【課題】窒化アルミニウム質焼結体の強度、靭性を向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム粉末に周期律表第３ａ族元素の酸化物の中から選ばれる少なくとも一種以上を０．１〜３０重量％含み、第４ａ族元素、第５ａ族元素、第６ａ族元素の窒化物、炭化物、ケイ化物、硼化物の中から選ばれる少なくとも一種以上を０．１〜３０重量％含み、さらに第６ａ族元素の酸化物の中から選ばれる少なくとも一種以上を０．１〜５重量％含む窒化アルミニウム質焼結体である。 （もっと読む）

【課題】熱伝導率が高く放熱性が優れた半導体装置用放熱板を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム（１０１面）のＸ線回折強度ＩＡｌＮに対するＡｌ_２Ｙ_４Ｏ_９（２０１面）のＸ線回折強度ＩＡｌ_２Ｙ_４Ｏ_９の比（ＩＡｌ_２Ｙ_４Ｏ_９／ＩＡｌＮ）が０．００２〜０．０３であり、熱伝導率が２２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、三点曲げ強度が２５０ＭＰａ以上である窒化アルミニウム焼結体から成ることを特徴とする半導体装置用放熱板である。 （もっと読む）

【課題】高品質の窒化アルミニウム基板の形成が可能であるとともに、製造コストが安く、耐久性に優れた窒化アルミニウム基板焼成用治具とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】焼結助剤を含有しない窒化アルミニウムを主成分とする成形体を非酸化雰囲気下で焼成して得られた焼結体の上面に、焼結助剤を含有する窒化アルミニウムを主成分とする脱脂済みの成形体を接触させ、非酸化雰囲気下で少なくとも１回焼成した後、この焼結体の表面を研削する。 （もっと読む）

焼結助剤として希土類元素を酸化物に換算して２〜４質量％，Ａｌ成分を酸化物換算で２〜６質量％，炭化けい素を２〜７質量％含有し、気孔率が１％以下であり、３点曲げ強度が８００〜１０００ＭＰａであり、破壊靭性値が５．７〜６．５ＭＰａ・ｍ^１／２である窒化けい素焼結体から成ることを特徴とする窒化けい素製耐摩耗性部材である。上記構成によれば、金属窒化法で製造された安価な窒化けい素粉末を使用して調製した場合においても、従来の窒化けい素焼結体と同等以上の機械的強度、優れた耐摩耗性、転がり寿命特性を有し、しかも加工性に優れた窒化けい素製耐摩耗製部材およびその製造方法を提供することができる。
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【課題】 ウェハ全面に均一に成膜でき、且つパーティクルの発生の少ない半導体製造装置用ウェハ保持体およびそれを搭載した半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 本発明のウェハ保持体は、発熱体および高周波電極を埋設したセラミックス製のウェハ保持体であって、前記セラミックス中に埋設された高周波電極の直径が、高周波電極に対向する上部高周波電極の直径よりも大きいことを特徴とする。前記セラミックスの主成分は、窒化アルミニウムであることが好ましく、また、前記高周波電極が、膜形状であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】発光効率に優れた発光素子などの半導体素子製造用基板として使用され、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜基板を提供する。
【解決手段】セラミック材料を主成分とする焼結体、特に光透過性の焼結体を用いることにより、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性の高い単結晶薄膜が形成される。該単結晶薄膜と焼結体との接合体を用いて、電子素子および電子部品を製造する。 （もっと読む）

【課題】使用時に熱衝撃による破壊が防止されるように高耐熱衝撃性を有するとともに、めっき鋼板とのすべりを低減して、めっき鋼板の走行速度の変化に追従しやすい溶融金属めっき浴用のセラミックスロールを提供する。
【解決手段】鋼板と接触する中空状胴部１０と、前記胴部に接合された軸部２０，２１とからなる溶融金属めっき浴用ロールであって、少なくとも前記胴部が常温における熱伝導率が50W/(m・K)以上の窒化珪素系セラミックスからなり、前記胴部の平均表面粗さRaが0.2μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた均熱性を有するセラミックス部材を提供する。
【解決手段】セラミックス部材１０は、セラミックス焼結体１１と、セラミックス焼結体１１に接して形成された、金属元素を含む金属部材１２とを備える。セラミックス焼結体１１における金属部材１２周辺の変質層１１ａの厚さｔは３００μｍ以下に抑えられている。 （もっと読む）

【課題】 ダイカスト用スリーブの曲がりを防止するとともに、内筒とプランジャチップとの間の摩擦抵抗を小さく抑えることができるダイカスト用スリーブを提供する。
【解決手段】 金属材料からなる外筒の内面に、常温における熱伝導率が５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体からなる内筒を焼嵌めて構成したことを特徴とする。前記セラミックス焼結体が実質的に窒化ケイ素粒子とその周囲の粒界相とで構成され、溶融金属と接触する面において窒化ケイ素粒子が面積率で７０〜９９．９％を占めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 金属帯と接触する表面を窒化珪素セラミックスで形成して、焼き付きの発生を抑えることに優れるセラミックス製マッシャーロールを提供する。
【解決手段】 トリミングした金属帯の両端部に生じたバリ部や返り部を押し潰して平坦化するのに用いられるセラミックス製マッシャーロールであって、少なくとも金属帯を押し潰す部分が窒化ケイ素を主成分とする焼結体からなり、該焼結体の常温における熱伝導率が５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることを特徴とする。
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【課題】高温、高電圧環境における高体積抵抗の窒化アルミニウム焼結体、半導体製造用部材及び窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウムを主成分とし、０．４〜２．５ｗｔ％のマグネシウムと、２．０〜５．０ｗｔ％のイットリウムとを含有し、平均粒径が、１．０μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 導電体や抵抗体として有用な導電性窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム−希土類化合物、窒化アルミニウム−アルカリ土類化合物、又は窒化アルミニウム−希土類化合物−アルカリ土類化合物系にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を外掛けで０．３〜１２重量％含む混合物を成形し、焼結してなる導電性窒化アルミニウム焼結体であり、相対密度９５％以上の窒化アルミニウム焼結体の粒界部にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を含む窒化アルミニウム燒結体である。
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【課題】 高硬度と高靭性とを両立できる複合焼結体を提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３と、ＴｉＣ、ＴｉＮまたはＴｉＣＮの群から選ばれる少なくとも１種の化合物とで構成された長尺状の芯材４の外周を、Ｍｇを含有したＳｉ_３Ｎ_４質焼結体からなる表皮材８にて被覆した繊維状構造からなる複合焼結体１である。
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【課題】より高い強度を得ることができる炭化ケイ素焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ナノメータサイズのＳｉＣ粉体及びサブマイクロメータサイズのＳｉＣ粉体を硝酸イットリウム水溶液中に分散させた後、この硝酸イットリウム水溶液中にアルミナ粒子を添加することにより、サスペンションを作製する。そして、このサスペンションから得られた成形体を焼結する。 （もっと読む）

