部材試作品３０それぞれの光学特性を評価する評価ステップと、光学特性に基づいて光学部材の凹凸形状を決定する形状決定ステップと、試作用転写型５３を用いてラインスピードを所定速度まで上げたときに安定性を有する転写率を見つけ出す確認ステップと、形状決定ステップにより決定された凹凸形状が確認ステップにより見つけ出された転写率で得られるような光学部材製造用転写型を作製する転写型作製ステップと、転写型作製ステップにより作製された光学部材製造用転写型からの転写により光学部材を成形する光学部材成形ステップと、を含む、光学部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】パターンが固化されたインプリント材とモールドとを剥離する際にパターンの破壊や下地基板における膜の剥がれを防止し、歩留まりを向上させる。
【解決手段】パターンが形成されたモールド１０３を、被加工基板１０１の被加工面上のインプリント材１０２に接触させてパターンを転写するパターン形成装置であって、モールドを角度を調整し得る状態で把持する把持部３と、モールドが被加工基板上のインプリント材に接触するように、あるいは離型するように、把持部を移動させる移動部２と、モールドの離型時における移動部の離型速度、モールドと被加工基板との間の離型角度を含む離型条件の少なくとも一つが可変となるように制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】歩留まりよくパターンを形成することができるパターン形成装置、パターン形成方法及びパターン形成用プログラムを提供する。
【解決手段】実施形態に係るパターン形成装置は、凹凸部を有するテンプレートを被転写物に押印し、凹凸部の形状が転写されたパターンを形成する装置である。パターン形成装置は、計算部と、調整部と、転写部と、を備える。計算部は、パターンの設計情報を用いてテンプレートをパターンから離型する際にパターンに加わる力の分布を計算する。調整部は、計算部で計算した力の分布を均一化するための形成条件及びパターンの設計情報の少なくともいずれかを調整する。転写部は、調整部で調整した形成条件及び設計情報の少なくともいずれかにより凹凸部の形状を被転写物に転写する。 （もっと読む）

【課題】 インプリントにおけるテンプレートの検査を短期間で確実に行うことができ、インプリント装置の稼働率の向上及び生産性の向上に寄与する。
【解決手段】 実施形態のインプリント方法は、テンプレートを作製するためのパターンデータを元に、テンプレートの検査で用いるレジスト材の塗布条件を決定し、決定された塗布条件にて検査用基板３０上にレジスト材１１を塗布する。レジスト材１１にテンプレート２０を接触させ該レジスト材１１を一定時間硬化させた後に、テンプレート２０をレジスト材１１から剥離することにより、検査用基板３０上にレジストパターンを形成する。検査用基板３０上に形成されたレジストパターンを検査し、テンプレート２０の使用可否判定を行う。そして、使用可能と判定されたテンプレート２０を用いて、被加工基板上にレジストパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法により、安価で優れた異方拡散性能を発現する異方性拡散フィルムを製造できる方法を提供する。
【解決手段】厚さが１０μｍ〜３００μｍである二軸延伸シンジオタクチックポリスチレン（ＳＰＳ）フィルムを、加圧ロール１１と研磨ロール１２の間で挟持することにより、フィルムの表面に、表面粗さが０．２μｍ〜１μｍである凹凸を設ける。 （もっと読む）

