Fターム[4J100AU27]の内容
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レジストパターン形成方法
【課題】本発明の目的は、感度を十分に満足し、かつEL、DOF、CDU及びMEEFに優れる感放射線性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、有機溶媒が80質量%以上の現像液を用いるレジストパターン形成用感放射線性樹脂組成物であって、上記感放射線性樹脂組成物が、[A]酸解離性基を有する重合体、及び[B]感放射線性酸発生体を含有し、かつ上記有機溶媒で現像した場合のレジスト感度曲線から算出されるコントラスト値γが、5.0以上30.0以下であることを特徴とするレジストパターン形成用感放射線性樹脂組成物である。上記有機溶媒は、炭素数3〜7のカルボン酸アルキルエステル及び炭素数3〜10のジアルキルケトンからなる群より選択される少なくとも1種の有機溶媒であることが好ましい。
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フォトレジスト組成物
【課題】本発明の目的は、感度等の基本特性を満足し、MEEF、DOF、LWR等のリソグラフィー性能に優れ、さらには現像欠陥を抑制することができるフォトレジスト組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体、[B]酸発生体、及び[C]界面活性剤を含有するフォトレジスト組成物である。また[C]界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤であることが好ましい。さらに[C]界面活性剤は、フッ素原子又はケイ素原子を含むノニオン系界面活性剤であることが好ましい。
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活性光線硬化組成物及び活性光線硬化型インクジェット用インク
【課題】高速硬化が可能で硬化反応が停止しにくい活性光線硬化組成物の提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される塩基反応性化合物及び光塩基発生剤を含む活性光線硬化組成物。
上記式中、Aは脂環式構造又は複素環式構造を表し、置換基を有していても良い。前記複素環式構造が環構成原子として酸素原子を含む活性光線硬化組成物。更に光ラジカル重合開始剤を含む活性光線硬化組成物。更に、ラジカル重合性化合物を含む活性光線硬化組成物。前記ラジカル重合性化合物が多官能モノマーである活性光線硬化組成物。前記活性光線硬化組成物を含む活性光線硬化型インクジェット用インク。
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組成物、光学素子、レンズ、前記組成物の製造方法
【課題】 透明性であり、かつ、熱変形しにくい、すなわち、線膨張係数が低い組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 環状オレフィンポリマーと特定の構造を有する、架橋性重合体の架橋体との組成物。
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樹脂、レジスト組成物及びレジストパターン製造方法
【課題】優れたフォーカスマージンで、レジストパターンを製造できるレジスト組成物及び該レジスト組成物に有用な樹脂などを提供する。
【解決手段】以下の〔1〕及び〔2〕の提供。〔1〕式(aa)で表される構造単位を有する樹脂及び当該構造単位を誘導する化合物。
[式(aa)中、T1は、置換基を有していてもよい炭素数4〜34のスルトン環基。Raは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基。Z1は、*−X1−CO−(但し、X1は、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基)で表される基などを表す。]〔2〕前記樹脂と、酸発生剤と、溶剤とを含有するレジスト組成物。
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フッ素化化合物及びフッ素化ポリマーの製造方法
【課題】新規なフッ素化化合物及びフッ素化ポリマーの製造方法の提供。
【解決手段】2−クロロ−2,2−ジフロロアセトアルデヒドと、エチレンオキサイドとの反応によって製造される、下記式(4)で表されるフッ素化化合物の製造方法。
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フッ素化化合物及びフッ素化ポリマーの製造方法
【課題】新規なフッ素化化合物及びフッ素化ポリマーの製造方法を提供すること。
【解決手段】2−クロロ−2,2−ジフロロエタン−1,1−ジオールと、下記式(3)で表される化合物の少なくとも1種との反応によって製造される、下記式(4)で表されるフッ素化化合物の製造方法。式(3)中、Xは水酸基、フッ素原子、又は臭素原子を表す。
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燃料電池システム
【課題】高温条件下、かつ低加湿ないし無加湿条件下においても発電特性に優れる固体高分子形燃料電池を備えた燃料電池システムを提供する。
【解決手段】脂肪族環構造を有するペルフルオロモノマーに基づく繰り返し単位を有し、かつイオン交換基を有するポリマー(H)を触媒層に含む膜電極接合体10を有する固体高分子形燃料電池22と、固体高分子形燃料電池22の温度を調節する調温手段と、固体高分子形燃料電池22の温度を検知する温度センサ38と、温度センサ38からの温度情報に基づいて固体高分子形燃料電池22の最高温度が90〜140℃の範囲になるように調温手段を制御する制御装置40とを有する燃料電池システム20。
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熱可塑性ポリマー
【課題】透明性、耐熱性、光学等方性がいずれも高く、各種光学用途に応じた特性を十分に発揮できる、成形体を提供する。
【解決手段】本発明に係る成形体は、ラクトン環構造を有するポリマーを主成分として含む。本発明に係る成形体は、レンズ、フィルムまたはシート、好ましくは、光学用部材である。
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カルボン酸誘導体、カルボン酸誘導体の製造方法
【課題】含フッ素ポリマーの乳化重合における乳化剤として好適に使用することができるカルボン酸誘導体、及び、その製造方法を提供し、また、上記カルボン酸誘導体からなる界面活性剤、水性分散体、及び、含フッ素ポリマーの製造方法を提供する。
【解決手段】
下記一般式(I)
【化1】
(式中Rf1は、H、F、フルオロアルキル基、又は、フルオロアルコキシ基を示し、Rf2は、F、フルオロアルキル基、又は、フルオロアルコキシ基を示し、Mは、H、NH4、Li、Na又はKを示す。)で表されるカルボン酸誘導体。
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スルホニル化合物、スルホニル化合物の製造方法
【課題】含フッ素ポリマーの乳化重合における乳化剤として好適に使用することができるスルホニル化合物からなる界面活性剤、水性分散体、及び、含フッ素ポリマーの製造方法を提供する。
【解決手段】
下記一般式(I)
【化1】
(式中Rfは、H、炭素数が3〜6のフルオロアルキル基を示し、mは0または1を示し、Yはカルボキシル基又はスルホン酸基、及び、その塩を示す。)で表されるスルホニル化合物からなることを特徴とする界面活性剤。
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半導体レジスト樹脂の保護膜用樹脂及び半導体の製造方法
【課題】
本発明の目的は、耐水性に優れ、フォトレジスト樹脂層に均一な塗膜形成が可能であり、さらにアルカリ現像液で溶解処理が可能であるレジスト保護膜用樹脂及びその保護膜を使用した半導体の製造方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は分子中に環状酸無水物骨格を有する重合単位を少なくとも含む半導体レジスト樹脂の保護膜用樹脂を提供する。また、環状酸無水物骨格を有する重合単位が例えば、下記式(1A)及び(1B)
【化1】
(上記式(1A)及び(1B)において、R1及びR2は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を示し、nは0から3の整数を示す。)
のいずれかで表される重合単位などを含む半導体レジスト樹脂の保護膜用樹脂である。
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光機能材料
【課題】ルテニウム等の枯渇性がある原料を使わず、安定で、太陽エネルギーの変換効率の高い色素増感型の光電変換セル用の光電変換用増感色素を提供する。
【解決手段】下記一般式で示される光機能材料。
X−A2−N(−R1)−A1−C(−R4)=C(−R2)−R3
(式中、A1およびA2は、二価の有機残基を表す。R1はアルキル基、アルケニル基、アリール基、または、ヘテロ環を示す。R2およびR3は、水素原子、アルキル基、アリール基、または、複素環基を示す。R4は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、複素環基、ヘテロ原子を示す。Xは、酸性基を示す。)
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