具体的にはプロピレンではない、炭素含有ガスのプラズマ重合によって高度架橋ポリプロピレン材料を製造する方法が開示され、高度架橋ポリプロピレン材料は、低い比誘電率、高い熱安定性、及び強化された機械的特性を示す。前記方法及び材料は、マイクロチップ製造における層間誘電体堆積の用途に適しているが、これに限定されない。 （もっと読む）

【解決手段】Ｃ_p−Ｏ−Ｃ_q（但し、ｐ、ｑは炭素数を表わし、２≦ｐ≦６、２≦ｑ≦６であり、各炭素鎖には酸素原子と共役する不飽和結合を含まない）結合を含有する炭素数４〜８の直鎖状又は分岐状の酸素含有炭化水素鎖で結合された２個以上のケイ素原子を含有し、かつ該２個以上のケイ素原子はいずれも１個以上の水素原子又は炭素数１〜４のアルコキシ基を有するプラズマＣＶＤ法によるＳｉ含有膜形成用有機シラン化合物。
【効果】従来、疎水性を向上させようとした場合には成膜速度に犠牲を払ってきたが、本発明のプラズマＣＶＤ法によるＳｉ含有膜形成用有機シラン化合物によれば、膜の疎水性と誘電率特性を確保した上で、成膜速度の低下を抑制することができる。
また、本発明のプラズマＣＶＤ法によるＳｉ含有膜の成膜方法を多層配線絶縁膜の成長方法として利用することにより、配線信号遅延の少ない半導体集積回路を安定して製造することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸気がサイトグラスに吹きつける条件下でもサイトグラスが曇らない反応装置を提供する。
【解決手段】反応装置１は、反応槽２壁面の反応溶液Ｌの液面よりも上方の位置に設けられたサイトグラス７と、サイトグラス７の反応槽２内部側であって反応溶液Ｌの蒸気にさらされる内部露出面に向かって開口し、当該内部露出面に気体を放出する開口部を有している曇り防止部材８とを備えているので蒸気がサイトグラス７に吹きつける条件下でもサイトグラス７が曇らない。 （もっと読む）

【課題】 基板上に共役ポリマーを含む被覆を作るための方法を提供する。
【解決手段】 この方法は基板を準備し、共役ポリマー被覆形成物質を大気圧プラズマ放電中にまたはそれからもたらされる反応性ガス流中に導入し、被覆形成物質の導入と同時に、追加の物質を前記プラズマ放電中またはそれからもたらされる反応性ガス流中に導入し、基板を前記プラズマ放電またはそれからもたらされる反応性ガス流に露出し、それにより前記被覆を得ることを含む。 （もっと読む）

【課題】固相重合によるペットボトルの再生処理において、処理効率を向上させる。
【解決手段】内部に窒素ガス雰囲気を保持する、密閉された処理ハウジング１と、固相重合すべき樹脂材料Ｍを、処理ハウジング内に導入し、処理ハウジング内を通過させて搬送した後、前記処理ハウジングから排出する第１ベルトコンベヤ２と、処理ハウジング内における樹脂材料の搬送経路の途中に設けられた反応領域３に高周波を適用する第１高周波発生手段４と、処理ハウジング内の反応領域の温度を検出する第１温度センサー６と、第１温度センサーからの検出信号に基づき、第１高周波発生手段の動作を制御し、反応領域において樹脂材料が高周波加熱によって固相重合するようにする第１制御手段５を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は尿素−過酸化物複合体のような実質的に非水の有機過酸化水素複合体から放出された過酸化水素蒸気を使用する、医療器具および同様の装置の過酸化水素蒸気滅菌装置および方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明においては、場合によりプラズマを蒸気と共に使用することができる。さらに、実質的に非水の過酸化水素複合体の製造法もまた提供される。これらの複合体は過酸化水素蒸気滅菌器の過酸化物蒸気源として、また自己滅菌包装材料の成分として有用である。 （もっと読む）

【課題】有機モノマーを反応ガス中に材料ガスとして含ませてプラズマによる重合を行う事により、特性が優れた薄膜のハードマスクを形成する。
【解決手段】容量結合式のプラズマCVD装置により半導体基板上に炭化水素系ポリマー膜を形成する方法において、ビニル基、アセチレン基で置換されていない沸点約２０℃〜約３５０℃の炭化水素系液体モノマー(C_αH_βX_γ、α，β：５以上の自然数，γ：0を含む整数、X：O、N、またはF) を気化させる工程、該気化したガスを基板が置かれたCVD反応室に導入する工程、及び該ガスをプラズマ重合させることにより該基板上に炭化水素系ポリマー膜を形成する工程、を包含する。 （もっと読む）