本明細書において、窒化アルミニウム製バッフルに関する方法及び装置が提供される。幾つかの実施形態において、半導体プロセス・チャンバで用いるためのバッフルが、窒化アルミニウムと金属酸化物結合剤とを含む本体を含むことができ、本体の表面上における金属酸化物に対する窒化アルミニウムの比は、該本体内における該比より大きいか又はこれと等しい。幾つかの実施形態において、本体は、中央ステムと、該中央ステムの下部に結合され、そこから半径方向外方に延びる外側環とを有することができる。幾つかの実施形態において、バッフルを製造する方法は、アルミニウム、窒素、及び金属酸化物結合剤を焼結して、その表面上に過剰な金属酸化物結合剤が配置されたバッフルの本体を形成し、表面から過剰な金属酸化物結合剤のバルクを除去するステップを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム焼結体の耐プラズマ特性を向上させる。
【解決手段】加水分解型のアルミニウム化合物を含むアルミニウム含有原料と、炭素含有原料と、水とを混合して原料混合物を生成する工程Ｓ１と、工程Ｓ１で混合された原料混合物に含まれる前駆体を炭化及び窒化還元処理する工程Ｓ２と、工程Ｓ２で炭化及び窒化還元処理によって得られた窒化アルミニウム粉体に焼結助剤を分散させる工程Ｓ３と、焼結助剤が分散された窒化アルミニウム粉体を製品形状に成形し、焼成する工程Ｓ４とを有することにより、緻密化された窒化アルミニウム焼結体が生成される。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することが可能で、しかも軽量化を図ることが可能なオートテンショナを提供する。
【解決手段】シリンダ１内に軸心方向に沿ってスライド可能なプランジャ４を配設して、プランジャ４によって、シリンダ１内を圧力室１２とリザーバ室１３とに区切るとともに、圧力室１２とリザーバ室１３とを連通する通路１６を設け、通路１６に、圧力室１２の圧力がリザーバ室１３の圧力よりも高くなったときに通路１６を閉じる閉塞手段２０を設けたオートテンショナである。閉塞手段２０をチェックボール２１を備えたチェックバルブ２２にて構成する。チェックボール２１を、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦２．０を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体にて構成する。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、接触シールを採用しても軸受のトルクを低減することが可能なクラッチレリーズ軸受を提供する。
【解決手段】エンジンとトランスミッションとの間で駆動力を断続するクラッチに取り付けられ、クラッチの回転部材と非回転部材との間に配置されて軸方向に変位するクラッチレリーズ軸受１であって、内輪２１と、外輪２２と、内輪２１と外輪２２との間の環状領域に配置された転動体２３とを備え、内輪２１、外輪２２および転動体２３のうちの少なくとも一つの軸受要素は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦Ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成される。 （もっと読む）

【課題】耐エロージョン性に優れた高圧噴射用部品を提供する。
【解決手段】内部を高圧流体が流れる通路を有する高圧噴射用部品において、窒化ケイ素の粒子に焼結助剤を加えて成形体とし、その成形体を焼結して得られる窒化ケイ素セラミックスからなり、該窒化ケイ素セラミックスの四点曲げ強度を、９８０ＭＰａ以上としたものである。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することが可能であるとともに、負荷される荷重が急激に変化するような用途に用いることが可能なβサイアロン焼結体からなる自在継手用トルク伝達部材、および当該自在継手用トルク伝達部材を備えた自在継手を提供する。
【解決手段】固定ジョイント１を構成する自在継手用トルク伝達部材であるボール１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．５≦ｚ≦３．０を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成される。 （もっと読む）

【課題】 転動体と軌道輪との接触部における滑り摩耗およびフレッティング損傷が抑制され、軸受の軽量化を図ることができる旋回軸受を提供する。
【解決手段】 内輪１と、外輪２と、これら内外輪１，２の各軌道面１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ間で転動自在な複数の転動体３とを備える。転動体３は耐衝撃性に強いセラミックス製である。セラミックスは、βサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体、またはβサイアロンを主成分とし、残部焼結助剤および不純物からなる焼結体から構成されている。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃に起因した軌道部材の損傷を抑制しつつ、転動体の軽量化および耐熱性の向上を達成することが可能なガスタービン用転がり軸受を提供する。
【解決手段】ガスタービンの主軸、または主軸の回転を受けて回転する部材である回転部材を、主軸または回転部材に対向するように配置される部材に対して回転自在に支持する３点接触玉軸受１を構成する玉１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成され、ヤング率が１８０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃に起因した軌道部材の損傷を抑制しつつ、転動体の軽量化および耐焼付性の向上を達成することが可能な原動機用転がり軸受を提供する。
【解決手段】原動機の主軸を、当該主軸に対向するように配置される部材に対して回転自在に支持する深溝玉軸受１を構成する玉１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成され、ヤング率が１８０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】車両の直進走行時における転がり抵抗を抑えると共に、旋回走行時等の高負荷時における高剛性化を図って軸受寿命向上を達成した車輪用軸受装置を提供する。
【解決手段】複列アンギュラ玉軸受で構成された車輪用軸受装置において、複列のボール８列が、鋼球８ａとセラミック製ボール８ｂとが所定の割合で混載された状態で配列されると共に、鋼球８ａの外径がセラミック製ボール８ｂの外径よりも５〜１０μｍ小径に設定されると共に、セラミック製ボール８ｂがＳｉ_６−ｚＡｌｚＯｚＮ_８−ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体で構成されているので、車両の直進走行時における転がり抵抗を抑えると共に、旋回走行時等の高負荷時における高剛性化を図って軸受寿命向上を達成した車輪用軸受装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することが可能であるとともに、負荷される荷重が急激に変化するような用途に用いることが可能なβサイアロン焼結体からなる軸受部品、および当該軸受部品を備えた転がり軸受を提供する。
【解決手段】深溝玉軸受１を構成する外輪１１、内輪１２および玉１３の少なくとも１つは、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．５≦ｚ≦３．０を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成される。 （もっと読む）

