【課題】 基体の熱設計の自由度が高いマイクロ流路体を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路体１は、基体２の内部に、流体が流通される流路２ａを有し、流路２ａに沿って面が対向するように基体２内部に金属層３が設けられている。金属層３の形成されている箇所において熱伝導率を異ならせることができ、熱伝導率の異なる箇所を適宜に設置することで、熱設計の自由度が高いマイクロ流路体１を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 雰囲気中の水分との接触を抑制し、高湿度雰囲気下でも安定して放電することができ、低出力（低電圧）でかつ安価に高濃度のオゾンおよびマイナスイオン(アニオン)を発生し得る電極材を提供する。
【解決手段】 導電性線状材により構成される網目状部材からなり、前記導電性線状材が、チタンからなる線状中心部と、線状中心部外周の少なくとも一部を被覆する酸化チタンからなる外周部とを有することを特徴とする電極材である。 （もっと読む）

【課題】３次元の微細流路の形成が容易で、流路の必要な箇所に触媒を担持させることができる微細流路構造体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】この微細流路構造体１は、ターゲット基板２に、第１および第２のパターン層３Ａ，３Ｂを積層状態で接合し、各パターン層３Ａ，３Ｂに形成された開口が連通して３次元の流路を構成し、各パターン層３Ａ，３Ｂの上面に触媒担持層４を形成し、流路に露出した触媒担持層４の部分に触媒５を担持させたものである。 （もっと読む）

本発明は、マイクロ流体システムのマイクロチャネル（１６）の壁（１５）の内側表面（１４）に第１の場所で位置する複数の線毛アクチュエータ要素（１０）を有するマイクロ流体システムを提供する。マイクロ流体システムは、更に、マイクロチャネル（１６）の中心線に関して第１の場所の実質的に反対の第２の場所でマイクロチャネル（１６）の壁（１５）に組み込まれた、少なくとも１つの導線（１７）によって形成される磁場発生器を有する。本発明は、また、このようなマイクロ流体システムを製造するための方法と、このようなマイクロ流体システムのマイクロチャネル（１６）を通じる流体流れを制御する方法とを提供する。 （もっと読む）

【課題】反応滞留時間の精度を向上させることができ、目的生成物の収率の向上を図ることができるマイクロリアクタを提供する。
【解決手段】流体を加熱反応させるマイクロリアクタにおいて、流体が流通する微細流路を形成する複数の配管１と、配管１より熱伝導率の高い例えば均熱プレート５及び支持プレート４等を介し複数の配管１を加熱する加熱器２と、加熱器２と接触しないように隣接して設けられ、加熱器２で加熱された複数の配管１の周囲に冷却媒体を流通させる冷却器３とを備える。 （もっと読む）

【課題】有機溶液を分解して無害化する有機溶液分解装置と有機溶液分解方法の提供。
【解決手段】本発明は、有機溶液が供給される反応容器（１１）と、前記反応容器内に配設された複数の導電体ブロック（１２１）で構成され、各導電体ブロックには金属塩が付けられたブロック群と、前記導電体ブロック間にマイクロ波放電を生じさせるようマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段（１３）とを備え、金属プラズマにより有機溶液を揮発分解させることを特徴とする。 （もっと読む）

エアロゾル（煙霧質）粒子の静電沈着（ＥＳＤ:静電放電）に有用なシステムおよびエアロゾル粒子の基板への静電沈着方法が開示されている。本発明による静電放電システムおよび方法は、粒子生成機を用い、気相合成によって生成されるナノ粒子を基板上に静電的に堆積するために有用である。直流電流は本システムにおいてコロナ漏出を最小限に抑えて用いられうるものであり、これはさもなければ、粒子生成機に損傷を与えたであろう。
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物体の衝撃による機械的エネルギーを電気的エネルギーへと転換するためのデバイスであって、フレームを備えており、フレームには、少なくとも第１の長手方向端部（４）と第２の長手方向端部（８）とによって膜（２）が懸架されており、膜（２）は、膜の中央平面に対して実質的に横断する方向に、物体によって衝撃が与えられるようになっており、膜（２）は、第１の長手方向端部（４）から第２の長手方向端部（８）まで延在している機械的エネルギーを電気的エネルギーに変換するための材料から形成されたコア（１２）と、コアの第１の面における少なくとも一つの電極（１４）ならびにコア（１２）の第２の面における少なくとも一つの電極（１６）とを備えており、電極（１４）は、第１の長手方向端部（４）から第２の長手方向端部（８）まで延在している。
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【課題】容器内に入れられた少なくとも１つの試料がカバー手段によってカバーされて、試料又は試料の成分の起こり得る蒸発を避け又は最少化する装置の提供。
【解決手段】本発明は、試料又は反応混合物内に存在するかも知れない蒸発可能な物質の蒸発及び／又は凝縮、特に、容器又は容器の列の周縁における物質の蒸発又は試料が入れられている反応容器又はプレート／ブロックの蓋及び／又は覆うための手段における物質の蒸発を避け又は最少化するのに適した１以上の試料を覆うための手段に関する。これは、とりわけ、静的な剪断力に耐えることができずに剪断力の作用によって連続的に変形する少なくとも１つの媒体又は物質を含んでいる力分配ユニットを備えている装置を提供することによって達成される。好ましい実施形態においては、この媒体又は物質は、気体、剪断力である。 （もっと読む）

