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Fターム[4G072NN21]の内容

珪素及び珪素化合物 (39,499) | 結晶、薄膜系操作 (908) | 溶液からの薄膜形成 (105)

Fターム[4G072NN21]に分類される特許

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【課題】 均一な三次元周期を持って配列した細孔を有し、構造安定性及び耐薬品性に優れた強固な構造を有する無機酸化物周期構造体、およびこれら構造体の簡便な製造方法を提供すること。
【解決手段】 無機酸化物の構造体中に、孔径が20nm〜10μmの範囲にある細孔が三次元周期を持って配列し、隣接する細孔の中心間を結ぶ線上の無機酸化物厚さが5nm〜10μmの範囲にある無機酸化物周期構造体、及び有機高分子化合物微粒子をコア部、架橋した親水性有機高分子化合物をシェル部として有するコア−シェル粒子を、水系溶媒に分散させたゾルを得る工程、該ゾルに金属系アルコキシドを加えてゾル−ゲル反応させ、架橋した親水性有機高分子化合物と、生成する無機酸化物とが一体化された複合体中に、前記コア部が三次元周期を持って配列した構造体を得る工程、該構造体を焼結して無機酸化物周期構造体を得る工程からなる製造方法。 (もっと読む)


【課題】集積回路において使用するのに適した厚さおよび質の金属酸化物の薄膜の製造。
【解決手段】キシレン/メチルエチルケトン溶媒中にストロンチウム、タンタルおよびビスマス2−エチルヘキサノアート(ethylhexanoate)などのいくつかの金属2−エチルヘキサノアート(ethylhexanoate)を含む前駆体液体が調製され、基板(5、858)が真空堆積チャンバ(2)内に配置され、少量のヘキサメチル−ジシラザンが前駆体液体に添加され、噴霧化され、噴霧は堆積チャンバ内に流入させられて基板上に前駆体液体の層が堆積される。液体は乾燥、焼成およびアニールされ、基板上にストロンチウムビスマスタンタル酸塩などの層状超格子材料の薄膜(506、860)が形成される。次いで、集積回路(600、850)が完成され、集積回路の構成要素(604、872)中に層状超格子材料膜の少なくとも一部が含まれる。 (もっと読む)


【課題】 絶縁特性に優れたシリカ質膜の製造法とそれに用いられるコーティング組成物の提供。
【解決手段】 数平均分子量が100〜50,000の、パーヒドロポリシラザンまたは変性パーヒドロポリシラザンと、ケイ素原子に対するアルミニウム原子のモル比で10ppb以上100ppm以下のアルミニウム化合物とを含むコーティング組成物と、それをを基板に塗布し、水蒸気、酸素、またはそれらの混合ガスを含む雰囲気中で焼成することを特徴とするシリカ質膜の製造法。 (もっと読む)


【課題】10μm以下である酵母などの物質を捕捉できない珪藻土の欠点を改善するため、珪藻土にシリカを修飾させ、比表面積の向上と微細な細孔を有するシリカ修飾多孔質体の製造する方法を提供する。
【解決手段】珪藻土をアルカリ溶液に浸積し、珪藻土よりシリカを溶出させた混合溶液に室温で鉱酸を添加することで得るシリカ修飾多孔質材料。 (もっと読む)


テスト分子の分配係数を測定する方法にして、以下の工程を含むことを特徴とする方法:多孔表面を有するナノ粒子と第一の溶媒から成る組成物に、該分子を混合する工程において、第二の溶媒が多孔表面に吸収され、第一の溶媒は第二の溶媒に対して非混和性を有するものである工程;及び、該ナノ粒子と第一の溶媒とを分離する工程。第一の溶媒の中に残る分子の量は、分配係数の計算が可能となるように、決定される。分離を容易にするために、ナノ粒子は、磁性材料の芯を有していても良い。 (もっと読む)


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