【課題】抵抗の温度依存性が低く高純度な炭化ケイ素焼結体シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素粉末及び非金属系焼結助剤を含むスラリー状混合粉体を得る工程と、テープキャスティング法を用いて前記炭化ケイ素スラリーからシート状仮成形品を形成する工程と、シート状仮成形品を炭素製スペーサーに挟んだ状態でホットプレス焼結して炭化ケイ素焼結体シートを得る工程と、を含む炭化ケイ素焼結体シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】均熱性が良好で純度の高い炭化ケイ素焼結体ヒータ及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】かさ密度３．０ｇ／ｃｍ³以上、熱伝導率２００ｗ／ｍ・ｋ以上の炭化ケイ素焼結体からなる加熱体と、加熱体に通電して前記加熱体を昇温させる、かさ密度２．２ｇ／ｃｍ³以下、熱伝導率１００ｗ／ｍ・ｋ以下の炭化ケイ素焼結体からなる１対の電極と、を備え、加熱体と電極は、接合材を加熱焼結して得られる炭化ケイ素焼結体を介して一体に接合されている炭化ケイ素焼結体ヒータ。 （もっと読む）

【課題】 緻密で導電性が高いカーボンナノチューブ分散窒化ケイ素焼結体を容易に安定して製造する。
【解決手段】 特定の焼結助剤を含有する窒化ケイ素組成物に配合するカーボンナノチューブとして、平均直径が７０ｎｍ以上、平均アスペクト比が２００以下であり、空気雰囲気下に６００℃で１時間放置後の減量率が１０％以下であるものを用いる。
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【課題】気孔径のバラツキが小さく、高い強度を有するハニカム構造体を製造することができるハニカム構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも炭化ケイ素粉末とバインダと添加材とを含む原料組成物を成形することにより、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム成形体を作製した後、上記ハニカム成形体を脱脂処理することによりハニカム脱脂体を作製し、さらに、上記ハニカム脱脂体を焼成処理することによりハニカム焼成体を作製し、ハニカム焼成体からなるハニカム構造体を製造するハニカム構造体の製造方法であって、上記添加材は、アルミナ、シリカ、チタニア、ジルコニア、マグネシア、及び、これらのいずれかを含む複合体のうちの少なくとも１種であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】かさ密度３．１６ｋｇ／ｃｍ^３以上の耐プラズマ性炭化ケイ素焼結体及びその安定した生産方法を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素粉末及び炭素源を含むスラリー溶液を調製する工程と、スプレードライヤー法を用いてスラリー溶液から乾燥率８９％以上の炭化ケイ素造粒粉を得る工程と、炭化ケイ素造粒粉の中から顆粒粒径分布が１５０〜５０μｍの炭化ケイ素顆粒粉を取り出す工程と、炭化ケイ素顆粒粉をホットプレス法を用いて焼結する工程と、を含む耐プラズマ性炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】層間剥離が発生し難く、かつ、熱伝導性に優れるとともに安価に製造することが可能な窒化アルミニウム多層基板を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム多層基板１は、酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）とアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）をモル比が略１：１の割合で含有する窒化アルミニウムのグリーンシートの焼結体からなる基体２の表面にスクリーン印刷等によってメタライズ層３が形成され、各基体２の層間に窒化アルミニウムを主成分とし、焼結助剤として酸化イットリウム及びアルミナをモル比が略１：１の割合で含有する絶縁性ペーストの焼結体からなる絶縁層４が形成されるとともに、絶縁性ペースト中の焼結助剤の割合がグリーンシート中の焼結助剤の割合よりも高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】剛性が高く、軽量で、低コストで平滑な面を持つ、大型化のセラミック構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板等の被処理物を乗せた状態で加工処理を行うための架台として用いられるセラミック構造体であって、該架台は、剛節架構構造を有する複数のユニットが結合・一体化された構造を有している、上記架台の表面は、緻密な膜で被覆されている、上記架台を構成する固体部分は、反応焼結窒化ケイ素又は反応焼結炭化ケイ素を主成分とする材料で構成されている、上記架台の部分の応力の大きさに応じて異なる気孔率を有するユニットが配設されている、ことを特徴とするセラミック構造体。
【効果】半導体や液晶の露光装置に必要なステージやテーブル等について、剛性が高く、軽量で、平滑な面を持ち、大型化に対応できる製品を低コストで製造し、提供することができる。 （もっと読む）