【課題】 アーク放電量が多く、処理量の大幅な増大を図ることができる放電分解炉の構造を提供する。
【解決手段】 路本体内の通路部２３に、放電電極棒Ａ１〜Ａ４と、回転手段により回転する電通棒Ｂ１〜Ｂ６と、加重棒Ｃ１〜Ｃ３とから構成される上段の放電部３０と、放電電極棒Ａ５〜Ａ７と、回転する電通棒Ｂ７〜Ｂ１０と、加重棒Ｃ４、Ｃ５とから構成される下段の放電部３１を設け、放電電極棒と電通棒との間、電通棒相互の間および電通棒と加重棒との間にそれぞれ発生したアーク放電のエネルギによる放電熱により処理対象物を熱化学分解する。従って、処理量がかなり多くなり、しかも、容量の増大を図れ、より処理量の増大を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、マイクロ流体デバイスを局所的に温度制御することである。
【手段】温度制御する部位の近傍に開口部を備えるマイクロ流体デバイスにより、マイクロ流体デバイスを局所的に温度制御することが可能になる。また、本発明は、マイクロ流体デバイスの開口部に、熱交換流体を導入あるいは熱交換部材を挿入する工程と、該熱交換流体または該熱交換部材を介してマイクロ流体デバイスと熱交換を行う工程とを含む、マイクロ流体デバイスの温度制御方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、１つ以上の伝熱部分と、各伝熱部分の入口に連結されるかまたは各伝熱部分の出口に連結されるか、あるいは各伝熱部分の入口および出口に連結された１つ以上の調整弁とを有する分割伝熱板、分割流れモジュール、または分割プレート反応器であって、各伝熱部分が、少なくとも１枚のフロープレート内のプロセス流の主流れ方向に対して９０度の角度、または分割流れモジュール内のプロセス流の主流れ方向に対して９０度の角度、または分割プレート反応器内のプロセス流の主流れ方向に対して９０度の角度に位置する、分割伝熱板、分割流れモジュール、または分割プレート反応器に関する。本発明は、分割伝熱板、流れモジュール、またはプレート反応器内の温度を調整する方法にも関する。
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【課題】比較的簡単な構成で、ワークの処理面の形状に拘わらず、その形状に対応してプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、第１の電極２と、ワーク設置部２１の第１の電極２の対向側に位置し、外周面が前記ワーク設置部２１に設置されたワーク１０の処理面１１に対面するように設置され、中心軸を回動軸として回転可能な円筒状の第２の電極３とを有し、発生したプラズマにより処理面１１を処理するものであり、第２の電極３は、その外周面に、周方向に沿って、有効電極領域３１ａの幅が変化している部分を有し、この第２の電極３を、その中心軸を回動軸として回転させることにより、処理面１１と対面する有効電極領域３１ａの幅が変化するよう構成され、ガス供給手段５により、有効電極領域３１ａの幅の大きさに応じて、処理ガスを供給する幅も変化するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、概して、プラズマリアクタにおいて、大面積基板に必要な容量性デカップリングを提供する装置及び方法を提供する。
【解決課題】本発明の一実施形態は、プラズマリアクタにおいて用いるための基板サポートを提供する。プラズマリアクタは、大面積基板の裏面と接触するための複数の隆起領域のある上面を備えた導電性本体を有している。複数の隆起領域は、上面の表面積の約５０％未満を占める。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成を低電圧で安定して行うことのできるプラズマ生成装置、およびこのプラズマ生成装置を用いた表面処理装置、表示装置、流体改質装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置１０は、導体線４と絶縁層５からなる第１絶縁被覆線１と、導体線６と絶縁層７からなる第２絶縁被覆線２とを撚り合わせた撚線構造からなるプラズマ生成部８を設け、両絶縁被覆線１，２間に交流電圧を印加することで、両絶縁被覆線間１，２に生じる微小な隙間においてプラズマＰを生成する。 （もっと読む）

