【課題】現場に設置する際、現場の設備の上流／下流の方向を意識する必要をなくす。
【解決手段】風向センサ１３を設け、この風向センサ１３が検出する処理対象ガスＧＳの流れ方向を示す信号Ｓ１を制御部１２へ送る。制御部１２は、風向センサ１３によって検出される処理対象ガスＧＳの流れ方向に基づいて、上流側に位置するハニカム構造体群２Ａよりも下流側に位置するハニカム構造体群２Ｂに印加される高電圧の値を高くするように、高電圧源１１からの高電圧Ｖ１，Ｖ２の出力状況を制御する。 （もっと読む）

【課題】大容量の高電圧電源を不要としコストダウンを図る。
【解決手段】
高電圧印加手段２０を設ける。ハニカム構造体４の第１の電極８を高電圧印加手段２０の正電圧供給端子Ｔ１に接続する。ハニカム構造体４の第２の電極９を高電圧印加手段２０の負電圧供給端子Ｔ２に接続する。高電圧印加手段２０のトランジスタＱ１，Ｑ２のベースに駆動パルスＰＳを与え、第１の電極８に接地電位から正方向に立ち上がる正電圧＋Ｖ１を、第２の電極９に接地電位から負方向に立ち下がる負電圧−Ｖ２を、交互に切り換えて印加する。これにより、第１の電極８と第２の電極９との間に、正電圧＋Ｖ１と負電圧−Ｖ２との差電圧Ｖ１＋Ｖ２（高電圧）が周期的に印加されるものとなり、大容量の高電圧電源が不要となる。 （もっと読む）

【課題】金属体とセラミック体との接合部分が、例えば、金属体の放電や排気ガスによって腐食するのを抑制することができ、しかも、金属体とセラミック体とを強固に接合することができるプラズマ発生電極、およびプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】セラミック体２と金属体３とを含む単位電極４を、金属体３が互いに対向するように、少なくとも二つ備え、単位電極４間に電圧を印加することによって当該単位電極４間にプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極１であって、金属体３の金属原子がセラミック体２へ拡散されていることにより、金属体３とセラミック体２とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】排気ガス浄化装置等に使用されるプラズマ反応器において、放電電極間に波状に形成した補助電極を配置し、その補助電極の波の方向と交差する方向に排気ガスを流すと、ＰＭを捕集しにくい構造となり、補助電極によりＰＭの除去率を高くすることが難しかった。
【解決手段】プラズマ発生用電極は、処理される気体の流れ方向に気流に対面して間隔をあけて配置される、複数の貫通孔を有してなる複数の捕集部を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】膜厚及び膜特性の均一性を改善するガスディフューザを提供する。
【解決手段】ガス分散プレートは、ディフューザプレートの上流側と下流側との間の複数のガス流路とを含み、ガス流路は、上流面に第１の径を有し、第１の径よりも大きい第２の径を下流面に有する。プラズマのイオン化を強めるために、下流側に第２の径を有する中空カソードキャビティを含む。下流端部まで伸びるガス流路の中空カソードキャビティ（円錐体形状の孔）の深さ、径、表面積及び密度はディフューザプレートの中心部から縁部に向かって徐々に増加させて、基板全域での膜厚及び特性の均一性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 誘電体表面に電荷を均一帯電させることにより均一なプラズマの生成を可能にすると共に、プラズマ放電開始電圧の低減を可能にするプラズマ発生電極を提供する。
【解決手段】 互いに均等な間隔を隔てて配置された対向配置された少なくとも一対の対向電極１，１’を備え、これら対向電極１，１’に高周波電力を印加することによって、対向電極１，１’間にプラズマを発生させるプラズマ発生電極であって、前記一対の対向電極１，１’の少なくとも一方の電極表面に一様な厚みに誘電体層２が設けられ、該誘電体層２中には、多数の導体小片７が、誘電体層２の表面の面方向に沿った方向に、当該導体小片サイズ程度の間隔を隔てて一様に分散されて埋設される。 （もっと読む）

