【課題】空気中に含まれる揮発性有機物質を効率良く二酸化炭素まで分解すると共に、二酸化炭素まで分解しきれない有機物中間体を効率良く除去する空気清浄装置を提供する。
【解決手段】
空気を吸引する吸引部、吸引した空気を浄化する空気浄化部、浄化した空気を排気する排気部からなる空気清浄装置であって、空気浄化部が誘電体薄膜基板上に複数の尖状突起を有する微細電極素子を持つプラズマ放電電極と、プラズマ放電処理した空気中のゾル状ないしゲル状物質を捕捉する捕捉部から構成されることを特徴とする空気清浄装置。 （もっと読む）

【課題】 放電プラズマの強度を安定させ、目標通りの強度で放電プラズマを発生させることが可能となる放電プラズマ発生装置、およびこれを備えた空気調節装置を提供する。
【解決手段】 誘電体基板１１の表面は防湿膜１２によって覆われているため、周囲の空気に含まれる水分が誘電体基板１１の内部に入り込むのを防ぐことができる。放電強度が周囲の空気中の水分の影響を受けることがないため、放電プラズマの強度が安定する。したがって、目標通りの強度で放電プラズマを発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】階層的に積層された複数の単位電極が、高精度かつ簡便に位置決めされてなるとともに、熱応力による歪みが有効に防止されたプラズマ発生電極を提供する。
【解決手段】極性の異なる二種類の単位電極２，３のうち、同一極性である一方の極性の単位電極２が、導電性を有する板状の導電体６と、導電体６を覆うように配設されたセラミック誘電体５とを有し、この一方の極性の単位電極２のセラミック誘電体５が、セラミック誘電体５の少なくとも一方の表面の一の方向における少なくとも一方の端部に、互いに対向する単位電極２，３相互間にプラズマを発生するための放電空間４及び一方の極性の単位電極２に対向する他方の極性の単位電極３が配設される空間の少なくとも一部を形成し且つ一方の極性の単位電極２を支持するための支持用突起７が一体に形成されたものであるプラズマ発生電極１。 （もっと読む）

【課題】比較的低い温度領域から高いＮＯx低減率を得られるようにした排気浄化装置を提供する。
【解決手段】ディーゼルエンジン１から排気ガス３を導く排気管４の途中に装備されたＮＯx吸蔵還元触媒５と、該ＮＯx吸蔵還元触媒５への還元剤として適宜に多くの未燃燃料を排気ガス３中に残し得るよう前記ディーゼルエンジン１の各気筒内への燃料噴射を制御する制御装置１４と、前記ＮＯx吸蔵還元触媒５より上流側で排気ガス３中に放電してプラズマを発生させ且つそのプラズマにより未燃燃料をＨ₂とＣＯに分解するプラズマ発生装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理時における被処理体の熱変形を防止することができ、被処理体の全体に渡って均一なプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明のプラズマ処理装置１は、ワーク２を搬送する第１のコンベア３および第２のコンベア４と、ワーク２に対しプラズマ処理を施すプラズマ処理部５と、ワーク２をプラズマ処理するのに先立ってワーク２を予熱するヒータ６１が設けられた予熱部６とを備える。プラズマ処理部５でプラズマ処理されているときのワーク２の最高温度とほぼ同等またはそれ以上の温度になるまでワーク２を予熱部６にて予熱した後、ワーク２をプラズマ処理する。 （もっと読む）

【課題】空間効率の良いプラズマアシスト型の排気浄化装置を提供することによって、該排気浄化装置の車輌への搭載性を向上する。
【解決手段】所要の隙間を隔てて対向配置された通気構造を成す一対の平板電極１５と、該各平板電極１５間に各平板電極１５の夫々の面に対しプラズマ発生空間１６を挟んで平行に配列され且つ表面を誘電体１７により絶縁被覆された複数の電極棒１８と、平板電極１５自体に構成したフィルタ手段とを備え、上流側から導入した排気ガス８を電極棒１８の各列群の隙間からプラズマ発生空間１６及び平板電極１５を通過させて下流側に流し且つ各平板電極１５と各電極棒１８との間に放電に必要な電圧を印加し得るようにしてプラズマアシスト型の排気浄化ユニット１２を構成し、該排気浄化ユニット１２を並列に並べてプラズマアシスト型の排気浄化装置とする。 （もっと読む）

大気圧プラズマを利用した表面処理装置を提供する。表面処理装置は、処理ガス貯蔵部及び該処理ガス貯蔵部の下部に位置したプラズマ発生部からなり、ａ）前記処理ガス貯蔵部は処理ガスを導入する第１流入口を備え、ｂ）前記プラズマ発生部は、お互いに向かい合った上部電極及び下部電極と、該上部電極及び下部電極との間に形成されたプラズマ発生空間と、前記上部電極及び下部電極を絶縁させる絶縁体と、電極の表面温度を下げる放熱器と、前記処理ガスを前記処理ガス貯蔵部からプラズマ発生空間に導入する第２流入口と、前記プラズマ発生空間で生成されたプラズマ及びプラズマに転換されない処理ガスをプラズマ発生空間の外部に誘導する排出口と、交流電圧を印加する交流電源と、を含み、前記上部電極及び下部電極はすべて平板形電極であり、前記排出口は前記下部電極に形成され、前記下部電極の下側には基板が位置される。前記表面処理装置は、処理しようとする基板の形態に制限を受けることがなく、基板の処理面積を増加させることができるだけではなく、大気圧下で連続的な基板の表面処理を可能にする。
（もっと読む）

