【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することが可能なβサイアロン焼結体からなる自在継手用トルク伝達部材およびその製造方法、さらに当該自在継手用トルク伝達部材を備えた自在継手を提供する。
【解決手段】固定ジョイント１を構成する自在継手用トルク伝達部材であるボール１３は、βサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成されている。そして、ボール１３の接触面であるボール転走面１３Ａを含む領域には、内部１３Ｃよりも緻密性の高い層であるボール緻密層１３Ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】流動性の高い射出成形用窒化アルミニウム組成物、保形性が良好かつ脱脂性に優れるグリーン成形体、および寸法精度の高い窒化アルミニウム焼結体の実現に好適な射出成形用窒化アルミニウム粉末を提供すること。
【解決手段】下記条件（１）および（２）を充足する射出成形用窒化アルミニウム粉末；
（１）Ｄ₉₀／Ｄ₁₀≦３．５
（２）Ｄ₅₀≦１．０μｍ
〔Ｄ₉₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積体積％が９０％のときの粒子径であり、Ｄ₁₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積体積％が１０％のときの粒子径であり、Ｄ₅₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積体積％が５０％のときの粒子径である。〕。 （もっと読む）

【課題】 内部に流体を流すための流路を有するウエハ保持体について、長期にわたって使用しても液漏れのない、信頼性の高い接続構造を提供する。
【解決手段】 内部に流体を流すための流路が形成されたウエハ保持体であり、流路に接続して外部から流体を供給し排出するためのパイプ部材と、流路の両端部付近の内周面に形成された雌ネジ部と、パイプ部材の先端部付近に形成された雄ネジ部と、雄ネジ部のパイプ部材先端と反対側の端部に設けたフランジ部と、パイプ部材の先端から挿入されてフランジ部に当接するＯ−リングとを有する。ウエハ保持体及びフランジ部のＯ−リングと接触する各接触面の表面粗さは、Ｒａで２.０μｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】反応焼結窒化ケイ素基焼結体を作製する際に、低温短時間で従来製品と同等の反応焼結窒化ケイ素基焼結体を作製する方法及びその製品を提供する。
【解決手段】ケイ素原料に対して、窒化触媒の効果を有するＺｒＯ_２を添加するとともに従来法に比べて低温短時間で反応焼結を行うことで、従来製品の反応焼結窒化ケイ素と同等の機械的特性を有する反応焼結窒化ケイ素基焼結体材料を作製する。
【効果】従来法と比べて低温かつ短時間の反応焼結によって、窒化ケイ素基反応焼結体が作製可能なため、低エネルギー消費で従来品と同等の機械的特性を有する反応焼結窒化ケイ素基焼結体を作製し、提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 水に触れながら摺動する水潤滑下で優れた耐摩耗性を示す耐摩耗性部材を提供する。
【解決手段】 水潤滑下で使用される耐摩耗性部材において、前記耐摩耗性部材は、窒化けい素を７５〜９７質量％、Ｔｉ，Ｈｆ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｗ，Ｍｏの少なくとも１種を０．２〜５質量％、残部をＳｉ−Ｒ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ化合物（ただし、Ｒは希土類元素）を主とする粒界相を有する窒化けい素焼結体を具備すると共に、前記Ｓｉ−Ｒ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ化合物の焼結体内部の存在比率Ｍ１と表面の存在比率Ｍ２との比Ｍ２／Ｍ１が０．９〜１．１の範囲内であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生が少ない耐食性部材、例えばガスノズルを提供すること。
【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体からなる基体の表面の一部をなす複数の柱状の窒化アルミニウム結晶粒子を有し、前記柱状の窒化アルミニウム結晶粒子の頂点と、該頂点を中心とした２０μｍ四方における柱状以外の窒化アルミニウム結晶粒子の頂点との最大高低差が４μｍ以上である領域を有すること。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら、十分な耐久性を安定して確保することが可能なβサイアロン焼結体からなる自在継手用トルク伝達部材とその製造方法、および当該自在継手用トルク伝達部材を備えた自在継手を提供する。
【解決手段】自在継手である固定ジョイント１は、軸１６に接続されたアウターレース１２と、アウターレース１２に接触し、アウターレース１２のアウターレースボール溝１２Ａを転走可能に配置されたボール１３と、ボール１３およびアウターレース１２を介して軸１６に接続された軸１５とを備えている。そして、ボール１３は、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚの組成式で表され、０．１≦ｚ≦３．５を満たすβサイアロンを主成分とし、残部不純物からなる焼結体から構成される。 （もっと読む）

