【課題】高温高振動下において使用されるプラズマ発生体の流路内を通過するＰＭや酸化性成分、ＨＣ等の流体を良好に反応、分解して浄化することができるプラズマ発生体および反応装置を提供すること。
【解決手段】平板状の第１電極１と、第１電極１上に対向して配置される平板状の第２電極２と、対向面の外側或いは外周部に設けられ、第１電極１と第２電極２とが離間するように、これらを保持する側壁部５と、側壁部５の外表面に形成され、第１電極１に接続される外部端子７と、側壁部５に埋入され、側壁部５の外表面側で外部端子７に接合されるとともに、外部端子７との接合面に平行な断面における特定方向の幅が、接合面から内部に向かうに連れて、広くなる幅広領域を有する補助導体８とを備え、側壁部５ならびに第１電極１及び第２電極２により囲まれた流路領域６内を流体が流れる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面処理の高速化を可能とするプラズマ表面処理装置を提供する。
【解決手段】グロー放電によりプラズマを発生さるプラズマ表面処理装置は、放電空間４に供給される少なくとも１種のガスの流路上であって、放電空間４の上流に多孔質体９が設置されており、多孔質体９に液状の作用物質を浸透させた状態で、前記ガスを通過させることによって、前記作用物質のミストが形成され前記ガスに含有されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】撥水性等の表面改質度を、均一性を確保しつつコントロール可能なプラズマ表面改質方法を提供する。
【解決手段】前処理工程として、表面改質成分を実質的に含まない前処理用ガスをプラズマ化して被処理物の表面に接触させる。その後、本処理工程として、表面改質用ガスをプラズマ化して前記被処理物の表面に接触させる。前処理工程の処理量と本処理工程の表面改質度の飽和値との関係を予め求めておき、この関係に基づいて、前処理工程における処理量が、得るべき表面改質度に対応する大きさになるように調節する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理を停止しても、短時間で安定したプラズマ処理性能に復帰させることができる、プラズマ処理方法及び処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理方法は、（ａ）空間１３を設けて対向配置された一対の電極１１，１２間に電圧を印加して放電を発生させるとともに、処理ガスを空間１３に供給して、処理ガスを被処理物１に接触させる、運転工程と、（ｂ）運転工程が一時停止された後、運転工程が再開されるまでの間の一時停止期間中において、電極１１，１２間に電圧印加を停止するとともに、処理ガス又は処理ガスの一部を構成する成分ガスを空間１３に供給する、運転再開準備工程と、を有する。 （もっと読む）

非熱プラズマ（ＮＴＰ）および一体触媒システム（ＩＣＳ）は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）および／もしくはハロゲン化揮発性有機化合物（ＨＶＯＣ）の中和に使用される。これらの化合物の一部は、商業的および／もしくは産業的な空気の流れによって環境中に放出された臭気性を有するおよび／もしくは微細な有機粒子（煙）である排出物である。このシステムは、誘電体バリア放電（ＤＢＤ）電極および誘電設計を利用して、ＮＴＰフィールドを発生させ、触媒機能と組み合わせて十分な反応性酸素種（ＲＯＳ）、ヒドロキシル種および他の高イオン化分子および原子種を生成し、それによってその後環境中に放出可能なより単純な非汚染物質、無臭の化合物に分解すべき空気流中のＶＯＣおよび／もしくはＨＶＯＣおよび／もしくは微細な有機粒子状汚染物を酸化および／もしくは還元させる。このシステムは、汚染された、もしくは汚染されていない大気圧の空気および／もしくはガスを、ＤＢＤ装置によって生成されるＮＴＰフィールドを通して吸引し、この空気を処理されるべき空気および／もしくはガスと合わせることによって動作する。