本発明のプラズマ発生電極１は、複数の単位電極２が所定間隔を隔てて階層的に積層され、単位電極２が、導電膜４を欠落した部分を有する欠落単位電極２ｂと、欠落した部分を有しない通常単位電極２ａとから構成されてなり、各単位電極２間に形成される空間Ｖが、導電膜４間の距離が単位電極２相互間の距離となるように形成された通常空間Ｖａと、通常単位電極２ａ相互間に、導電膜４間の距離が通常空間Ｖａにおける導電膜４間の距離よりも長くなるように形成された欠落空間Ｖｂとから構成されている。本発明のプラズマ発生電極１は、被処理流体を一度流すだけで、含有される複数の所定成分を、それぞれの反応に適した複数の異なるプラズマにより、効率的に処理することができる。 （もっと読む）

【技術課題】 基板に損傷や表面汚染を与えることなく、エッチングや成膜が行え、チャンバや電極等の構造は同一であるにも拘らず、導入するガスやプラズマ励起周波数を変えることにより、エッチングや成膜にも応用可能であり、生産性に優れるとともに、低価格で高性能なプラズマプロセス用装置を提供すること。
【解決手段】 容器内105に対向するように設けられ夫々平板状に形成された第１及び第２電極102，104と、プラズマに対して安定な材料から成り第１電極102上を覆うように設けられる保護部材101と、第２電極104上に被処理物103を取り付けるための保持手段と、第１電極102に接続される第１の高周波電源111と、第２電極104に接続される第２の高周波電源110と、容器105内に所望のガスを導入するためのガス供給手段とを少くとも備え、第１の高周波電源の周波数が前記第２の高周波電源の周波数より高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】例えばＤＮＡチップを製作するに際し、薬液をスライドグラス等の基盤に転写する作業の効率化をはかる。
【解決手段】導電性を有するシリンジ21の内部に導電性を有し且つ直線往復移動可能なピン22を絶縁した状態で配置し、両者を制御部30に接続して導通を監視する。両者が導通したとき制御部30で信号を発し警報を発生させる。作業テーブル11の領域11ａに基盤１を配列したトレイ50を着脱可能に設け、領域11ｂに薬液を収容した容器３を供給し且つ回収する供給回収部材Ｃを配置する。この供給回収部材Ｃによって容器３を供給し、Ｘ方向駆動部材12，Ｙ方向駆動部材13によってキャリッジ14を作業テーブル11に設定された領域11ａ〜11ｄの所望位置に移動させ、Ｚ方向駆動部材15を駆動して転写部材Ｂを昇降させる一連の動作を行わせることで、シリンジ21による薬液の採取、基盤１に対する転写、洗浄、乾燥の各工程を経て点２を形成する。 （もっと読む）

熱的処理を効率的に行なうマイクロマシンデバイスであって、肉厚が５０μｍよりも小さい領域を少なくとも有する流体流通管(5)を少なくとも１つ有している。マイクロマシンデバイスは、流体流通管(5)の第１断熱部と第２断熱部と熱伝達が行われる１又は２以上の熱伝導性構造体を選択的に含んでいる。デバイスはまた、熱伝導性領域を含んでおり、流体流通管(5)の少なくとも一部分が熱伝導性領域の中に配備される。流体流通管(5)の壁から管の内部空間へ突出する複数の構造体が設けられる。この構造体は、管内の流体と管壁との熱伝達を高める作用を有する。基板(3)から、流体の流れを処理するためのマイクロマシンデバイスを製造する方法では、基板(3)の一部を選択的に取り除いて、装置内に所望の構造体を組み込まれる。例えば、マイクロマシンデバイスは、流体反応物質を効率良く反応させて、装置に連繋された燃料電池の燃料を製造することができ、化学から電気に変換できるシステムが提供される。 （もっと読む）