本発明は少なくとも１種の水素含有化合物で汚染された四塩化珪素または四塩化ゲルマニウムの精製法に関し、前記方法において、精製すべき四塩化珪素または四塩化ゲルマニウムを目的とする方法で、冷たいプラズマを使用して処理し、こうして処理した相から精製した四塩化珪素または四塩化ゲルマニウムを単離する。本発明は更に本発明の方法を実施する装置に関し、前記装置は、四塩化珪素または四塩化ゲルマニウムの貯蔵装置および蒸発装置（４.１または５.１）を有し、これらの装置は接続管により調節装置（４.４または５.４）を有する反応器（４.３または５.３）の入口に接続され、反応器は誘電的に阻止される放電を生じ、その出口はパイプにより直接的にまたは少なくとも１個の他の反応器（５.５）により間接的に凝縮装置（４.５または５.１１）に案内され、凝縮装置は下流収集容器（４.６または５.１２）を有し、収集容器は排出管（４.６.２または５.１２.１）により蒸留装置（４.８または５.１３）に接続され、場合により装置（４.１）への供給管（４.６.１）が備えられている。
（もっと読む）

【課題】 陽イオン、オゾン及び/又は陰イオンを発生するとともに、そのイオンの発生量を極大化できるイオン発生装置を提供すること、並びに、多様なイオン発生モードを提供することで、使用者の多様な使用環境に合わせてイオン発生装置を使用できるイオン発生装置を備えた空気清浄機を提供すること。
【解決手段】 電源供給部２０と;前記電源供給部２０から供給された電源によって陽イオン及びオゾンを発生する陽イオン発生部３０と;前記陽イオン発生部３０と別途に構成され、前記電源供給部２０から供給された電源によって陰イオンを発生する陰イオン発生部４０と;前記陽イオン発生部３０及び陰イオン発生部４０のうち少なくとも一つの作動を制御するイオン発生制御部７０と；を含んでイオン発生装置を構成する。 （もっと読む）

本発明のプラズマ発生電極は、互いに対向する二つ以上の、長方形の表面及び四つの端面を有する板状の単位電極２と、単位電極２を、単位電極２の四つの端面に対応した四つの端部のうち、一組の互いに平行な端部（一組の端部）の少なくとも一方（固定端６）を保持する保持部材５とを備えたプラズマ発生電極であって、互いに対向する単位電極２の少なくとも一方が、セラミック体３と導電膜４とを有する導電膜配設電極８であるとともに、導電膜配設電極８の四つの端部うち、一組の端部に隣接する他の一組の互いに平行な端部（他の一組の端部９）側における、導電膜４の先端からセラミック体３の先端までの距離ａ（ｍｍ）と、セラミック体３の厚さｃ（ｍｍ）とが、（ｃ／２）≦ａ≦５ｃの関係を満たすプラズマ発生電極であり、熱衝撃による破損を有効に防止することができる。 （もっと読む）

【技術課題】 基板に損傷や表面汚染を与えることなく、エッチングや成膜が行え、チャンバや電極等の構造は同一であるにも拘らず、導入するガスやプラズマ励起周波数を変えることにより、エッチングや成膜にも応用可能であり、生産性に優れるとともに、低価格で高性能なプラズマプロセス用装置を提供すること。
【解決手段】 容器内105に対向するように設けられ夫々平板状に形成された第１及び第２電極102，104と、プラズマに対して安定な材料から成り第１電極102上を覆うように設けられる保護部材101と、第２電極104上に被処理物103を取り付けるための保持手段と、第１電極102に接続される第１の高周波電源111と、第２電極104に接続される第２の高周波電源110と、容器105内に所望のガスを導入するためのガス供給手段とを少くとも備え、第１の高周波電源の周波数が前記第２の高周波電源の周波数より高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 メインテナンス後に再装着しても割れることのない電極板を有するプラズマ装置を提供する。
【解決手段】 電極支持体２２と電極板２３との境界面の少なくとも片方に，薄い絶縁被膜６２を設け，電極支持体２２と電極板２３との直接の接触を避け，絶縁被膜の厚さを調整して，融着を防止しつつ性能を保持したプラズマ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 真空ポンプを損傷させず整備、点検の容易で且つ燃焼処理を必要としないＰＦＣの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 真空室１２の後段には配管１４を介して真空ポンプ１６と反応ガス導入部１７とプラズマ処理部１８と重合体回収部２０とが連続して設置され、処理装置１０を構成する。このように処理装置１０を構成すれば、プラズマ処理後の反応物が真空ポンプを通過することがなく、反応物によって真空ポンプが損傷するのを防止することができる。またプラズマ処理を行う部分については大気圧の環境に設置されるため、プラズマ処理部の整備や点検を容易に行うことができる。また混合ガスをプラズマ処理することによって重合体を生成するので、当該重合体を回収するだけでＰＦＣの処理を済ませることができる。 （もっと読む）