【課題】真空中だけでなく大気圧中でも安定した電子放出を可能とし、かつ電子放出に伴うオゾンやＮＯｘ等の有害物質の発生を抑制した、電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子１は、基板２と上部電極３との間に微粒子層４を備え、微粒子層４は、抗酸化力が高い金属微粒子６と、金属微粒子６の大きさより大きい絶縁体の微粒子５とを含んでいる。電子放出素子１は、真空中だけでなく大気中でも安定して電子放出でき、放電を伴わないためオゾンやＮＯｘ等の有害物質をほぼ生成せず、酸化劣化しない。そのため、電子放出素子１は、寿命が長く大気中でも安定して長時間連続動作できる。 （もっと読む）

【課題】流路内の流体を外部から視認することのできる流体素子及び積層構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】このマイクロリアクタ１は、第２の基板として設けられるガラス基板１０に対して、電鋳法により形成された複数の導電膜１２Ａ〜１２Ｄを順次常温接合することにより形成されている。ガラス基板１０と導電膜１２Ａは、ガラス基板１０に接合膜として設けられるＣｒ膜１１を介して常温接合されており、導電膜１２Ａに形成された流路１２１がガラス基板１０の上面１０ａ側から視認できるようになっている。導電膜１２Ａ〜１２Ｄは、それぞれ流体を通過させるための孔や溝等の形状の流路パターンを有しており、積層されることによって積層体内に流体の入口から出口にかけて連結された３次元的な流路を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】広範な環境的条件における動作が可能な、電気化学デバイスおよび排気ガスの浄化装置を提供する。
【解決手段】電気化学デバイス１０の陽極２０はバッテリー３０の陽極に接続され、電気化学デバイス１０の陰極２２はバッテリー３０の陰極に接続される。陽極２０と陰極２２との間には、電解質を含む電解質層２４が配置される。電解質層２４は、板状に形成された二種類の電解質を交互に積層することによって構成される。第一の電解質はプロトン伝導体２６であり、第二の電解質は酸素イオン伝導体２８である。浄化装置１２０は複数の電気化学デバイス１０を含む。 （もっと読む）

【課題】部品の組立及び取り外しの簡便性に優れたものとすることができ、量産性を向上させるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】電極はセラミック層により包囲され、ベース部の下層に設けられた第１と第２の導電性部材によって、突き上げ機構の基板を昇降させる突き上げピンの昇降空間と、伝熱ガスを基板保持台に設けられた複数の穴に供給するガス溜まり空間とを包囲し、かつ、第１と第２の導電性部材を接地することで解決できる。 （もっと読む）

【課題】ペルチェ素子を利用して複数の反応容器の温度を同時に一定温度に制御する温度制御装置において、温度制御の応答性を低下させることなく、その温度制御に対するペルチェ素子の熱伝達面の温度勾配の影響を小さくして複数の反応容器に対して均一な温度制御を行なえる装置を提供する。
【解決手段】ペルチェ素子２の熱伝達面２ａ側に熱伝導部材６が設けられている。ペルチェ素子２と熱伝導部材６の間に熱伝導シート４が配置されている。熱伝導シート４は熱伝達面２ａに密着しかつ熱伝導部材６の熱伝達面２ａ側の面に密着している。熱伝導部材６の熱伝導シート４との密着面に中央部を含む十字型の凹部１０が設けられている。これにより、熱伝導部材６の熱伝導率は中央部において最も低くなっている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波を用いたプラズマ発生装置において、導波管内部における放電現象の発生を簡単且つ確実に防止する。
【解決手段】プラズマ発生装置ＰＵは、マイクロ波μを発生するマイクロ波発生装置１０、このマイクロ波発生装置１０に接続され前記マイクロ波μを伝搬させる導波管２０、及び、該導波管２０に設けられたプラズマ発生部３０を備える。プラズマ発生部３０は、マイクロ波μを受信する棒状のアンテナ４０を有する。アンテナ４０は、導波管２０の内部に導入される第１端部４１の側と、導波管２０の外部へ突出する第２端部４２の側とを含む。そして、第１端部４１が接地され、第２端部４２において処理ガスにマイクロ波μのエネルギーを与える。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体のような被エッチング材料の表裏両面へのプラズマ処理を行う際、基板の材質に関わらず被エッチング材料両表面に効率よくバイアスを印加し、両面処理ができるプラズマエッチング装置及びその方法を提供する。
【解決手段】略円環状の被エッチング材料に高周波電力を印加する一対の導電体を有し、略円環状の被エッチング材料の内縁を一対の導電体で挟持することで、略円環状の被エッチング材料の両面をエッチングするプラズマエッチング装置において、前記一対の導電体の一方に設置された導電体接続部材により、該略円環状の被エッチング材料の両面が電気的に導通するようにした。 （もっと読む）