【課題】 製品コストの低減化が容易に実現し得る安価なボールねじを提供する。
【解決手段】 ねじ軸１０の螺旋溝１２とナット２０の螺旋溝２２との間にボール３０を配してねじ軸１０とナット２０間で回転動力を軸方向推力に変換するボールねじにおいて、ボール３０は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体で構成されている。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することが可能であるとともに、内部に硬質の異物が侵入する環境下においても用いることが可能なβサイアロン焼結体からなる自在継手用トルク伝達部材、および当該自在継手用トルク伝達部材を備えた自在継手を提供する。
【解決手段】固定ジョイント１を構成する自在継手用トルク伝達部材であるボール１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、１．０≦ｚ≦２．０を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成される。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用した場合における軌道部材の損傷を抑制しつつ、転動体の軽量化を達成することが可能な高速回転用転がり軸受を提供する。
【解決手段】タービンコンプレッサのインペラの主軸を、当該主軸に対向するように配置される部材に対して回転自在に支持するアンギュラ玉軸受１を構成する玉１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成され、ヤング率が１８０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】高いヤング率に起因した寿命の低下を抑制しつつ、耐摩耗性や耐食性を向上することが可能なフィルム延伸機テンタクリップ用ガイドローラ軸受を提供する。
【解決手段】フィルム延伸機のテンタクリップとテンタクリップに対向して配置されるガイドレールとの間にガイドレールに接触して配置され、テンタクリップをガイドレールに沿って案内するガイドローラ軸受１を構成する玉１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成され、ヤング率が１８０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃に起因した機能の低下を抑制しつつ、転動体の耐食性の向上を達成することが可能な免震装置を提供する。
【解決手段】それぞれ第１保持部１１Ａおよび第２保持部１２Ａを有し、第１保持部１１Ａおよび第２保持部１２Ａが互いに対向するように配置された第１保持部材１１および第２保持部材１２と、第１保持部材１１および第２保持部材１２の間において第１保持部１１Ａおよび第２保持部１２Ａに接触し、第１保持部１１Ａおよび第２保持部１２Ａ上を転動可能に配置された玉１３とを備えた免震装置１を構成する玉１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．５≦ｚ≦３．０を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成され、ヤング率が１８０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】高いヤング率に起因した寿命の低下や組み込み性の悪化を抑制しつつ、電食の発生を抑制したモータ用転がり軸受を提供する。
【解決手段】モータの主軸を、当該主軸に対向するように配置されるフレームに対して回転自在に支持するグリース封入深溝玉軸受１を構成する玉１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成され、ヤング率が１８０ＧＰａ以上２７０ＧＰａ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】必ずしも接触部を熱処理にて硬度を高める必要が無く、摩擦抵抗を減らすことで、金属同士の凝着、摩耗を抑制し、さらに継手効率の向上を図ることができ摺動型等速自在継手を提供する。
【解決手段】円筒状の内径面に複数の直線状のトラック溝を軸方向に形成した外側継手部材と、球面状の外径面に複数の直線状のトラック溝を軸方向に形成した内側継手部材と、外側継手部材のトラック溝と内側継手部材のトラック溝との間に介在してトルクを伝達するボールと、外側継手部材の内径面と内側継手部材の外径面との間に介在してボールを保持するケージとを備えた摺動型等速自在継手である。ケージを、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ｚＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とする焼結体にて構成した。 （もっと読む）

【課題】高周波領域における低い誘電損失と高い熱伝導率を有する低損失緻密質誘電体材料、その製造方法及び部材を提供する。
【解決手段】窒化ケイ素を主体とし、アルカリ土類金属元素化合物、周期律表第３ａ族化合物、及び不純物的酸素を含有する窒化ケイ素質焼結体からなり、該焼結体の粒界が結晶化され、かつ２ＧＨｚと３ＧＨｚにおける誘電損失が５×１０^−４以下であり、熱伝導率が５０Ｗ・ｍ^−１・Ｋ^−１以上であり、気孔率が３％未満の高周波用低損失緻密質誘電体材料、その製造方法及び部材。
【効果】半導体ないし液晶製造装置において、主にマイクロ波などの高周波を使用してプラズマを発生させる装置に用いられる高熱伝導・低誘電損失の高周波用緻密質誘電体材料及び部材を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することができるファンクラッチ用転がり軸受を提供する。
【解決手段】入力側回転部材に相当するドライブディスク１８は、粘性流体を介して出力側回転部材に相当するケース１０にトルクを伝達する。このドライブディスク１８を回転自在に支持するファンクラッチ用転がり軸受１であって、内輪２１と、外輪２２と、内輪２１と外輪２２との間の環状領域に配置された転動体２３とを備え、内輪２１、外輪２２および転動体２３のうちの少なくとも一つの軸受要素は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦Ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成される。 （もっと読む）