【課題】ＴｉＢ_２、ＴｉＣの持つ特性すなわち、高硬度、軽量、高導電性、高熱伝導性という特性を十分に活用し、さらに靭性、難焼結性を著しく改善すると共に、その他の特性も同時に向上させることのできるＴｉＢ_２基Ｔｉ−Ｓｉ−Ｃ系複合セラミックス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＴｉＢ_２、ＴｉＣ及びＴｉ_３ＳｉＣ_２からなる相を備え、高ヤング率、高硬度、高破壊靭性の特性を有することを特徴とするＴｉＢ_２基Ｔｉ−Ｓｉ−Ｃ系複合セラミックス。 （もっと読む）

【課題】耐食性と耐熱衝撃性が更に向上したセラミックス焼結体と、このセラミックス焼結体の容易な製造方法と、このセラミックス焼結体で構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】
二硼化チタン、窒化硼素及びストロンチウム化合物を含有してなり、窒化硼素のＣ軸格子定数が６．６６６Å以下であり、３点曲げ強さが６０〜１３０ＭＰａ、弾性率が４０〜６０ＧＰａであることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体。特定二種の窒化硼素粉末と二硼化チタン粉末とストロンチウム化合物粉末とを含有してなる原料粉末を焼結することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】浮上量が１０ｎｍ以下の範囲では浮上面の表面平滑性が重視されるようになり、この浮上面を得るには、平均粒径０．１μｍ以下の小さなダイヤモンド砥粒を用いて研磨しなければならないため、従来のセラミック焼結体では機械加工性が悪く、このセラミック焼結体から製作される磁気ヘッドを１０ｎｍ以下の浮上量に対応させることはできなかった。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒子と、該Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒子の内部に存在する内部ＴiＣ結晶粒子と、前記内部ＴｉＣ結晶粒子以外の外部ＴiＣ粒子とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】高気孔率であっても機械的強度が高く、ＤＰＦとして好適な窒化ケイ素フィルタの製造法の提供。
【解決手段】金属ケイ素粒子と、気孔形成材とを含む成形体を窒素中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素フィルタの製造法であって、前記金属ケイ素粒子は、全金属ケイ素粒子中の粒子直径２０〜１００μｍの金属ケイ素粒子の含有割合が９０質量％以上であり、かつ、粒子直径１〜１０μｍの金属ケイ素粒子の含有割合が０．１〜１０質量％であることを特徴とする窒化ケイ素フィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】熱衝撃・繰り返し熱疲労や腐食に対する耐久性を大幅に向上させ、周辺鋼製部材との施工性を改善した溶融金属めっき浴用浸漬部材を提供すること。
【解決手段】本発明は、溶融金属めっき浴４に浸漬される装置２，３に付設された浸漬部材であって、該浸漬部材が、実質的に主相はβ-Ｓｉ_３Ｎ_４および粒界相はＳｉ₂Ｎ₂Ｏ、ＭｇＹ₂Ｏ₄、Ｙ₂Ｓｉ₂Ｏ₇、Ｙ₂ＳｉＯ₅の1種以上から構成される複合酸化物相で、平均粒径３μｍ以上１０μｍ以下のホウ化チタン（ＴｉＢ_２ ）粒子を質量分率３５〜８０％の範囲で分散させた焼結体を成形加工してなる溶融金属めっき浴用浸漬部材及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】結晶粒の粗大化を防止し、残留炭化チタン（TiC）相の発生を抑制して均質化による特性の向上を図るとともに、エネルギー多消費型の製造法から、より低温、短時間での合成法を確立するものであり、かつパルス通電加圧焼結方法による短時間成形法により、優れた特性を持つチタンシリコンカーバイド焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】チタン（Ti）、炭化珪素（SiC）、炭化チタン（TiC）の混合粉末をパルス通電加圧焼結することにより得られ、結晶粒径が１０μｍ以下であり、炭化チタン（TiC）含有量が８ｗｔ％以下であることを特徴とするチタンシリコンカーバイド焼結体。 （もっと読む）