【課題】テンプレート検査時に、プロセス起因欠陥の発生を抑制するプロセス条件を求める。
【解決手段】本実施形態によれば、テンプレート検査方法は、インプリント処理に使用される複数のパターンが形成されたテンプレートをテンプレート検査装置を用いて検査する方法であって、前記複数のパターンからいずれか１つのパターンを抽出する工程と、プロセスパラメータと発生するプロセス欠陥の数とが対応付けられた欠陥プロセスマップと、前記抽出したパターンの寸法ばらつき、掘り込み深さ、及びテーパ角とを用いて、プロセス欠陥数が所定値以下となるプロセスパラメータの組合せを探索する工程と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】複数のインプリント装置を含むクラスタ構成において、転写精度の悪化を抑制して、かつ、全体の稼働率を向上させることが可能なインプリントシステムを提供する。
【解決手段】このインプリントシステムは、基板上の樹脂と型のパターン面とを接触させて、基板上の樹脂にパターンを形成するインプリント装置を複数備える。また、インプリント装置は、基板を保持して移動する移動体Ａ（Ｂ、Ｃ）を備える。ここで、インプリントシステムは、１つのインプリント装置が離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上のインプリント装置の移動体（Ｂ、Ｃ）が同時に加速または減速を行わないように、２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つのインプリント装置の移動体Ｂ（Ｃ）に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】長尺状の罫線であっても、効率的に罫線を形成する。また、加熱ローラを使用して罫線を形成する場合には、樹脂段ボール板に対する加熱ローラの移動量と該加熱ローラの回転量を等しくして回転抵抗が発生するのを回避し、罫線周縁の樹脂段ボール板が破断するのを防止する。
【解決手段】テーブル上に載置された樹脂段ボール板に対して罫線ローラを圧接しながら二次元方向へ移動して折り目になる罫線を形成する罫線形成装置において、罫線ローラには、樹脂段ボール板に対する罫線ローラの移動速度に同期した回転速度で回転する電動モータを駆動連結する。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、高品質のエンボステープを製造することのできるエンボステープの製造方法、エンボステープの製造装置、およびエンボステープを提供する。
【解決手段】エンボステープの製造装置は、樹脂シートを押出成形する押出機と、この押出機により成形された樹脂シートを所定幅にスリットして複数の樹脂シートとするスリッターと、前記樹脂シートまたは前記複数の樹脂シートにエンボス成形を施すエンボス成形機とを備え、前記押出機を出た後の樹脂シートの移動速度と、前記スリッターにおける複数の樹脂シートの移動速度と、前記エンボス成形機における樹脂シートの移動速度とが同じになるように、前記各樹脂シートの移動速度のうち少なくともいずれかを制御する制御装置を備える。 （もっと読む）

【課題】グラデーションパターンの微細化、小ピッチ化が可能であり、かつ、生産性に優れる導光板の製造方法を提供すること。
【解決手段】円周方向に均一な微細凹凸を有するロール型２を加熱し、加熱されたロール型２を熱可塑性樹脂からなる透明基板１の表面に押圧して透明基板１の表面に前記微細凹凸を転写する導光板の製造方法であって、ロール型２が透明基板１を押圧する圧力と、透明基板１の搬送速度と、透明基板１の温度と、の３つのパラメータうち少なくともいずれか１つを変化させることにより、透明基板１に転写された微細凹凸に透明基板１の長さ方向のグラデーションを付与する、導光板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】被転写基板からテンプレートを離型する際の被転写基板の脱離を抑制することが可能なインプリント装置及び方法を提供する。
【解決手段】インプリント装置は、インプリント用のテンプレート１０１を保持するテンプレート保持部と、前記テンプレートを、被転写基板２０１上の光硬化樹脂２０２に押印するよう移動させる、又は前記光硬化樹脂から離型するよう移動させるテンプレート移動部を備える。更に、前記装置は、前記光硬化樹脂に光を照射して、前記光硬化樹脂を硬化する光源１１４を備える。更に、前記装置は、前記テンプレートを前記光硬化樹脂から離型する際に、前記テンプレートの離型速度又は離型角度を、前記テンプレートが離型されるショット領域の位置に基づいて制御する離型制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 樹脂シートの表面に転写型を精度よく転写することができる表面形状転写樹脂シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】 樹脂を加熱溶融状態でダイ５８から押し出して樹脂シート５３を作製し、当該樹脂シート５３を上ロール６３と中間ロール６４とで挟み込み、次いで、樹脂シート５３を中間ロール６４に密着させたまま搬送し、搬送された樹脂シート５３を中間ロール６４と下ロール６５とで挟み込む。この工程において、下ロール６５に凹版転写型６９を装着し、中間ロール６４と下ロール６５とのギャップＢを、上ロール６３と中間ロール６４とのギャップＡよりも狭くする。そして、中間ロール６４と下ロール６５とで挟み込む際に、凹版転写型６９を樹脂シート５３に転写する。 （もっと読む）

