【課題】本発明は、低コストにて、高温処理を必要とせず、高品質（結晶性の良い）酸化マグネシウム絶縁膜を成膜する技術を提供する。
【解決手段】本発明では、金属源を含む溶液（４）をミスト化させる。一方、酸化マグネシウム絶縁膜が成膜される基板（２）を加熱する。そして、加熱中の基板の第一の主面上に、ミスト化された溶液を経路（Ｌ１）にて供給すると共に、オゾン発生器（７）で生成されたオゾンを経路（Ｌ２）にて供給する。ここで、金属源はマグネシウムである。 （もっと読む）

炭酸カルシウム粒子及び顔料粒子を含む顔料粒子組成物，その製造方法並びにその使用。本発明によれば，炭酸カルシウム粒子を相互に結合するように炭酸塩化し，この場合顔料粒子を含み，実質的に不透明で安定な顔料−炭酸カルシウム凝集体を形成する炭酸カルシウム構造体を生成する。水酸化カルシウム含有顔料スラリーを二酸化炭素含有ガス内に噴霧することによって上記組成物を製造することが可能であり，この場合相互に結合すべき水酸化カルシウム粒子を沈降させるために水酸化カルシウムを炭酸塩化し，実質的に全ての水酸化カルシウムが炭酸カルシウムに転換するまで炭酸塩化を継続する。かかる組成物は，特に，塗料，被覆材料，充填材，ポリマー及び印刷インキでの使用に適している。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ量産化が可能なナノサイズの金属酸化物粉末の製造システムおよび製造方法ならびに該製造方法によって得られた金属酸化物粉末を提供する。
【解決手段】金属酸化物前駆体溶液を噴霧する工程、噴霧された金属酸化物前駆体溶液をパルス燃焼ガスに接触させると同時に高温雰囲気下に接触させる工程からなる金属酸化物微粒子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 安定した火炎の形成が可能となるバーナによって、安定した品質の微粒子が作製できる微粒子製造装置を提供する。
【解決手段】 主炎孔より反応容器１内に火炎ＫＥを吹き出すとともに主炎孔の周囲に配置した補助炎孔により火炎ＫＥの根元に補助炎ＫＨを形成するバーナ２と、微粒子の原料物質を含む原料流をバーナ２の火炎ＫＥによる高温雰囲気の反応空間ＨＫに噴出する原料噴出手段４と、前記噴出される原料流を覆うように反応気体流を噴出する気体噴出手段５を設け、火炎ＫＥの吹き出し方向と原料流の方向を交差させるとともに、原料噴出手段４から広がりながら噴出する原料流の外周部に火炎ＫＥの先端部を近接位置させる。 （もっと読む）

アルミナ粒子、及びアルミナ粒子を含む組成物が開示される。アルミナ粒子を製造する方法及びアルミナ粒子を使用する方法も開示される。
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【課題】層間絶縁膜平坦化、シャロートレンチ分離形成、金属埋め込み配線形成等のＣＭＰ技術において、酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷を発生させずに短時間でＣＭＰが実施できる微粒子、研磨材、及びそれを用いた基板の研磨方法、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】金属化合物を含有する溶液を微細に液滴化し、該液滴を３００℃以上で加熱処理することによって作製された結晶の歪が３％以下であることを特徴とする金属酸化物微粒子。 （もっと読む）

本発明は向上したフレーム溶射熱分解（ＦＳＰ）プロセスを用いた金属粉末、非酸化物性セラミック粉末及び還元された金属酸化物粉末の製造に関する。本発明は更に、該プロセスに特に適合される装置、該プロセスにより得られる粉末／ナノコンポジット及び該粉末／ナノコンポジットの使用に関する。 （もっと読む）

【課題】酸化セリウムの粉末、該粉末の製造方法および該粉末を含有する分散液を提供する。
【解決手段】
− 酸化セリウム粉末は２５〜１５０ｍ²／ｇのＢＥＴ表面積を有し、
− 一次粒子は５〜５０ｎｍの平均直径を有し、
− 一次粒子の表面付近の層は約５ｎｍの深さを有し、
− 表面付近の層中でカーボネート濃度は表面から内部へ向かって低下し、
− カーボネート基に由来する炭素含有率は表面上では５〜５０面積パーセントであり、かつ表面付近の層中では約５ｎｍの深さで０〜３０面積パーセントであり、
− 酸化セリウムの含有率は粉末に対して少なくとも９９．５質量％であり、かつ
− 炭素の含有率は粉末に対して０．０１〜０．３質量％である。
【効果】分散液は付加的な添加剤がなくても十分に安定しており、中性ないし弱アルカリ性の範囲で化学的機械研磨のために使用することができる。 （もっと読む）

【課題】微細かつ均一な粒径を有する品質の高い微粒子を高い生産性で得ることができる微粒子の製造方法および装置を提供すること。
【解決手段】任意の処理により生成された１次微粒子を、少なくとも１つ以上のサイクロン内に導入することにより、冷却と、任意に規定された粒径での分級とを実施し、分級により、前記粒径以上の粒径を有する粗大粒子を除去し、粗大粒子が除去された２次微粒子を回収することを特徴とする微粒子の製造方法、並びにこれを具体化した装置。
なお、前記１次微粒子を生成する処理において、前記微粒子製造用材料を蒸発させ気相状態の混合物とした後、この混合物を急冷するのに十分な供給量で、気体を、前記熱プラズマ炎の尾部（周端部）に向けて供給することも好ましい。 （もっと読む）

１００ｎｍ以下の微小なサイズの分離された炭酸カルシウム粒子で形成された炭酸カルシウム製品の製造方法および装置。ピン粉砕機の原理に基づいて作動する粉末化および噴霧装置１４を経由して、水酸化カルシウムを、炭酸カルシウム粒子を沈降させるために沈降反応器１０の内側にある二酸化炭素を含むガス中に供給する。該沈降反応器中の温度は、６５℃以下に保持する。
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有効且つ刺激の弱い新規アルミニウム-ジルコニウム制汗剤組成物が、活性化アルミニウム成分への少量のAlCl₃及び/又はHClの添加によって提供される。希釈された塩基性アルミニウムクロロハイドレート溶液の加熱及び室温までの冷却、少量のAlCl₃又はHClとの混合、及びそれに続くジルコニウムグリシン複合体との反応の後に、アルミニウム-ジルコニウム塩が最大量の解重合されたアルミニウム及びジルコニウム種を有して製造される。希釈及び活性化されたアルミニウムクロロハイドレート溶液への少量のAlCl₃又はHClの添加は、活性化ACH溶液の解重合を促進し、及びジルコニウムグリシネートの添加により、該溶液はさらに解重合され、及びより弱く重合されたジルコニウム種を形成する。
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