【課題】詰まりの発生が抑制されたマイクロ流路を有するマイクロ流路構造体及びその製造方法、並びに、詰まりの発生が抑制されたマイクロリアクターを提供すること。
【解決手段】マイクロ流路を形成する少なくとも２つの部材により形成された少なくとも１つの接続部を有し、マイクロ流路内表面の凹部を少なくとも部分的に埋設した被膜が形成されたマイクロ流路を有することを特徴とするマイクロ流路構造体、前記マイクロ流路構造体の製造方法、並びに、前記マイクロ流路構造体がマイクロ流路の一部又は全部を形成することを特徴とするマイクロリアクター。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、誘電体の機械的強度を低下させることなくプラズマ出力を向上させることが可能なプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体と、該各誘電体の内部に配設された導電体とを有し、導電体間に電圧を印加することにより誘電体間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体は３つ以上であり、誘電体の配列方向における端部以外の少なくとも１つの誘電体において、導電体は、その少なくとも一部が誘電体の配列方向に平行に配列された複数の導電体層からなり、複数の導電体層が内部に配設された誘電体において、他の誘電体に対向する表面と該表面に隣接する導電体層との間の距離は、複数の導電体層のうち両端の導電体層の間の距離よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】中央部の放電空間における温度上昇を抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体３と、該各誘電体３の内部に配設された導電体５とを有し、導電体５間に電圧を印加することにより誘電体３間の放電空間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体３が４つ以上であり、誘電体３の配列方向における中央部の放電空間を挟んで対向する導電体５間の対向面積は、誘電体３の配列方向における端部の放電空間を挟んで対向する導電体５間の対向面積よりも小さい。 （もっと読む）

二酸化炭素を非熱プラズマ雰囲気中で炭素と酸素に分解する二酸化炭素のプラズマ分解装置及び方法が開示されており、当該装置は、二酸化炭素の流入口及び炭素と酸素の排出口を有する二酸化炭素分解反応器と；前記反応器内に配置されて長さ方向に伸長する棒状の複数の陽極と；前記反応器内の複数の陽極内に配置されて長さ方向に伸長する棒状の複数の陰極と；前記複数の陽極と前記複数の陰極との間に所定の電圧を印加する電源と、を含む。 （もっと読む）

【課題】プラズマ均一性を改善したプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】ＲＦ接地リターン電流は、バイパス電流路を提供することにより、リアクタチャンバの非対称なフィーチャーからは迂回されている。１つのバイパス電流路は、チャンバ床のポンピングポート１６２を排除するものであり、側壁から接地台座ベースまで延在する導電性の対称グリル２００を含んでいる。他のバイパス電流路は、ウェハスリットバルブを排除するものであり、スリットバルブ１２８の占める側壁部分を橋架けする列をなす導電性ストラップを含んでいる。 （もっと読む）

流体分子を液体状態から蒸気状態に変換する装置１０２および方法であり、この流体は人為的結合角を有する。本装置１０２は、抵抗−コンデンサ（ＲＣ）回路と、ＲＣ回路および流体を収容するチャンバ２０２と、電力をＲＣ回路に供給するための電源２１０とを備える。ＲＣ回路は、アノード２０４、カソード２０６、および複数の実質的に平行な導電プレート２０８を備える。ＲＣ回路を通る電流は、蒸気状態の分子の結合角を変更する周波数を生成する。人為的結合角を有するこれらの分子１００を点火すると、これらの分子を再び通常の結合角に戻して、有毒もしくは有害なガス、温室ガスを放出することなく、または大気と少しも相互作用することなくもしくは大気中の酸素を少しも消費することなく、数多くの異なる用途で利用され得るエネルギーの放出を伴う。例えば、人為的結合角を有する分子１００は、自動車両１８００に動力供給するために機関１４００の中で使用され得る。
（もっと読む）