【課題】産業上有用な窒化硼素含有複合セラミックス焼結体を安価に提供しうる新規な製造方法を提案する。
【解決手段】水に対して不活性な有効量の結晶性乱層構造窒化硼素微粉末を窒化硼素以外のセラミック原料と混合したセラミック混合物を成形し、焼結する。 （もっと読む）

【課題】金属切削工具用途のためのサイアロン系セラミック材料に、優れた堅牢性を有する、金属の機械加工のために最適な組成物、好ましくは耐熱性スーパーアロイを提供する。
【解決手段】本発明は、β−サイアロン（Ｓｉ_6-zＡｌ_zＯ_zＮ），α−サイアロン、ＴｉＮ，Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）またはＴｉＣを含む耐熱硬質相、粒間の非晶または部分的に結晶の相に基づき、かつイットリウムを含むセラミック材料に関する。β−サイアロン相はｚ値０．３〜０．８を有する。耐熱硬質相の量は１０〜２０質量％である。該材料は、耐熱性スーパーアロイ（ＨＲＳＡ）の機械加工のための切削工具挿入物として特に有用である。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも７０体積パーセントの量で存在する立方体窒化ホウ素粒子の多結晶塊と、性質上金属であるバインダ相とを含む立方体窒化成形体に向けられる。本発明は、バインダ相が好ましくは性質上超合金である成形体に及ぶ。 （もっと読む）

【課題】 印加された電圧に対して一定範囲の体積抵抗率を有することができる静電チャック用窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 静電チャック用窒化アルミニウム焼結体は、クロム酸化物０．１〜１．０重量％と、あるいはさらにイットリウム酸化物１．０〜３．０重量％を加え、残部が窒化アルミニウムで全体を１００重量％とした組成でなっている。この静電チャック用窒化アルミニウム焼結体は、体積抵抗率が常温で１×１０^１３〜１×１０^１５Ωｃｍであり、また印加電圧に対して体積抵抗率の変化が小さく、１００Ｖ／ｍｍの電場における体積抵抗率に対し、３０００Ｖ／ｍｍの電場における体積抵抗率の変化率が、５％以内である。 （もっと読む）

本発明は透明な多結晶酸窒化アルミニウムの製造方法に関するものである。従来の製造方法で製造された酸窒化アルミニウムは、内部に気孔が多く存在し、透明度が落ちるが、本発明はこのような問題を解消したものである。本発明の酸窒化アルミニウム製造方法においては、原料粉末に添加する焼結添加剤は０．５重量％未満のＭｇＯを含む。また、原料粉末を相対密度が９５％以上になるように１５５０℃〜１７５０℃で予備焼結させた後、予備焼結より高い相対密度を達成するように１９００℃以上で再焼結する。本発明によれば、内部の気孔が殆ど除去され、実質的な透明度が９５％以上である立方晶相の多結晶酸窒化アルミニウムセラミックを得ることができる。
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【課題】高い硬度及び優れた耐摩耗性を有する窒化ケイ素焼結体を提供すること。
【解決手段】主相としてα窒化ケイ素及びβ窒化ケイ素と、１０〜４０ｍｏｌ％の割合で含有される、平均粒径が大きくとも１．０μｍであるチタン炭窒化物とを含有して成ることを特徴とする窒化ケイ素質焼結体、これから形成された切削工具、切削インサート及び工具。 （もっと読む）

【課題】体積抵抗率が低い窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】マイエナイト（mayenite）相を含有し、かつカルシウムを５００〜２００００ｐｐｍ含有することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体、ならびに１００質量部の窒化アルミニウム、およびカルシウム原子に換算して０．０１〜５．０質量部のカルシウム含有焼結助剤を含有する混合物を、中性雰囲気下、１５００〜１７００℃で、５０時間以上焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】熱伝導率の高い窒化アルミニウム焼結体を提供できる窒化アルミニウムスラリーを提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム粉末、有機溶剤及び酸化防止剤を含む窒化アルミニウムスラリー並びにそれから得られる窒化アルミニウム顆粒、窒化アルミニウム成形体及び窒化アルミニウム焼結体に係る。 （もっと読む）