【課題】焼成炉内の雰囲気が窒化アルミニウム成形体に接触しないように遮断することが可能な窒化アルミニウムの焼成方法とその焼成用治具を提供する。
【解決手段】焼成用治具１ａはベース３ａとこのベース３ａの上部を覆う蓋部３ｂとからなり、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素のいずれかを主成分とする坩堝３と、底板５と枠体６とからなり、窒化ホウ素及び窒化アルミニウムなどの窒化物セラミックス又はモリブデン及びタングステンなどの高融点金属のいずれかを主成分とするセッター４とから構成され、枠体６は枠板片６ａ〜６ｃとから構成される。 （もっと読む）

【課題】板等の固体の成膜面に蒸着により薄膜を形成する場合に蒸着用材料の加熱に使用され、加熱により溶融、蒸発させる蒸着用材料の溶融物の耐濡れ性に優れた分子線源用坩堝を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム焼結体により構成され、且つ、少なくとも内壁面を構成する窒化アルミニウム焼結体が、アルミニウム以外の金属元素の総濃度が５００質量ｐｐｍ以下であり、且つ、酸素濃度が１．０質量％以下である、薄膜堆積用分子線源用坩堝１０。坩堝１０は、窒化アルミニウム焼結体のバルクを製造した後、この窒化アルミニウム焼結体のバルクを非酸化性雰囲気下で、冷却しながら切削加工して坩堝１０の形状とする。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板上に無電解メッキにより直接金属膜を形成することによってメタライズドセラミック基板を製造する方法において、信頼性が高く、十分な密着強度が得られるメタライズドセラミック基板を作製可能な方法を提供すること。
【解決手段】表面に導電層または導電ペースト層を有していてもよいセラミック基板からなる原料基板を準備する工程（Ａ）と、該原料基板上にセラミックペースト層を形成し、該セラミックペースト層を焼成しセラミック焼結体層を形成する工程（Ｂ）と、該セラミック焼結体層上に無電解メッキにより金属膜を形成する工程（Ｃ）と、を含むメタライズドセラミック基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高強度、高靭性特性に加えて、特に転がり特性が優れた耐摩耗性部材の製造方法を提供する。
【解決手段】酸素を１．５質量％以下、α相型窒化けい素を９０質量％以上含有し、平均粒径が１．０μｍ以下の窒化けい素粉末に、希土類元素を酸化物に換算して２〜１０質量％，ＭｇＡｌ_２Ｏ_４スピネルを２〜７質量％，炭化けい素を１〜７質量％，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｚｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂ，Ｃｒからなる群より選択される少なくとも１種を酸化物に換算して５質量％以下添加した原料混合体を成形して成形体を調製し、得られた成形体を非酸化性雰囲気中で温度１６００℃以下で焼結することにより粒界相に存在する凝集偏析の幅の最大値を５μｍ以下にすることを特徴とする窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法である。なお上記ＭｇＡｌ_２Ｏ_４スピネルに代えて、ＭｇＯとＡｌ_２Ｏ_３との混合物を用いても同様な作用効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】高通気性でパティキュレートの捕捉除去効率に優れ、ＤＰＦとして好適な窒化ケイ素フィルタの製造法の提供。
【解決手段】金属ケイ素粒子と、気孔形成材とを含む成形体を窒素中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素フィルタの製造法であって、前記気孔形成材の全質量中に、平均粒子直径が１０〜３０μｍの略球状の粒子を１０〜５０質量％及び平均粒子直径４０〜１００μｍの略球状の粒子を９０〜５０質量％含むことを特徴とする窒化ケイ素質フィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】色むらのない窒化アルミニウム基板、並びに、それを用いた窒化アルミニウム回路基板及びモジュールを提供する。
【解決手段】基板内における酸素含有量の最大値と最小値の差が０．２０質量％以下であることを特徴とする色むらのない窒化アルミニウム基板であり、酸化処理が施された窒化アルミニウム粉末を原料とする前記窒化アルミニウム基板である。さらに、前記窒化アルミニウム基板を用いてなる回路基板であり、前記回路基板を用いてなるモジュールである。 （もっと読む）