【課題】 紫外線照射窓を構成する長尺な窓枠構造体の熱変形によりもたらされる窓ガラスの破損の可能性を低く抑えた紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 窓枠構造体の灯体部を臨む側の表面上に長手方向に沿って密着させて配置した冷却水配管に、両端部よりも中央部で流量が多くなるようにして通水して窓枠構造体を水冷すると共に、空気をこの冷却水配管に直交する方向で冷却水配管表面に接触させながら流通させて空冷する。冷却水配管経路は、冷却水が最初に配管中央部に流入し、そこで水流が分岐し長手方向両端部に向かって流出するように構成した。 （もっと読む）

【課題】アーク放電を行なわずに均一な粒子径を有する無機微粒子を提供すること。
【解決手段】無機微粒子を構成する無機材料をチャンバー２内で懸架し、チャンバー２内を１０^−５〜１０^−３Ｐａに減圧し、不活性ガスをチャンバー２内に導入してチャンバー２内の圧力を１００〜５００００Ｐａに調整した後、無機材料を通電加熱する無機微粒子の製造方法、および無機微粒子を製造するためのチャンバー２が外部空間と遮断して設けられ、チャンバー２内で無機材料を懸架し、通電加熱するための導電性懸架材Ａ３および導電性懸架材Ｂ４が懸架されてなり、チャンバー２の内部空間を減圧するための減圧管５およびチャンバー２の内部空間に不活性ガスを導入するための不活性ガス導入管６がそれぞれチャンバー２の内部空間と接続されている無機微粒子の製造装置。 （もっと読む）

【課題】 ピンホールの加熱を防止するとともに、差動排気装置における排気ポンプにかかる負荷を軽減することができるエネルギ線照射装置を提供する。
【解決手段】 エネルギ線ＥＢを発生する発生部１１と、被照射体に向かって開口するとともに、エネルギ線ＥＢが内部を通過する複数の貫通孔２１，２２，２３と、複数の貫通孔２１，２２，２３が一体に形成された照射部１２と、複数の貫通孔２１，２２，２３と連通され、排気することにより複数の貫通孔２１，２２，２３の内部に圧力勾配を形成する差動排気部４と、が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】本発明はCOx及びNOxを封鎖する手段を提供するもので、COxを酸素(O2)に変換する藻手段、硫化物を元素硫黄に変換する生物学手段を具えている。本発明は、藻、従属栄養生物、通性バクテリア及びチオバチルスを含んでいる。光ファイバーは、光子を生物学的リアクターに供給する光子移送手段である。本発明は、生物学的リアクター手段の中で藻を吸着する能力を有する。本発明は、エネルギー管理手段を具えており、あらゆる環境で用いられることができ、光子源が利用可能であり、光源を利用できないとき、光子源発生手段を具えている。 （もっと読む）

【課題】大容積中の液体を省エネルギーでプラズマ処理する液体中プラズマ発生装置の提供。
【解決手段】液体中プラズマ発生装置１内に、被電気分解溶液（電解質溶液）５を電気分解するための対向する直流電圧印加用電極３の一対と、その単電極の一つおよび電気分解によって発生した気泡６−１の双方に接着するように配置された誘電体で被覆された交流電圧印加用電極４が電解質溶液５中浸漬し、交流電圧印加用電極４からの交流電圧印加により直流電圧印加用電極３を固定電極として誘電体バリア放電が励起され、プラズマが気泡６−１内に生成される。 （もっと読む）

制御された温度の下で化学反応を実施するための方法と装置を記載する。本発明によって提供される装置は、１つの実施形態において、ハウジングの内部容積内に配置される反応チャンバーを保持するために寸法取りされたハウジングを含む。反応チャンバーは、第１の温度においてその中で内部容積を規定する熱伝導性の内面および外面を有する。装置は前記の嚢に入る第２の温度にある少なくとも１つの温度制御物質も含み且つ前記温度制御物質を排出し、嚢は拡張して前記反応チャンバーの前記外面の少なくとも一部に相当接触し、前記温度制御物質反応チャンバーの前記内部容積の熱交換を可能にする。
（もっと読む）

【課題】空間内を通過する流体のプラズマ反応を高めることができるとともに、構造体の破損を抑制することができる構造体およびこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】平板状の第１電極３を有する第１電極部１と、平板状の第２電極４を有するとともに、主面が第１電極部１に対向して配設される第２電極部２と、第１電極部１と第２電極部２との間に空間８が形成されるように、第１電極部１と第２電極部２とを保持するスペーサ部７とを備え、空間８に流体が流れるとともに、第１電極部１は、スペーサ７部の流体の流れの上流側における側面１ａよりもさらに上流側に突出している突出領域９を備えている。 （もっと読む）