【課題】プラズマの放電状態を容易に制御することができる誘電性構造体を提供する。
【解決手段】誘電体基板２と、誘電体基板２の第１表面Ｓ１に設けられた第１電極４ａと、誘電体基板２の内部若しくは誘電体基板２の第１表Ｓ１面に対向する第２表面Ｓ２に設けられた第２電極４ｂとを備える。この誘電性構造体１は、第１電極４ａと第２電極４ｂとの間に電圧が生じると、第１電極４ａの周囲にプラズマを発生可能である。そして、第１電極４ａは、外周に沿って、第１表面に平行な方向に突出した複数の突出部Ｐを有する。 （もっと読む）

【課題】プラズマの放電状態を容易に制御することができる誘電性構造体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体（３）と、該各誘電体（３）の内部に設けられた電極（６）とを有し、電極（６）間に電圧を印加することにより誘電体（３）間にプラズマを発生可能な誘電性構造体（１）であって、誘電体（３）の少なくとも１つにおいて、他の誘電体（３）に対向する表面および該表面と電極（６）との間の少なくとも一方に電極に沿って導電体（７）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】直流によるストリーマ放電の有害物質除去装置は使用電力が少なく、これかの期待される装置ではあるが直流によるストリーマ放電は放電の安定度が悪く電流の投入増加が得られず又放電プラズマに接触せずに通過し有害物質の除去率に難点があった。
【解決手段】直流ストリーマ放電素子は放電ピンの密度を高くしても電流の増加は望めない。放電ピン配置と間隔が重要な要素になっている。最適な間隔を選定すると同時に密度を変えずに放電素子のピン配列をＶ字型にすることで放電投入電流と放電領域を拡大出来、より安定した放電が得られる。又有害物質を効率よく除去しようとするにはストリーマ放電によって出来るプラズマの中を集中して放電領域を複数段通過させる事も重要な要素である。強制的にプラズマの中を通過させる構造により高効率な有害物質除去率を達成することが出来た。 （もっと読む）

【課題】プラズマ反応器だけのシンプルな構成で、高い粒子状物質の除去率を持ち、かつ圧力損失を抑え、更に、製作の容易さも兼ね備えたディーゼル排気ガス中の粒子状物質除去装置。
【解決手段】多数の孔９を有する金属製の放電電極１０の下面に誘電体１１を積層して平板状の複合放電板７を形成し、該複合放電板７を多段に配してその間に処理ガス流路を兼ねるプラズマ放電空間８を設け、前記放電電極１０の孔９に転動体１２を充填させたプラズマ反応器５を形成し、かつ、該プラズマ反応器５を処理ガスが通過する函体２内に設ける。 （もっと読む）

【課題】処理を行う流体の条件によって、各放電空間内のプラズマ密度をり最適化し、消費電力を低減することが可能なプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体と、該各誘電体の内部に配設された導電体とを有し、導電体間に電圧を印加することにより誘電体間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体は、３つ以上であり、導電体は、所定の間隔で配置されており、互いに隣接する少なくとも１組の誘電体対における誘電体間の距離が、他の組の誘電体対における誘電体間の距離と異なる。 （もっと読む）

【課題】中央部の放電空間における温度上昇を抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体と、該各誘電体の内部に配設された導電体とを有し、導電体間に電圧を印加することにより誘電体間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体である。誘電体は、４つ以上であり、導電体は、所定の間隔で配置されている。誘電体の配列方向の中央部における誘電体間の距離は、端部における誘電体間の距離よりも長い。 （もっと読む）

【課題】低電圧でプラズマを放電空間に発生させることが可能な誘電性構造体を提供する。
【解決手段】誘電性構造体は、互いに対向する表面を備えた２つの誘電体３と、各誘電体の内部にそれぞれ設けられた導電体４と、表面同士の間の空間Ｓに設けられた複数の誘電性粒子５とを備える。誘電性粒子５は、対向方向における空間の中央部と２つの誘電体３のうち少なくとも一方との間に設けられ、中央部から誘電体３に向かうにつれて、粒径が小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】電極間のギャップを大きくすることができ、低い直流電圧が使用可能で、また、誘電体に高い短絡防止性能を付与することを必要とせずに広い面積で発光強度の強い紫外線が発生し、また多量のオゾンが確実に得られるプラズマ発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ギャップ３を設けながら互いに対向するように設けた高圧電極板２とアース電極板３とにピンホール５を有する絶縁性の膜６を設け、それぞれの電極板に異なる電圧を印加することで面コロナ放電を起こし、電極板表面全体に一様なプラズマを得る。 （もっと読む）