【課題】
セラミック前駆体のケイ素系高分子を薄膜化しイオンビームにより円筒架橋部を形成し、これを焼成することによって、数量、太さ、長さの制御された直径数ナノ〜数十ナノのセラミックスナノワイヤーを均一に、簡便に作製する方法を提供する。
【解決手段】
セラミック前駆体として使用可能なケイ素系高分子を用いて形成した薄膜にイオンビーム照射すると形成される円筒架橋部を溶媒抽出することにより得られるケイ素系高分子ナノワイヤーを、電離放射線で再架橋させ、セラミックナノワイヤーの形状保持及び収率を向上させる直径数ナノから数十ナノのセラミックナノワイヤーの合成方法。 （もっと読む）

【課題】 炭化ケイ素焼結体の焼成時間の短縮を図る。
【解決手段】
（イ）炭化ケイ素粉末及び炭素源を有機溶媒に混合してスラリー溶液を調製する工程と、（ロ）上記スラリー溶液を乾燥させ造粒粉を得る工程と、（ハ）上記造粒粉を焼成して脱脂粉を得る工程と、（ニ）上記脱脂粉表面にバインダーをコーティングして炭化ケイ素焼結体用粉体を得る工程と、を備える炭化ケイ素焼結体用粉体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
半導体製造工程あるいは液晶パネル製造工程で用いられる基板処理装置用部材等を構成する窒化珪素質焼結体を提供する。
【解決手段】
β−Ｓｉ_３Ｎ_４を主成分とし、β−ＲＥ_２Ｓｉ_２Ｏ_７（ＲＥは周期律表第３族元素）を３体積％以上、２０体積％以下の範囲で含有してなり、室温における熱膨張係数が１．４×１０^−６／Ｋ以下、室温における熱伝導率が２５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の窒化珪素質焼結体を提供することができ、特に半導体製造装置用部材・液晶製造装置用部材として用いた際に、温度変化が生じた際においても熱膨張の非常に小さい焼結体であるため、位置精度を高いものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 耐プラズマ性が確保されており、クリーニング処理を繰り返しても長期間使用可能で、経済的に有利なプラズマプロセス装置用チャンバー部材を提供すること。
【解決手段】 気孔率が１％以下で、かつ、破断面が粒内破壊の性状を呈する窒化アルミニウム焼結体からなることを特徴とするプラズマプロセス装置用チャンバー部材。 （もっと読む）

【課題】 架橋剤の添加や微粒子の分散を必要とせずに、簡単な工程で安価に微細孔を有する炭化珪素系多孔質成形体を製造する方法を提供する。
【解決手段】 架橋剤を使用せずに、ポリカルボシラン等の炭化珪素前駆体高分子を不活性気体中において４００℃以下で加熱して熱的に架橋した炭化珪素前駆体を形成し、該架橋前駆体を熱処理することにより炭化珪素系多孔質成形体を製造する。
炭化珪素前駆体高分子は、不活性気体中において２００〜４００℃で、１時間以上加熱して熱的に架橋することが好ましく、架橋した炭化珪素前駆体は５００〜１３００℃で、１時間以上熱処理することが好ましい。 （もっと読む）