ＤＢＤ装置は、ＤＢＤセルに一体化した触媒材料、およびセルの直後に任意の追加触媒を備えた設計とされており、商業的もしくは産業的な処理に固有の大規模な空気流を通過させるよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】安価且つコンパクトな構成で大口径のビームを被処理物に照射することができると共に高い中性化率を得ることができ、チャージフリー且つダメージフリーな中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の中性粒子ビーム処理装置は、被処理物Ｘを保持する保持部２０と、高周波電圧の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことにより、真空チャンバ３内に正イオンと負イオンとを含むプラズマを生成するプラズマ生成部と、真空チャンバ内であって、プラズマ生成部と被処理物との間に配置され、プラズマから放出される紫外線を遮蔽するオリフィス電極４と、真空チャンバ内にオリフィス電極に対して上流側に配置されたグリッド電極５と、オリフィス電極とグリッド電極との間に電圧を印加することで、プラズマ生成部により生成されたプラズマから正イオンと負イオンとを交互に引き出すバイポーラ電源１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 工程を終えた後に排気される工程ガスをリサイクルすることによって、装備の経済性を向上させることができるプラズマ工程装備を提供する。
【解決手段】 工程チャンバーと、工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、工程を終えた後に工程チャンバーから排出される工程ガスから特定ガスを分離するガス分離装置と、を備える構成とした。ここで、ガス分離装置は、工程ガス間の液化点の差を用いて特定ガスを分離する液化装置から構成される。また、ガス分離装置によって分離されたガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクをさらに備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性のある耐久性を有し、安定的かつ均一なプラズマを発生させることができる性能を有することができ、各種システムが要求する位置に簡単かつ効率的に取付て稼動できるようにしたプラズマ反応器の提供。
【解決手段】本発明は、プラス電極とマイナス電極及びスペーサを順次に積層して積層物を構成し、前記積層物は積層物の一側にのみ積層物を保持する反応器本体と、前記プラス電極とマイナス電極はスペーサにより気体が通過する通路を有するように交互に反復して配列され、前記プラス電極とマイナス電極には熱膨張・収縮等により局部的に熱応力が発生しないように防止し、熱衝撃性能を高めるために応力を分散させる変形防止手段を更に備え、前記反応器本体にはプラス及びマイナス電極に接続するための外部端子を備え、前記反応器本体の表面に積層物の積層方向と垂直方向に形成して、簡単にケースに固定することができる突出部を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】局所的にプラズマを集中させ、ワークに対し微細な処理が可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、ワーク１０を介して互いに対向して設けられた１対の電極２，３と、電源７２を備えた電源回路７と、処理ガスを供給するガス供給手段８と、１対の電極２，３間において、各電極２、３の中心部同士を結ぶ線分２０の外周側に周方向に沿って形成された処理ガス噴出部５と、ガス供給手段８から供給された処理ガスを処理ガス噴出部５に導く処理ガス供給流路６とを備え、処理ガス噴出部５から噴出された処理ガスが、線分２０に向かう方向と、線分２０から離間する方向とに流れるように構成され、１対の電極２，３間に電圧を印加することにより、処理ガスを活性化してプラズマを生成させ、該プラズマによりワーク１０の被処理面１０１が処理されるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】流入した流体に固体電解質を伝導したイオンを作用させて酸化還元反応を行い、効率的にかつ制御性よく進行させることができるようにする。
