【課題】ロータリーキルンにおいて、内部ガスの炉外への漏出を確実に遮断することのできるガスシール構造を提供すること。
【解決手段】例えばウエルツキルンプロセスに好適に用いられる、ロータリーキルンのガスシール構造であって、二重に設けられた摺動部間に形成されるシール空間に、好ましくは外気を導入する外気導入機構によって外気を導入するシール構造である。導入された外気が、シール空間を経て、第１摺動部を介して前記固定フード部内へ流入することにより内部ガスの炉外への漏出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】装入した被乾燥物が装入口からこぼれ出ることを抑制するためのロータリードライヤのシール装置を提供する。
【解決手段】装入口１２に取り付けられた回転側部材３１と、地上に対して固定された固定側部材３２とを備え、回転側部材３１は、その内周面がロータリードライヤ１の内部から外部に向かって狭まる截頭円錐面３１ａであり、固定側部材３２は截頭円錐面３１ａに接するように設けられている。回転側部材３１と固定側部材３２とで装入口１２の開口を狭くするので、被乾燥物Ｘがこぼれ出ることを抑制できる。被乾燥物Ｘが截頭円錐面３１ａの傾斜によりロータリードライヤ１の内部に戻される。被乾燥物Ｘが固定側部材３２を回転側部材３１に押し付け、固定側部材３２と回転側部材３１との間に隙間が生じないようになる。 （もっと読む）

【課題】ロータリーキルンの経年の熱影響に関わらず、回転側シール部材と固定側シール部材との間に効率良く且つ安定的に潤滑剤を供給可能とし、これらシール部材の延命化を確実に図れるロータリーキルンのシール装置を提供する。
【解決手段】シール装置の構成を、ロータリーキルンの固定部材４に取付けた円環状の固定側シール部材７と、ロータリーキルンの回転部材３に固定側シール部材７と対向するように取付け、固定側シール部材７の対向面に常時面接触した状態で回転部材３と共に周方向に回転する円環状の回転側シール部材８とを設け、上記固定側シール部材７が、上記回転側シール部材８と面接触してシールするシール面１１側に、固定側シール部材７と回転側シール部材８との間に潤滑剤を供給する複数の潤滑剤用供給溝１４、１５を設け、該供給溝１４，１５を、シール面１１の全周に亘り、シール面１１の内周方向と外周方向とに交互に曲折させた構造とする。 （もっと読む）

【課題】加熱室から熱媒体が流出するおそれや、加熱室内に外気が流入するおそれがなく、しかも設備コスト・ランニングコストの増加を抑えることができる横型回転式熱処理炉が備わる熱処理設備とする。
【解決手段】軸回りに回転する内筒１０及びこの内筒１０から所定間隔を隔てて同心状に設置された回転をしない外筒２０を有し、内筒１０及び外筒２０間が加熱室Ｒ１，Ｒ２とされ、この両端部が外筒２０から延出し、かつ内筒１０の外周面に及ぶ一対の側壁２１，２２によって閉じられ、加熱室Ｒ１，Ｒ２に流通される熱媒体Ｈ１，Ｈ２により被処理物Ｃ１が熱処理される構成とされた横型回転式熱処理炉１が備わる熱処理設備であって、加熱室両端部の内圧が加熱室外の外圧と同一とされている。 （もっと読む）

【課題】高精度なプロセス処理および高い安全性を実現することができる熱処理装置及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理装置１０は、基板を処理する反応管４２と、反応管４２を支持するマニホールド４４と、反応管４２の周囲に設けられ反応管４２内を加熱するヒータ４６と、ヒータ４６より下方の反応管４２の側方を囲うように設けられる囲い部５００と、囲い部５００と反応管４２との間の間隙５０６を強制排気する排気装置３０１と、反応管４２とマニホールド４４との間の当接部に設けられる密閉部材１５０と、を有し、囲い部５００には、排気装置が囲い部５００の外側の雰囲気を間隙５０６へ吸気する吸気口５０１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】円筒体を回転可能にシールするシール構造を設けることなく、簡単な構成で、被処理物を熱処理する際の処理雰囲気を保持する。
【解決手段】ロータリーキルンは、円筒体２、円筒体を回転する駆動手段３、円筒体を支持する支持手段４、および被処理物を加熱する加熱手段５を全て包囲し、これにより包囲された処理雰囲気を保持する気密機構を備える。この気密機構内において、円筒体２を回転させて被処理物を攪拌しながら加熱手段５により熱処理を行う。加熱手段５が気密機構内に包囲されるため、ロータリーキルン運転中は、気密機構内の温度が上昇する。そこで、ロータリーキルンは、チャンバー１０上面を外壁１０ａおよび内壁１０ｂからなる二重構造とし、この二重構造により形成される空間１０ｃ内に冷却水を循環させて、気密機構内の処理雰囲気を冷却する冷却手段を備える。 （もっと読む）