【課題】加熱冷却サイクルでクラックが発生し難く進展し難い高い耐久性をもったセラミックス基板と、これを用いたセラミックス回路基板及び半導体モジュールを提供する。
【解決手段】本発明は破壊靭性が６．０ＭＰａ・ｍ^１／２以上であり、曲げ弾性率が２３０ＧＰａ以上であるセラミックス基板である。セラミックス基板表面のビッカース硬度を１６００以上とすることにより曲げ弾性率２３０ＧＰａ以上とすることができる。又はセラミックス基板表面の残留応力を−４０ＭＰａ以下とすることにより曲げ弾性率２３０ＧＰａ以上とすることができる。 （もっと読む）

【課題】焼成雰囲気調整なく高い焼結性、高い緻密性及び大きな熱伝導性を有する窒化珪素焼結体、並びにそれを用いた放熱性の大きな放熱絶縁用セラミックス基板、放熱絶縁用セラミックス回路基板及び放熱絶縁用モジュールの提供。
【解決手段】Ｓi_３Ｎ_４と、軽希土類元素と、重希土類元素及び／又はＹと、Ｓrとを含有する窒化珪素焼結体であり、Ｓi_３Ｎ_４の含有割合が８５〜９０モル％、前記軽希土類元素の含有割合が酸化物換算で１〜５モル％、前記重希土類元素及び／又はＹの含有割合が酸化物換算で１〜５モル％、Ｓrの含有割合が酸化物換算で３〜１３モル％であり、ラマン分光分析における波数５２１±２ｃｍ^−１の珪素ピーク強度（Ｓ１）と２０６±２ｃｍ^−１付近の窒化珪素のピーク強度（Ｓ２）との比Ｓ１／Ｓ２が０．１未満であることを特徴とする窒化珪素焼結体、放熱絶縁用セラミックス基板、放熱絶縁用セラミックス回路基板、放熱絶縁用モジュール。 （もっと読む）

【課題】層間剥離が発生し難く、かつ、熱伝導性に優れるとともに安価に製造することが可能な窒化アルミニウム多層基板を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム多層基板１は、酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）とアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）をモル比が略１：１の割合で含有する窒化アルミニウムのグリーンシートの焼結体からなる基体２の表面にスクリーン印刷等によってメタライズ層３が形成され、各基体２の層間に窒化アルミニウムを主成分とし、焼結助剤として酸化イットリウム及びアルミナをモル比が略１：１の割合で含有する絶縁性ペーストの焼結体からなる絶縁層４が形成されるとともに、絶縁性ペースト中の焼結助剤の割合がグリーンシート中の焼結助剤の割合よりも高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウムを主成分とし、十分な熱伝導性と機械的強度を備え、導電性メタライズ層との接合強度が高く、かつ白色度が高くて高反射性を有する窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム粉末と、焼結助剤と、バインダーとを粉砕混合してスラリー状物質にした後に成形し、この窒化アルミニウム成形体を焼結して成る窒化アルミニウム焼結体であって、スラリー状物質は、粒子径が０.２μｍ以下である粒子が全体の１０重量％を占め、かつ２μｍ以下である粒子が全体の５０重量％を占め、かつ４μｍ以下である粒子が全体の９０重量％を占めることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。 （もっと読む）

【課題】剛性が高く、軽量で、低コストで平滑な面を持つ、大型化のセラミック構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板等の被処理物を乗せた状態で加工処理を行うための架台として用いられるセラミック構造体であって、該架台は、剛節架構構造を有する複数のユニットが結合・一体化された構造を有している、上記架台の表面は、緻密な膜で被覆されている、上記架台を構成する固体部分は、反応焼結窒化ケイ素又は反応焼結炭化ケイ素を主成分とする材料で構成されている、上記架台の部分の応力の大きさに応じて異なる気孔率を有するユニットが配設されている、ことを特徴とするセラミック構造体。
【効果】半導体や液晶の露光装置に必要なステージやテーブル等について、剛性が高く、軽量で、平滑な面を持ち、大型化に対応できる製品を低コストで製造し、提供することができる。 （もっと読む）