マイクロ流体装置を作製する方法であって、第１および第２の基板を提供し、第１の基板上に第１のフリット構造を、および、第２の基板上に第２のフリット構造を形成し、第１および第２の基板を、接面を互いの方向に向けて、一緒に固定し、前記第１および第２の基板の間に、固結されたフリットで画成された凹部、および、固結されたフリットで囲まれた凹部を形成する方法であって、ここで、第２の基板が、内部に少なくとも１つの予備形成された貫通孔を有し、第２のフリット構造を形成する工程が、前記基板並びに第１および第２のフリット構造を一緒に固結する際に、前記凹部を囲む固結されたフリットに接続する、固結されたフリットの内部表面を有する貫通孔を生じるのに十分な薄さで、前記貫通孔の内部表面を被覆する、前記貫通孔内のフリット層を形成する工程を含むことを特徴とする方法。
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【課題】 可視光や紫外光等によって影響を受けることなく、試料に照射された電子線エネルギーを正確に測定することのできる電子線照射システムを提供する。
【解決手段】 電子線照射システムにおいては、チャンバ２に収容された試料４に電子線Ｅを照射し、その試料４に照射された電子線エネルギーを、電子線検出器７によって測定する。このとき、電子線検出器７の検出面７ａを、導電性遮光膜７ｂで覆うことにより、当該電子線検出器７にて電子線Ｅを検出する際に、チャンバ２内における可視光や紫外光等から影響を受けることを防止する。これによって、試料４に照射された電子線エネルギーを正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】高機能性薄膜を、大面積へ均一に、生産性高く、且つ、高性能に形成する薄膜形成方法、該薄膜を有する物品、光学フィルム、および、それを達成するための誘電体被覆電極およびプラズマ放電処理装置を提供する。
【解決手段】導電性母材を誘電体で被覆した角柱型の誘電体被覆電極であって、前記誘電体の空隙率が１０体積％以下であることを特徴とする誘電体被覆電極 （もっと読む）

【課題】エンジン排ガス中に過剰の酸素が存在する場合でも、低温作動でかつ少ない消費電力で高効率に窒素酸化物を浄化できる電気化学リアクターを提供する。
【解決手段】被処理物中の窒素酸化物に対して電気化学反応を行うための素子を有する電気化学リアクターであって、イオン伝導体及び電極より構成される基本セル構造を有し、当該電極上又は電極内に窒素酸化物の吸着能を有する吸着材を配設した化学反応部を構成したことを特徴とする電気化学リアクター、窒素酸化物の吸着能を有する窒素酸化物吸着性複合材及び／又は窒素酸化物吸着物質、第１の電極、酸素イオン伝導性を有する固体電解質、及び第２の電極で形成され、最表面の片面もしくは両面に直接又は窒素酸化物選択還元触媒を介して窒素酸化物吸着性複合材を配置した、電気化学リアクター。 （もっと読む）

【課題】安価且つコンパクトな構成で大口径のビームを被処理物に照射することができると共に高い中性化率を得ることができ、チャージフリー且つダメージフリーな中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の中性粒子ビーム処理装置は、被処理物Ｘを保持する保持部２０と、高周波電圧の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことにより、真空チャンバ３内に正イオンと負イオンとを含むプラズマを生成するプラズマ生成部と、真空チャンバ内であって、プラズマ生成部と被処理物との間に配置され、プラズマから放出される紫外線を遮蔽するオリフィス電極４と、真空チャンバ内にオリフィス電極に対して上流側に配置されたグリッド電極５と、オリフィス電極とグリッド電極との間に電圧を印加することで、プラズマ生成部により生成されたプラズマから正イオンと負イオンとを交互に引き出すバイポーラ電源１０２とを備える。 （もっと読む）