【課題】木炭から出発して、高い炭化珪素含有量を有し、密で、圧密で、均質な等方性セラミック成形体を製造するための方法を提供する。
【解決手段】幾何学的密度が少なくとも２．８０ｇ／ｃｍ³の炭化珪素含有セラミックスを製造するための方法であって、粒子の粒径が最大４０μｍである木炭粉を調製する工程、木炭粉と炭化可能なバインダとから均質混合物を製造する工程、この混合物から成形体（グリーン体）を製造する工程、グリーン体を９００℃以上の温度の非酸化性雰囲気中で炭化し、炭化された予備成形体とする工程、及び炭化された予備成形体を溶融珪素で溶浸して珪化する工程を含む方法。 （もっと読む）

【課題】肉厚のパイプ等であっても、内部までケイ化反応した多孔質ＳｉＣ焼結体を提供すること。
【解決手段】本発明は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）と炭素（Ｃ）とを含み、かつ、気孔率が40〜85％の成形体中に、ＳｉＯガスを透過させることを含む多孔質ＳｉＣ焼結体の製造方法であって、ＳｉＯガスを発生させる原料を、成形体中の炭素（Ｃ）と原料中のＳｉとのモル比（Ｃ：Ｓｉ）が１：３〜１：７となるような量で用い、かつ、成形体中にＳｉＯガスを透過させる際の成形体の温度が1800〜2000℃である、多孔質ＳｉＣ焼結体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】所定の気孔率と強度を備える炭化ケイ素多孔体を提供する。
【解決手段】気孔率が５０〜６５％で圧力損失の傾きが１×１０^８Ｐａ／ｍ^２以下である炭化ケイ素多孔体。 （もっと読む）

【課題】酸素濃度が１０００ｐｐｍ以下の非酸化性雰囲気であっても強度の著しい劣化や破損を防止することができるとともに、実使用できる寿命を大幅に向上させることができる非酸化性雰囲気用窯道具を提供する。
【解決手段】主成分としてＳｉＣとＳｉ₃Ｎ₄及び／又はＳｉ₂Ｎ₂Ｏを含んで構成され、酸窒化珪素と酸化珪素以外の無機酸化物を０．１２〜３．０質量％含有する非酸化性雰囲気用窯道具である。 （もっと読む）

【課題】成形性が良好で、かつ、脱脂工程から焼結工程を経ても形状を保持でき、焼結後の窒化アルミニウム充填密度が実使用に耐えうる窒化アルミニウム成形用組成物、および、該樹脂組成物を成形、焼結することにより得られる成形品が求められていた。
【解決手段】(a)窒化アルミニウム粉体、(b) 焼結助剤、(c)熱可塑性樹脂、(d)分子内に極性基と高級脂肪族基を持つ化合物を必須成分として含むことを特徴とする窒化アルミニウム成形用樹脂組成物により上記課題を解決するに至った。 （もっと読む）

【課題】再結晶ＳｉＣセラミックスの抵抗率を大きくし、電気絶縁体的な性質を付与するとともに、熱伝導率を大幅に向上することができ、再結晶ＳｉＣの長所である強度、耐食性をそのまま維持することができる再結晶ＳｉＣ焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】０．０１〜２ｗｔ％のＳｉＯ₂と９９．９９〜９８ｗｔ％のＳｉＣから実質的になる再結晶ＳｉＣ焼結体であって、その抵抗率が５００〜５００００Ω・ｃｍに制御されているものである。炉の有効体積（加熱域）の０．０１〜１０倍の不活性ガスを毎分流しながら、０．０１〜２ａｔｍの圧力下で、２Ｈｒ以上かけて２０００℃まで昇温し、その後０．５〜２ａｔｍの圧力下で、２０００〜２５００℃の温度に昇温する。 （もっと読む）

【課題】 電気絶縁性の材料として、安価で高熱伝導性を有するセラミックス焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化マグネシウム粉末に窒化アルミニウム粉末、焼結助剤、可塑剤および溶剤を混合してなるスラリーからグリーンシートを作製し、そのグリーンシートから成形体を作製し、その成形体を不活性雰囲気下で焼結する。製造された高熱伝導性セラミックス焼結体３は、窒化アルミニウム焼結体４を主成分とするマトリックス相２中に酸化マグネシウム粒子１が分散されている。 （もっと読む）

