【課題】 強度や破壊靭性等に優れた導電性窒化ケイ素焼結体を提供する。抵抗体として有用である。
【解決手段】 平均粒子径が１．０μｍ以下の酸化マグネシウム０．１〜５重量％を添加してえられるＳｉ−Ｒ−Ｍｇ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ化合物、或いはＳｉ−Ｒ−Ｍｇ−Ｏ−Ｎ化合物（Ｒは希土類元素を表す。）を主として含む粒界相を２〜２０重量％、及び窒化ケイ素を残量、並びにＣＮＴを外掛けで０．３〜１２重量％含有して成る導電性窒化ケイ素焼結体。
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【課題】誘電層厚さのばらつきを小さくしたジョンソン・ラーベック方式の窒化アルミニウム製静電チャック及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本窒化アルミニウム製静電チャックは、共に主として窒化アルミニウムからなり、ウェーハ載置面が設けられた載置側焼結体と、前記載置側焼結体と接合されているベース側焼結体と、前記両焼結体間に埋設された金属電極を具備し、前記載置側焼結体はイットリウム濃度が１０００〜２０００ｐｐｍ、室温における体積抵抗率が１×１０^１０〜１×１０^１１Ωｃｍでありかつ、前記ウェーハ載置面と前記金属電極の距離のばらつきが１００μｍ以下であり、前記ベース側焼結体はイットリウム濃度が４０００〜８０００ｐｐｍである。 （もっと読む）

【課題】肉厚が一定でなく、また、厚肉部位を有する大型セラミックス構造体について、原料ロスが少なく、有機バインダー成分を最小限にとどめ、更に、大掛かりな設備を使用することなく、成形、製造する方法及びそのセラミックス構造体等を提供する。
【解決手段】型内に、反応焼結窒化ケイ素の多孔質の小片と、ケイ素を主成分として酸化物を含有してなるスラリーを充填し、前記多孔質の小片の気孔部にスラリー中の水分を吸収させる、あるいは固化材の作用、冷却により、前記スラリーを固化させた後、必要に応じて脱脂し、窒素気流、あるいは雰囲気中で加熱し、前記ケイ素を窒化ケイ素に転化させた後、前記酸化物が窒化ケイ素と液相を形成する温度以上に更に加熱することで緻密化することによるセラミックス構造体の製造方法、そのセラミックス構造体、及び大型のセラミックス部材。 （もっと読む）

機械的強度が高く、除塵、脱塵に最適な窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法を提供する。 平均粒子直径０．２〜５０μｍの金属ケイ素粒子５〜９５質量％と平均粒子直径０．２〜４０μｍの窒化ケイ素粒子３〜９０質量％とシリカ粒子０．１〜２５質量％とからなる混合物と、気孔形成剤とを、含むハニカム成形体であって、前記混合物５０〜９５質量％と、前記気孔形成剤５〜５０質量％とを含み、かつ前記混合物と前記気孔形成剤との合量が８０質量％以上であるハニカム成形体を窒素中で熱処理することにより実質的に金属ケイ素を窒化ケイ素とすることを特徴とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンの燃焼ガスに直接接触する部位に用いても腐食による消耗を抑制することができ、しかもガスタービン内で生じる熱サイクル環境に晒されても基体上に設けられた被覆層が剥離するのを防止できる耐食性ガスタービン用セラミック部品を提供することである。
【解決手段】ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であり、窒化珪素を主成分とするセラミック基体２上に、密着促進層３、応力緩和層４、クラック進展防止層５、および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層６がこの順に積層されており、各層における熱膨張係数には一定の関係を有する。 （もっと読む）

【課題】任意の部位に任意の気孔径を形成したセラミックス多孔体を提供する。
【解決手段】嵩密度の異なる３次元網目構造体のセラミックス多孔体同士が、それぞれの３次元網目構造を構成する骨格により結合されているセラミックス多孔体。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＡｌＮ系セラミックスの色ムラを解消し、耐食性と機械的特性を改善させた、黒色を呈する高純度ＡｌＮ系セラミックスを提供するものである。
【解決手段】本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスは、１〜３０重量％の酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの反応により生じる格子欠陥を有するＡｌＯＮ相を含有し、実質ＡｌＮとＡｌＯＮの２相とから成り、密度が理論値の９０％以上で黒色を呈する。 （もっと読む）

本発明は、複合セラミック体およびその製造方法に関する。複合セラミック体は、炭素を含有する繊維強化された芯部領域と、ＳｉＣを含む表面領域とを有している。複合セラミック体の良好な長期挙動を得るために、芯部領域の内部を起点として表面領域の内部に至るまでＳｉＣの割合が連続的または実質的に連続的に変化するように、複合セラミック体がＳｉＣを含んでいることが提案される。 （もっと読む）

【課題】非酸化物焼結セラミックから作製された構成要素を互いに接合させて、継ぎ目なしのモノリスを形成させる接合方法を提供する。
【解決手段】 セラミック構成要素を接合するための方法であって、接合される前記構成要素が焼結された非酸化物セラミックからなり、前記構成要素を遮蔽ガス雰囲気存在下の拡散溶接プロセスにおいて互いに接触させ、少なくとも１６００℃、好ましくは１８００℃を超える、特に好ましくは２０００℃を超える温度をかけ、適当であれば荷重をかけて、ほとんど変形が無い状態で接合させてモノリスを形成させ、前記接合される構成要素の、力が加えられた方向における塑性変形が、５％未満、好ましくは１％未満となるようにする接合方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、セラミックマトリックス複合材構成部品、例えばタービン構成部品を形成する方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、（ａ）化学気相堆積によって繊維トウ（１０）に繊維被覆を施す段階と、（ｂ）高温及び低温バインダ、炭化ケイ素粉末、カーボンブラック並びに水で構成された水性スラリーを通して繊維トウ（１０）を引張り、それによってプリプレグテープを形成する段階と、（ｃ）プリプレグテープをドラム（１８）上に巻取る段階とを含み、さらに（ｄ）プリプレグテープを切断し、積重ねかつ積層して複合材予備成形物（２０）を形成する段階と、（ｅ）予備成形物を溶融ケイ素で溶融浸潤する段階とを含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】 軽量化が図れ、強度が高い液晶製造装置用セラミック部材を提供すること。また、その電気抵抗が十分に高いこと。
【解決手段】 液晶製造装置に配置される液晶製造装置用セラミック部材において、２０％〜４０％の気孔率の炭化珪素であり、気孔の平均径が０．１μｍ〜１μｍである液晶製造装置用セラミック部材。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのエチレン系不飽和基及び少なくとも１つのＳｉ−Ｎ結合を有する少なくとも１つの第一モノマーと、少なくとも１つのチオール官能基を有する少なくとも１つの第二モノマーとを含有する組成物を提供する。本発明は、セラミック材料の形成方法及び三次元セラミックの形成方法も提供する。 （もっと読む）

多数の貫通孔が壁部を隔てて長手方向に並設され、これらの貫通孔のいずれか一方の端部を封止してなるセラミックブロックにて構成されたハニカム構造体である。このハニカム構造体は、それを構成するセラミックブロックが、熱伝導率に優れた、セラミック粒子と結晶質シリコンとからなる複合材にて形成され、熱拡散性に優れるだけでなく、比較的低温の温度分布が生じたり、長期間の冷熱サイクルが繰り返された場合であっても、熱応力の蓄積が極めて少なく、クラックが発生することがないので、耐熱衝撃性に優れている。
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