【解決手段】本発明の電気化学反応装置２０においては、反応部Ｒのカソード側では、固体電解質１１の基板上の混合電極１２に電極端子１３−１乃至１３−ｎが設けられる一方、反応部Ｒのアノード側では、固体電解質１１の基板上の混合電極１４に電極端子２２が設けられる。反応部Ｒの電極端子１３−１乃至１３−ｎと電極端子２２の間に直流電源２３により数Ｖ程度の直流電圧が印加され、反応部Ｒの上部には固体電解質１１に対向してバリア材（誘電体）からなる対向壁２４が配置され、内挿電極２５が内挿される。カソード側の電極端子１３−１乃至１３−ｎと内挿電極２５の電極間には放電用電源２６により交流電圧が印加され、固体電解質１１と対向壁２４との間にプラズマ放電が生じ、放電プラズマ空間Ｓが形成される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は有害ガスなどを処理する平板型低温プラズマ反応器に関し、誘電体障壁放電方式の平板型低温プラズマ反応器の熱応力による耐久性を大きく向上させることができ、車両など処理すべきガスの温度変化範囲が広く、時間に対する変化量も大きい環境でも安定的に低温プラズマを発生させることができるのはもちろん、高電圧積層部の電極リード部分をそれぞれの高電圧電極板に個別に構成することで、アークなど異常放電による過電流をそれぞれの電極端子に個別付着されたヒューズなどで遮断し、全体性能に問題がない限り少数の問題が発生したプラズマ層に電力を供給しないようにして全体反応器の寿命を延長させることができる効果がある。
【解決手段】
本発明は多層平板電極を具備した誘電体障壁放電方式の平板型低温プラズマ反応装置において、高電圧の電源が印加され、スペーサを介して積層されて相互一定に離隔される多数の高電圧電極板を含み、上記高電圧電極板とスペーサが融着接合されてなる高電圧積層部と、 接地端子と連結されて上記高電圧電極板間にそれぞれ位置するように相互離隔される多数の接地電極板と、上記接地電極板と高電圧電極板間に反応空間が形成されるように上記接地電極板と高電圧電極板間にそれぞれ介在される多数のスペーサを含む接地電極積層部と、上記高電圧電極板と上記接地電極積層部の接地電極板及びスペーサにそれぞれ形成される貫通ホールを介して貫通されて突出した一側端にナットが締結されて上記高電圧電極板、接地電極板及びスペーサが結合されるようにするが、結合された部位に熱による変形量を吸収するための遊隙が形成されるようにその外径が上記貫通ホールの直径よりも相対的に小さく形成された締結ボルトを含んで構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体とプラズマの接触性とエネルギー消費の低減とを両立させることが困難であり、プラズマ生成の機械的構成も微細部材の複合化が必要であり、民生用用途向けなどでのプラズマ応用の大きな制約となっている。
【解決手段】金属板の対向する板面の少なくとも一方の表面は誘電体膜が形成されて、誘電体膜の表面は、５μｍ以上５０μｍ以下の範囲の高低差と任意の平面パターン形状とをもった凹凸が形成された対向金属板の板面が相互に固設されて、両金属板間にマイクロプラズマ放電を生起させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ密度および気体の供給濃度を効果的に高めて真空チャンバ内へ均一に分布させるプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】プラズマ処理システムの真空チャンバ内に配置されている電極装置２５０は、複数の電極組２５１を含む。そして各電極組２５１は、第１の電極および第２の電極を含む。第１の電極および第２の電極は、電源供給装置の出力端２４１，２４２へ接続され、各電極組２５１は、それぞれ対応するように間隔を置いて配置され、真空チャンバ内にプラズマを発生させ、真空チャンバ内の隣接する二つの電極組２５１の間にある加工部品２６０に表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ等の基板を着色しやすいようにプラズマ処理する。
【解決手段】相対的に平行移動可能な第一の電極９と第二の電極１０とを設け、第一の電極に対向するように第二の電極に板状の被処理体１を設置し、両電極を相対平行移動させつつ両電極間に電圧を印加すると共に処理ガスを導入し、両電極間で発生したプラズマを被処理体に照射し、第一の電極が第二の電極及び被処理体に対して相対平行移動する際に、この第一の電極と被処理体との間のプラズマ処理空間を第一の電極における相対平行移動方向に平行な両端部において閉塞部材２２により閉塞する。閉塞部材は第二の電極側から第一の電極側に向かって、第二の電極上における被処理体の表面よりも高く隆起させておく。 （もっと読む）

【課題】水分の発散促進、脱臭、制菌機能を備えた敷布の耐久性向上を図る。