【課題】ガス分離材における支持体（基材）等に適した窒化ケイ素多孔質体を形状精度よく製造し得る方法、及び、係る多孔質体を用いたガス分離材を提供する。
【解決手段】本発明の窒化ケイ素多孔質体の製造方法では、金属Ｓｉ粉末と金属Ａｌ粉末と酸化イットリウム粉末Ｙ₂Ｏ₃と酸化アルミニウム粉末Ａｌ₂Ｏ₃とを含む成形用材料を所定の形状に成形し、該成形体を仮焼した後、窒化可能な雰囲気中で反応焼結させる。このときの仮焼温度及び反応焼結温度は、Ｘ線回折パターンにおける酸窒化物のピーク強度Ｘ_ONとβ型窒化ケイ素のピーク強度Ｘ_SiNとの強度比（Ｘ_ON／Ｘ_SiN）が２０〜４０であり、且つ、３点曲げ強度（２５℃）が７０ＭＰａ以上である窒化ケイ素多孔質体が形成されるように決定される。本発明のガス分離材は、該多孔質体から構成される基材１４と、その上に形成されたガス分離膜１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】様々な形状及び寸法を有する炭素を含有する多孔質の中間品を、高品質で、また特に、明確な相組成と高度の均質性とを有する成形体として製造することのできる、ケイ素浸透方法を提案する。
【解決手段】ケイ素及びバインダ材料を含有する均質な被着物質から成る可撓性を有する薄層体を、圧延成形、型成形、または押出成形により製作するステップと、炭素を含有する成形体に、前記薄層体を被着するステップと、前記薄層体を被着した前記成形体を、真空下で、ケイ素浸透度の目標値に応じて制御される数分間から数時間の加熱処理時間に亘って、１４００℃以上の温度で加熱処理するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 焼結後のセラミックス基材内の焼結助剤分布を均一化することによって、以上述べた焼結後の熱処理による増加変形量を低減すること、即ちセラミックス基材の高温での熱処理時に生ずる変形量を小さくする。
【解決手段】 焼結助剤を含むセラミックス基材であって、蛍光Ｘ線によるその一方の主面側および他方の主面側の主成分元素の検出強度に対する焼結助剤成分元素の検出強度の比を、それぞれａおよびｂとし、ａ＞ｂとした場合に、ａ／ｂ≦１．３であるセラミックス基材を提供する。 （もっと読む）

【課題】粉砕工程や気相反応を用いることなく、第二相粒子を含有するセラミックス系複
合体を、簡便に製造する方法を提供すること。
【解決手段】セラミックス材料の構成元素の全て又は一部を含み、焼成することによって
有機−無機変換によりセラミックスとなる高分子前駆体物質、該高分子前駆体物質を溶解
する溶媒及び第二相粒子を混合し、さらに、この混合液と該高分子前駆体物質を溶解しな
い溶媒を混合することにより、溶解された該高分子前駆体物質を第二相粒子を核とする複
合前駆体粒子として混合溶媒溶液中に析出させることを特徴とする複合前駆体粒子含有ス
ラリーの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 反りや変形がなく、寸法精度に優れた板状の窒化アルミニウム焼結体、及びその表面に金属化層を設けた半導体用基板として好適な窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 成形体の厚み方向及び表面方向の密度バラツキを制御し、この成形体を焼成することにより、反り量が３５μｍ／１０ｍｍ以下、厚みのバラツキが１６０μｍ／ｍｍ以下の窒化アルミニウム焼結体を得る。密度のバラツキを制御した上記成形体は、表面粗さがＲａで０.１μｍ以下の成形面を有する成形型を用い、成形体の加圧方向断面積Ａ（ｍｍ^２）と成形圧力Ｓ（ｋｇ／ｍｍ^２）とがＳ／Ａ≧０.００２の関係を満たす条件下で成形する。 （もっと読む）

【課題】 直接窒化法による、歪みや転位あるいは亜粒界の量が多いＡｌＮ原料粉末を用いて、高熱伝導性の窒化アルミニウム焼結体を安価に提供する。
【解決手段】 Ｘ線回析におけるＡｌＮの（２１３）面の２θの半値幅が０．３５ｄｅｇ以上であるＡｌＮ原料粉末７０〜９９．９重量％と、半値幅が０．３５ｄｅｇ未満であるＡｌＮ原料粉末３０〜０．１重量％とを混合し、混合物を形成して焼結することにより、単一粒子内の転位密度が１０μｍ／μｍ^３以下で熱伝導率が１７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体を得る。 （もっと読む）