セラミック体（２０）、ならびにセラミック体（２０）を作るためのホットプレス法または完全密度までの焼結法。ホットプレスされたセラミック体（２０）は約１５から約３５体積パーセントの間の炭化ホウ素相、および少なくとも約５０体積パーセントのアルミナを含有する。完全密度まで焼結されたセラミック体（２０）は約１５から約５０体積パーセントの間の炭化ホウ素相および少なくとも５０体積パーセントのアルミナを含有する。基体（２１）はさらに次の成分（ａ）〜（ｂ）の少なくとも１つを含み；ここで成分（ａ）および（ｂ）の合計量は完全稠密化を達成するために有効な量であり、ここで成分（ａ）および（ｂ）は、（ａ）アルミニウム、マグネシウムおよび亜鉛のうちの１以上を含む金属成分；および（ｂ）炭素を含有する還元成分を含む。
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【課題】溶融金属による浸食を軽減することにより長寿命化を達成することができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。また、溶融金属のスプラッシュを低減させることができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。
【解決手段】二硼化チタン（ＴｉＢ_２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ_２）と、窒化硼素（ＢＮ）と、必要に応じて窒化アルミニウム（ＡｌＮ）とを含有してなるセラミックス焼結体であって、これらの成分から選ばれた少なくとも一種の成分の濃度が、厚み方向において、有位に異なっている部分があることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体からなる金属蒸着発熱体（ボート）。 （もっと読む）

【課題】 電子部品の製造、組付に用いられる治具において、摩耗粉末による汚染低減、加工コストの低減、熱膨張係数を有する被処理材に適合できるよう熱膨張係数をコントロールすることが課題である。
【解決手段】 珪素を含む混合粉末でなる成形体を素材として、最終形状に近い形状、寸法に生加工する工程と、窒素雰囲気中での加熱により実質的に寸法変化を生じることなく、前記珪素を窒化珪素に転化せしめるとともに焼結する工程と、必要に応じて最終加工工程を行う。 （もっと読む）

【課題】 切削工具の基材の強度を低下させることなく被削材と工具刃先の化学反応による摩耗およびアブレッシブな機械的摩耗を低減し、工具寿命を改善することを目的とする。
【解決手段】 焼結体中の粒界相が５〜２０％であり、サイアロン粒子中のαサイアロンの比率を示すα率が４０％以下であり、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚで表されるβサイアロンのＺ値が０．２〜１．０であり、焼結体の（βサイアロンの実測Ｚ値）／（焼結体組成から計算される理論Ｚ値）で表されるＡｌの固溶率Ａが７０％以上であるサイアロン製インサートおよびこれを備えた切削工具。 （もっと読む）

【課題】誘電層厚さのばらつきを小さくしたジョンソン・ラーベック方式の窒化アルミニウム製静電チャック及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本窒化アルミニウム製静電チャックは、共に主として窒化アルミニウムからなり、ウェーハ載置面が設けられた載置側焼結体と、前記載置側焼結体と接合されているベース側焼結体と、前記両焼結体間に埋設された金属電極を具備し、前記載置側焼結体はイットリウム濃度が１０００〜２０００ｐｐｍ、室温における体積抵抗率が１×１０^１０〜１×１０^１１Ωｃｍでありかつ、前記ウェーハ載置面と前記金属電極の距離のばらつきが１００μｍ以下であり、前記ベース側焼結体はイットリウム濃度が４０００〜８０００ｐｐｍである。 （もっと読む）

【課題】肉厚が一定でなく、また、厚肉部位を有する大型セラミックス構造体について、原料ロスが少なく、有機バインダー成分を最小限にとどめ、更に、大掛かりな設備を使用することなく、成形、製造する方法及びそのセラミックス構造体等を提供する。
【解決手段】型内に、反応焼結窒化ケイ素の多孔質の小片と、ケイ素を主成分として酸化物を含有してなるスラリーを充填し、前記多孔質の小片の気孔部にスラリー中の水分を吸収させる、あるいは固化材の作用、冷却により、前記スラリーを固化させた後、必要に応じて脱脂し、窒素気流、あるいは雰囲気中で加熱し、前記ケイ素を窒化ケイ素に転化させた後、前記酸化物が窒化ケイ素と液相を形成する温度以上に更に加熱することで緻密化することによるセラミックス構造体の製造方法、そのセラミックス構造体、及び大型のセラミックス部材。 （もっと読む）