【課題】装飾部品用セラミックスの使用に供し、長期間の使用において酸化等が進み、強度、装飾性が低下しやすい。特に、釣糸用の案内部材では、耐泥水性が低いため、長期間の使用に供することができないという問題があった。
【解決手段】窒化チタンを主成分とし、ジルコニア、ニッケルを含むセラミックスであって、前記ジルコニアから成るジルコニア結晶の少なくとも一部が前記窒化チタンから成る窒化チタン結晶内に分散されてなる硬質相と、前記ニッケルを主成分とし、前記硬質相を結合する結合相と、からなる装飾部品用セラミックスである。
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【課題】排気ガス浄化用フィルター及びその製造方法を提供する。
【解決手段】排気ガス浄化用フィルターにおいて、フィルター基材が、遷移金属元素（Ｔｉ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｖ、Ｍｏ）の中の一つ、３族又は４族元素（Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ）の中の一つ、及び炭素又は窒素の３元素からなる３元系化合物で構成されていることを特徴とする排気ガス浄化用フィルター、及びその製造方法。
【効果】ディーゼル及びガソリンエンジン排気ガス浄化用フィルターに求められる高融点、高温で分解しない安定性、高温強度、高温耐酸化性、耐熱衝撃性、高比表面積、低圧損、狭い細孔径分布、高熱伝導性、良好な触媒濡れ性、制振性などを兼ね備えた新しい材料系の排気ガス浄化用フィルターを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】炭化硼素質焼結体の結晶粒径分布がほぼ均一であり、高い衝撃を受けた際のクラックの進展を抑制することができず、特に防護部材として用いた場合には圧縮強度が十分でないため、クラックが生じやすいという。
【解決手段】炭化硼素を主結晶相とする炭化硼素質焼結体であり、断面視における所定範囲内の炭化硼素の結晶のうち、結晶粒径１０μｍ以下の結晶を前記所定範囲に対して５０面積％以上有するととともに、結晶粒径２０μｍ以上の結晶を前記所定範囲に対して５面積％以上有する。 （もっと読む）

【課題】炭化けい素焼結体の表面の開気孔の形状が規定されていないため、潤滑液を用いた摺動部材として使用する際、開気孔の形状に起因する潤滑液の流出の度合いを調整することは困難である。
【解決手段】 表面に開口する開気孔を有する炭化けい素質焼結体であって、その表面における任意の直径２０μｍの円内の領域に、前記開気孔の外接円の直径を長径とし、該長径に直交するとともに、前記長径の中点を通過する直線と前記開気孔とが交わる直線を短径としたとき、前記長径に対する前記短径の比が０．２以上０．８以下である非球形開気孔を一つ以上有する。 （もっと読む）

【課題】クラッチ廃材等のSiC生成に必要な珪素と炭素成分を含む複合体シートから、適当な強度を有するSiC含有シートを製造する方法を提供すること。
【解決手段】複合体シートを予備加熱し、1400〜1600℃で熱処理することを含むSiC含有シートの製造方法であって、前記複合体シートは、セルロースおよび合成繊維の少なくとも一方、炭素粉体および炭素繊維の少なくとも一方、珪藻土並びにフェノール樹脂を含有し、かつ少なくとも前記予備加熱は、複合体シートからの揮発成分雰囲気下で行う前記方法。 （もっと読む）

【課題】実用上十分大きな機械的強度と小さな熱膨張係数を有し、研削抵抗が小さな窒化珪素質焼結体を提供する。
【解決手段】
本発明の窒化硅素質焼結体は、β−Ｓｉ_３Ｎ_４を主成分とし、Ｓｉ_２Ｎ_２Ｏ（酸窒化珪素）を５体積％以上、３０体積％以下、およびβ−ＲＥ_２Ｓｉ_２Ｏ_７（ＲＥは周期律表第３族元素）を１体積％以上、１０体積％でそれぞれ含有することで、β−Ｓｉ_３Ｎ_４を主成分として十分大きな機械的強度を保持したまま、Ｓｉ_２Ｎ_２Ｏを５体積％以上、３０体積％以下の範囲で含有させることで研削抵抗を小さくすることができ、β−ＲＥ_２Ｓｉ_２Ｏ_７を１体積％以上、１０体積％以下の範囲で含有することで粒界相の熱膨張係数を小さくすることができ、焼結体中の残留応力が小さくできるため、研削加工を円滑に行うことができるとともに、研削抵抗が小さいため寸法精度の高い加工を行うことできる加工性の優れた焼結体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】木炭から出発して、高い炭化珪素含有量を有し、密で、圧密で、均質な等方性セラミック成形体を製造するための方法を提供する。
【解決手段】幾何学的密度が少なくとも２．８０ｇ／ｃｍ³の炭化珪素含有セラミックスを製造するための方法であって、粒子の粒径が最大４０μｍである木炭粉を調製する工程、木炭粉と炭化可能なバインダとから均質混合物を製造する工程、この混合物から成形体（グリーン体）を製造する工程、グリーン体を９００℃以上の温度の非酸化性雰囲気中で炭化し、炭化された予備成形体とする工程、及び炭化された予備成形体を溶融珪素で溶浸して珪化する工程を含む方法。 （もっと読む）