平坦な支持表面３ｂを有すると共に容易に大型化できかつ破壊靭性を向上させた定盤を提供する。支持表面３ｂを有する定盤３であって、セラミックスからなる主物質ａと、金属からなる補助物質ｂとの複合物質Ａによって形成される。
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【課題】 強度や破壊靭性などの機械的特性及び耐熱衝撃性を向上させた弁部材を提供すること。
【解決手段】 窒化珪素質焼結体からなり、液体の流路の少なくとも一部を構成する溝または穴部を備えた液体用の弁部材であって、該弁部材を成す窒化珪素質焼結体は、窒化珪素を主成分とする結晶相と、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＺｒおよびＣｕのうち少なくとも１種の第１の金属元素の珪化物からなる第１金属珪化物および上記第１の金属元素よりも融点の高い第２の金属元素の珪化物からなる第２金属珪化物を含む粒界相とを有し、且つ上記溝または穴部の表面における上記第１の金属珪化物および第２の金属珪化物のそれぞれの濃度が上記窒化硅素質焼結体の内部より低いことで耐熱衝撃性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】
高い硬度を有するセラミックス焼結体を提供すること。
【解決手段】
ＣｒＢ₂粉末と、Ｃｒ₃Ｃ₂粉末とを含有する原料混合物を焼結して得られることを特徴
とするセラミックス焼結体、およびその製造方法。
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高温の煙道ガス（２２）を発生させるため燃料・空気混合体を燃焼させるための多孔性バーナであって、ハウジング（１２）を含み、ハウジング内に多孔性で耐高温性の炭化ケイ素（SiC）からなる多孔性材料（１６）が燃焼のために設けられている多孔性バーナ（１０）において、多孔質体がケイ化された炭素織物を含み、この織物が秩序正しい、規則的な構造を有する。炭化ケイ素からなる織物（１６）は、平らな面から外れた形状、例えば波形を有してもよく、複数の織物部分（２８、３０）が層をなして重なり合うようになっていてよい。
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【課題】 複数の部品を組み合わせてなる精密機器において、一方の部品を構成する窒化珪素質焼結体の熱膨張係数を、他方の部品の熱膨張係数と一致させることのできる窒化珪素質焼結体及びその熱膨張係数の調整方法を提供する。
【解決手段】 母相の窒化珪素がβ−Ｓｉ₃Ｎ₄からなり、粒界がチタン化合物からなる非晶質相であることを特徴とする窒化珪素質焼結体である。粒界が非晶質のチタン化合物からなる窒化珪素質焼結体を用い、チタン化合物の含有量を調整することにより、窒化珪素質焼結体の熱膨張係数を調整することを特徴とする熱膨張係数の調整方法である。粒界が非晶質のチタン化合物からなる窒化珪素質焼結体においては、窒化珪素質焼結体のチタン含有量と熱膨張係数との間に極めて良好な相関関係が存在し、チタン含有量の調整によって熱膨張係数を十数％の範囲で精密に調整することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 密度が高く、体積抵抗率が１０^６〜１０^１３Ω・ｃｍの範囲で任意に制御可能な電気絶縁性を有する炭化ケイ素焼結体を、特別な雰囲気制御やホットプレス等の加圧焼成装置を用いることなく、常圧下にて焼成することにより、工業的規模で安価に製造可能な炭化ケイ素粉末組成物及びそれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法並びに炭化ケイ素焼結体を提供する。
【解決手段】 本発明の炭化ケイ素粉末組成物は、遊離の炭素または加熱により炭化する前駆体を炭素量換算で０．５重量％以上かつ８重量％以下、ホウ素またはホウ素化合物をホウ素量換算で０．１重量％以上かつ４重量％以下、窒化ケイ素粉末を０．１重量％以上かつ６重量％以下含有し、残部が炭化ケイ素粉末及び不可避不純物からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より高い強度を得ることができる炭化ケイ素焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ナノメータサイズのＳｉＣ粉体及びサブマイクロメータサイズのＳｉＣ粉体を硝酸イットリウム水溶液中に分散させた後、この硝酸イットリウム水溶液中にアルミナ粒子を添加することにより、サスペンションを作製する。そして、このサスペンションから得られた成形体を焼結する。 （もっと読む）

【課題】表面性状の滑らかなサイアロンセラミックス多孔体、その製造方法及び用途を提供する。
【解決手段】βサイアロンを主成分とする表面性状が滑らかなサイアロンセラミックス多孔体であって、（１）βサイアロンの組成の一般式Ｓｉ_６−ｚ Ａｌ_ｚ Ｏ_ｚ Ｎ_８−ｚにおいて、そのＺ値が０．１以上３以下、（２）アスペクト比が１以上４以下のβサイアロン結晶粒の割合がβサイアロン結晶粒全体に対し６０％以上であり、好適には、気孔率が３０％以上７０％以下、平均気孔径が０．２ミクロン以上２ミクロン以下であることを特徴とするサイアロンセラミック多孔体、その製造方法、及び当該セラミックス多孔体からなる耐食性部材。
【効果】高気孔率と高強度を両立し、かつ表面性状の滑らかな特性を有するサイアロンセラミックス多孔体及びその部材を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 大型のセラミックハニカム構造部材を用いてなる、比剛性の分布の均一な軽量高剛性セラミックス系部材を提供する。
【解決手段】軽量高剛性セラミックス系部材１０は、実質的にＳｉＣ／Ｓｉ複合材料からなる隔壁１１により仕切られた多数の柱状空隙部１２を有するハニカム構造部材１３と、所定のセラミックス系材料からなり、ハニカム構造部材１３の少なくとも一方の開口面に取り付けられる板部材１４と、を有する。隔壁１１はその厚み方向にＳｉＣとＳｉとが層構造をなした微構造を有しており、１個のハニカム構造部材１３を用いることにより、比剛性の分布を均一とした。 （もっと読む）