【課題】 消費エネルギーやコストの上昇を抑制しつつ、排気ガスを良好に浄化することのできるプラズマ反応器を提供すること。
【解決手段】 誘電体１２と、この誘電体１２を挟んで対向する１対の電極１３（高電圧極４３および接地極３３）とを備えるプラズマ反応器３において、相対的に比誘電率が高い高誘電板１６と相対的に比誘電率が低い低誘電板１７とを、誘電体１２の電極１３との対向方向に沿って配置することにより、全体として誘電体１２を形成する。そして、高誘電板１６の配置される側が、排気ガスの流れ方向上流側になるように、プラズマ反応器３を設置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二酸化炭素を有用な有機製品に変換するプラズマ法を提供する。
【解決手段】本方法において、二酸化炭素及びカウンターパート分子は反応チャンバ内で混合されて、プラズマ励起を用いて化学反応を引き起こす。入力パワーの強度及びカウンターパートの分子構造に応じて、最終的な製品は、ポリマー、オリゴマーまたは低分子量の小分子になり得る。二酸化炭素の変換効率及び結果物の製品の化学構造は、カウンターパート分子の選択に強く依存する。このプラズマ技術を通して、二酸化炭素は、プラスチックや燃料等の有用な物質に変換される。本方法は、地球温暖化だけではなく、新規物質及びエネルギーを生成するためにも用いられる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを利用して効率よくガスを処理することができるプラズマ反応器、及びプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器１は、導体３を埋設したセラミックス誘電体４で形成されて互いに対向して間隙を隔てて配置された一対の平板電極２で構成され、一対の平板電極２間に電圧を印加することにより平板電極２間を放電部１１としてプラズマを発生させ放電部１１に流通する第一のガスを反応させるプラズマ反応部１０と、そのプラズマ反応部１０に隣接して積層されて一体として形成され、第二のガスを流通させることにより第二のガスの熱をプラズマ反応部１０に付与して第一のガスの反応を促進させる熱付与ガス流通部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の平行平板構造のプラズマリアクタよりも低温で、かつ常圧で使用できるとともに、より高い収率で効率的に水素を含有する改質ガスを生成できる新構造のプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】平板状の第一電極３と、平板状で、第一電極３に対して垂直に所定間隔で並列配置された複数の第二電極５ａ、５ｂと、第一電極３と第二電極５ａ、５ｂとの間に配置されたハニカム構造体７と、第一電極３と第二電極５ａ、５ｂとの間に電気パルスを印加するためのパルス電源１３とを備えたプラズマリアクタ。 （もっと読む）

【課題】単位電極間にガスを導入し、プラズマを発生させて効率よく処理することが可能なセラミックプラズマ反応器、及びプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】板状のセラミック誘電体４と、その内部に配設された導電膜３とから形成され、所定の間隙を隔てて積層されてなる第一電極２ａと第二電極２ｂを有する。第一電極２ａの、単位電極２ａ，２ｂ間の間隙とは反対側の面側に、保持部材７によって間隙を隔てて保持された隔壁板９を備え、保持部材７及び隔壁板９によってガス導入流通部２１が形成されている。また、第一電極２ａには、貫通孔１５が形成され、ガス導入流通部２１から貫通孔１５を流通させて単位電極間にガスを導入し、単位電極２ａ，２ｂ間に電圧を印加することによって単位電極２ａ，２ｂ間を放電部１１としてプラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ場のばらつきを抑制し、流体を良好に分解することができるプラズマ発生体および及びプラズマ発生体を用いた各種装置を提供することにある
【解決手段】 本発明のプラズマ発生体は、内部空間Ｓを挟んで対向する一対の第１電極４を備える管状の外囲体１と、一対の第１電極４間に、間に空隙を介して配置される第２電極５とを備え、２電極５は、一方の端部３ａが外囲体１に固定され、且つ他方の端部３ｂが自由端であり、一対の第１電極３のそれぞれと第２電極４との間にプラズマを発生させるものである。 （もっと読む）