【課題】 炭化ケイ素焼結体の焼成時間の短縮を図る。
【解決手段】
（イ）炭化ケイ素粉末及び炭素源を有機溶媒に混合してスラリー溶液を調製する工程と、（ロ）上記スラリー溶液を乾燥させ造粒粉を得る工程と、（ハ）上記造粒粉を焼成して脱脂粉を得る工程と、（ニ）上記脱脂粉表面にバインダーをコーティングして炭化ケイ素焼結体用粉体を得る工程と、を備える炭化ケイ素焼結体用粉体の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、ハニカムセラミックス微粒子捕集フィルタ基体、該基体から構成される微粒子捕集フィルタ、微粒子捕集フィルタ装置、及びそれらの製造方法を開示する。本発明のハニカムセラミックス微粒子捕集フィルタ基体は以下の重量比の原料から生成される。すなわち、シリコンカーバイド：１、粘土：０．０５〜０．５、小麦粉：０．１〜０．３５、グリース：０．０２５〜０．０５、水：０．２〜０．３５であり、基体はセル密度が４〜６２セル／ｃｍ２のハニカム構造を有し、セル壁厚は０．２〜１．２ｍｍであり、セル壁の多孔率は４０％〜７０％であり、セル壁の貫通孔率は>３０％、セル壁微細孔の平均半径の分布は１〜５０μｍである。前記捕集フィルタ基体は、異なる多面体或いは曲辺多面柱状体として設計でき、組合わせ、接着後に自動車の微粒子捕集フィルタとして形成される。微粒子捕集フィルタを封装することにより、微粒子捕集フィルタ装置が形成される。本発明は、ディーゼル車とその他の自動車の微粒子汚染物質の汚染問題を解決し、自動車、特にはディーゼル車の排気による環境汚染を有効に低減できる。 （もっと読む）

【課題】窒化けい素焼結体本来の特性である高強度、耐摩耗性、耐熱性等を損なうことなく、さらに酸やアルカリ等の化学薬品に対しても優れた耐薬品性（耐腐食性）を示す窒化けい素焼結体の製造方法、それを用いた耐薬品性部材の製造方法および軸受部材の製造方法を提供する。
【解決手段】ＭｇＯ・Ａｌ_２Ｏ_３スピネル構造体を０．５〜６重量％、炭化けい素を０．１〜２０重量％、酸化けい素を１重量％以下、酸化アルミニウムを０．５〜３重量％含み、残部が実質的に窒化けい素から成るセラミックス混合体を調製し、得られたセラミックス混合体を成形後、焼成することを特徴とする窒化けい素焼結体の製造方法である。得られる窒化けい素焼結体は、耐薬品性部材や軸受部材１，２，３として使用される。 （もっと読む）

【課題】
半導体製造工程あるいは液晶パネル製造工程で用いられる基板処理装置用部材等を構成する窒化珪素質焼結体を提供する。
【解決手段】
β−Ｓｉ_３Ｎ_４を主成分とし、β−ＲＥ_２Ｓｉ_２Ｏ_７（ＲＥは周期律表第３族元素）を３体積％以上、２０体積％以下の範囲で含有してなり、室温における熱膨張係数が１．４×１０^−６／Ｋ以下、室温における熱伝導率が２５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の窒化珪素質焼結体を提供することができ、特に半導体製造装置用部材・液晶製造装置用部材として用いた際に、温度変化が生じた際においても熱膨張の非常に小さい焼結体であるため、位置精度を高いものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】強度、靭性等の機械的特性や耐久性の改善された、高い信頼性と耐久性を有するシリコン／炭化ケイ素複合材料の製造方法を提供すること。
【解決手段】平均粒径０．１μｍから１０μｍの炭化ケイ素と平均粒径０．００５μｍから１μｍのカーボン粉末との混合粉末を、所定の形状の成形体に加圧成形し、成形体をシリコンの融点以上の温度に加熱し、シリコンの融点以上の温度に加熱されている成形体に溶融したシリコンを含浸させる。 （もっと読む）

【課題】熱伝導率が高く放熱性が優れた半導体装置用放熱板を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム（１０１面）のＸ線回折強度ＩＡｌＮに対するＡｌ_２Ｙ_４Ｏ_９（２０１面）のＸ線回折強度ＩＡｌ_２Ｙ_４Ｏ_９の比（ＩＡｌ_２Ｙ_４Ｏ_９／ＩＡｌＮ）が０．００２〜０．０３であり、熱伝導率が２２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、三点曲げ強度が２５０ＭＰａ以上である窒化アルミニウム焼結体から成ることを特徴とする半導体装置用放熱板である。 （もっと読む）

【課題】 高温下でハロゲン系腐食性ガスやそのプラズマに曝されても腐食や摩耗が少なく、かつパーティクルの発生が極めて少ない窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム質焼結体中にＡｌ、Ｎ、Ｏを合計で９９．５重量％以上含み、ＡｌＮを主結晶相とするとともに、他の結晶相として上記Ａｌ、Ｎ、Ｏの３成分を含む化合物を含有し、上記焼結体をＸ線回折（Ｘ線の発生源：銅）にて測定した時、上記ＡｌＮの回折ピーク強度Ｉ１（面間隔：２．６８乃至２．７１）に対する上記化合物の回折ピーク強度Ｉ２（面間隔：２．５６乃至２．６２）の強度比（Ｉ２／Ｉ１）が１〜８％で、かつ面間隔：１．５２乃至１．５３７と上記ＡｌＮの（１０１）面の面間隔乃至上記ＡｌＮの（００２）面の面間隔とに回折ピーク強度を実質的に持たないようにする。 （もっと読む）