【課題】平滑及び平坦、かつ転写性に優れた微細構造体の製造に好適な方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る微細構造体の製造方法は、溶融樹脂供給装置の樹脂供給口をスタンパに沿って移動させることによりそのスタンパに溶融樹脂を塗布し、形成された樹脂溶融体を押圧して冷却・固化することにより微細構造が転写成形された微細構造体を製造する製造方法であって、前記スタンパへの溶融樹脂の塗布が、前記樹脂供給口から供給される溶融樹脂の量がその樹脂供給口と前記スタンパ上面との隙間量に規制される範囲の隙間で行われ、かつ、その規制された供給量を補填しつつ行われることによって実施される。 （もっと読む）

【課題】スタンパの凹凸パターンを被成形材に転写するためのインプリント装置において、スタンパに無視できない程度の反りが生じた場合であっても、そのスタンパの凹凸パターンを、被成形材に適切に転写する。
【解決手段】本発明は、スタンパ１４、１６を吸着して保持する吸着保持手段と、被成形材１２にスタンパ１４、１６を押し付けるように圧力を加える加圧手段と、吸着保持手段によるスタンパ１４、１６の保持を、スタンパ１４、１６と被成形材１２との間に加圧手段によって所定圧を越える圧力が加えられる前に解除する解除手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】描画時間を短縮することが可能な描画方法を提供する。
【解決手段】第１照射条件を用いて、第１エネルギから計算される第１照射量で基板上のレジスト膜に荷電粒子線を照射して、第１描画データのパターンを描画するステップと、第１照射条件より高速に同一面積を描画できる第２照射条件を用いて、レジスト膜の現像による残膜率が変化を開始するエネルギより小さな第２エネルギから計算される第２照射量でレジスト膜に荷電粒子線を照射して、第１描画データのパターンを含む第２描画データのパターンを描画し、レジスト膜の第１描画データのパターン部を選択的に溶解可能とするステップとを含む。第１エネルギと第２エネルギの和は、残膜率の変化が完了するエネルギよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】寸法精度に優れたインプリントに用いられるモールドを製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】ドライエッチング装置を用いて石英製の基板１０をドライエッチングすることにより、インプリントに用いるモールドの製造方法において、基板１０に凹凸パターンを有したエッチングマスク２０を形成するマスク形成ステップと、エッチングマスク２０の側壁への保護膜３０の形成と基板１０のエッチングとを同時に行うエッチングステップとを含む。これにより、基板１０をエッチングすると共にエッチングマスク２０の側壁に保護膜３０が形成されるので、エッチングマスク２０の側壁の侵食が阻止される。 （もっと読む）

【課題】長尺状の樹脂シートの一方の主表面上に連続的に形成される微細形状の寸法をインラインで計測し、その計測結果をインラインで製造条件にフィードバックすることにより、高精度な成形品を提供することが可能な製造方法を提供する。
【解決手段】連続的に樹脂シートに微細形状を形成し、形成した微細形状を計測し、計測結果をあらかじめ記憶させた判断基準と比較することにより、樹脂シートやロール金型の動作条件を補正する。これらの工程を連続的に繰り返すことにより、生産ラインを止めずに、形成される微細形状の寸法を調整する製造方法。 （もっと読む）

【課題】スタンパの塑性変形を可及的に防止し、スタンパの寿命の長いインプリント方法を提供することを可能にする。
【解決手段】基板上に粘性係数が２ポアズ以上４０ポアズ未満のレジストを塗布する工程と、表面に凹凸を有するスタンパを前記レジストに押圧することによって、前記スタンパの凹凸を前記レジストに転写する工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターンが固化されたインプリント材とモールドとを剥離する際にパターンの破壊や下地基板における膜の剥がれを防止し、歩留まりを向上させる。
【解決手段】パターンが形成されたモールド１０３を、被加工基板１０１の被加工面上のインプリント材１０２に接触させてパターンを転写するパターン形成装置であって、モールドを把持する把持部３と、モールドが被加工基板上のインプリント材に接触するように、あるいは離型するように、把持部を移動させる移動部２と、モールドの離型時における移動部の離型速度、モールドと被加工基板との間の離型角度を含む離型条件の少なくとも一つが可変となるように制御する制御部とを備える。 （もっと読む）