【解決手段】ポリエステル繊維製の織布又は不織布からなる基材１の片面に、アクリル酸を重合性単量体とする放電プラズマグラフト重合処理によって親水層２を形成するとともに、親水層２を構成する個々の繊維３を多孔質化し、この親水層２に貴金属を含有させて敷布を得る。貴金属には貴金属コロイド１０を使用し、親水層２を構成する多孔質化した繊維３の内外に固着させる。貴金属コロイド１０としては、平均粒子径１〜１００ｎｍの銀コロイドや白金コロイドが好ましい。かかる敷布は、座席用の敷布６に使用できる。その場合、少なくとも着座者が接する基材１の表面側１ａとは反対側の裏面側１ｂに、親水層２を形成する。 （もっと読む）

【課 題】誘電体や金属電極表面に集まったガス中の成分を効率よくプラズマ放電反応で処理することができ、例えばＰＭ含有排ガスを処理する場合には、誘電体や金属電極表面に付着するＰＭを効率よく除去することができ、大容量のガスを工業的に有利に処理することができる加熱機能付プラズマ放電反応器を提供する。
【解決手段】２つの金属電極間に少なくとも１つの誘電体が設けられ、さらに、金属電極と誘電体との間または誘電体と誘電体との間に放電空間が設けられており、該金属電極間に高電圧を印加することによって、該放電空間にプラズマ放電が発生するように構成されたプラズマ放電反応ユニットを具備するプラズマ放電反応器の前記放電空間に接する金属電極および／または誘電体の表面に加熱体を備え付ける。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ処理装置の反応室内でおきる異常放電は、発生した個所を損傷したり、部材を溶融させてパーティクルを発生させる可能性がある。この異常放電を防止するために処理室内での水分量を低減することが考えられるが、従来では、経験的に得られた加熱時間を制御して加熱処理するしかなく、異常放電を防止する際の安定性や再現性に問題がある。
【解決手段】 プラズマ処理装置の真空処理室１０に隣接して予備処理室１０Ａを設け、予備処理室１０Ａにおいて、水分の量を計測しながら基板Ｗがプラズマ加工されないパワーで基板Ｗをプラズマに晒す。水分の量が所定レベルよりも低下した後に基板Ｗを真空処理室１０に搬送してプラズマ処理を行うので、真空処理室１０内における異常放電を防止する。 （もっと読む）

【課題】アンテナ内に均一な高周波を形成し、処理容器に均一なプラズマを生成できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１２１は、環状アンテナ７３に囲まれた封止板５５の中央部にガス供給管１２３が設けられたものである。このガス供給管は、その下部が漏斗状に拡径されており、下端部には多数のノズル１２５…が設けられている。このように、このプラズマ処理装置１２１にあっては、マイクロ波を処理容器５３に供給するアンテナ７３が円環状であるため、その中央開口部にガス供給管１２３を設けることができる。従って、反応性ガス等をウエハＷに対して均一に供給することができ、従ってガス供給の不均一による処理のむらを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 安定性及び耐久性を向上したプラズマ反応器およびプラズマ反応器を採用した車両の排気ガス低減装置を提供する。
【解決手段】 本発明のプラズマ反応器は、互いに積層される複数の電極ユニットと、複数の電極ユニットの間に各々備えられる少なくとも２つのスペーサと、複数の電極ユニットのうちの奇数番目の電極ユニットを互いに電気的に連結する第１連結ユニットと、複数の電極ユニットのうちの偶数番目の電極ユニットを互いに電気的に連結する第２連結ユニットとを含み、複数の電極ユニットは第１電極ユニットを含み、第１電極ユニットは、第１誘電体と、第１誘電体の第１面に印刷される第１メイン電極と、第２誘電体と、第２誘電体の第１面に印刷される第２メイン電極とを含み、第１メイン電極及び前記第２メイン電極は互いに面接触されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非平衡プラズマを発生させ、ガスの処理を行うプラズマ放電用電極装置において、ガスの処理効率を一層改善することである。
【解決手段】非平衡プラズマを発生させ、ガスの処理を行うプラズマ放電用電極装置６を提供する。プラズマ放電用電極装置６は、誘電体からなる基体１１、基体１１中に埋設された電極４、基体１１に担持され、ガスの反応を促進する触媒７、および基体１１に担持された二次電子放出剤８を備えている。 （もっと読む）