【課題】炉内の温度が低下してシール部分やスクリューケーシングにタール等が固着することを防止する回転式加熱処理装置を提供する。
【解決手段】被処理物を加熱処理する筒形加熱炉１０の一端部に、入口側ケーシングから投入された被処理物を通過させて筒形加熱炉１０内に送り込むためのスクリューコンベア２０が設置され、外側ケーシング２２がこのスクリューコンベア２０を覆っている。外側ケーシング２２における基端側寄りに、一対の熱風供給管２８Ａ，２８Ｂの一端がそれぞれ連結されて、一対の熱風供給管２８Ａ，２８Ｂが接続される。一対の熱風供給管２８Ａ，２８Ｂから、外側ケーシング２２と内側ケーシング２４との間の空間Ｓに、加熱された不活性ガスが供給される。 （もっと読む）

【課題】炉内の温度が低下してシール部分やスクリューコンベアなどに有機物等が固着することを防止する回転式加熱処理装置を提供する。
【解決手段】被処理物を加熱処理する筒形加熱炉１０の一端部に、入口側ケーシング１２から投入された被処理物を通過させて筒形加熱炉１０内に送り込むためのスクリューコンベア２０が設置され、このスクリューコンベア２０のスクリューケーシング３２の外周側に外側ケーシング２２が設置される。外側ケーシング２２の外周側に、外側ケーシング２２よりも大径であって外側ケーシング２２と同軸状に配置された熱風筒３４が配置されている。スクリューケーシング３２と外側ケーシング２２との間及び、外側ケーシング２２と熱風筒３４との間に、螺旋状に形成された案内羽根３６Ａ，３６Ｂがそれぞれ形成され、これらの間に存在する円筒状の空間を案内羽根３６Ａ，３６Ｂが螺旋状にそれぞれ区画している。 （もっと読む）

【課題】扉側のシャッタの構成の簡素化を図りつつ、炉口と扉との間の機密性を保つためのシールにおいて発塵が生じることを効果的に防止し、かつ、炉口と扉との間の機密性を長期間に亘って維持することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】 ＩＲ炉１０は、炉体１２および扉２０を備えている。炉体１２は、ワーク１５の搬入および搬出を行うための炉口を有する。炉体１２には、炉口を囲むように第１のシール部４０が設けられている。扉２０は、第１のシール部４０に対応する位置に配置された第２のシール部３０を備え、第１のシール部４０および第２のシール部３０を介して炉口を気密的に閉塞可能に構成される。第１のシール部４０は、断熱性および弾力性を有する第１の樹脂部材４２と、第１の樹脂部材４２を被覆するように構成された耐熱性を有する樹脂シート４４とを備える。第２のシール部３０は、耐熱性を有する板状の第２の樹脂部材３２を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、適宜的に、熱処理空間の内部の雰囲気を熱処理空間の外部に対して完全に独立させることが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】真空加熱炉１０は、真空容器１２、および真空容器１２に対して着脱可能な炉芯管３０を備える。真空容器１２は、炉芯管端部支持部２２、炉芯管導入部２５、挿通孔１９１を有する第１のマッフル蓋体１８２および第１の断熱材蓋体２０２、ならびに挿通孔１９３を有する第２のマッフル蓋体１８４および第２の断熱材蓋体を備える。第２のシール部３４は、炉芯管側フランジ部材３４８、真空用ベローズ３４２、およびガス流入出ユニット３５０を備え、炉芯管３０を真空容器１２に気密に接続可能にするように構成される。 （もっと読む）

【課題】外部の空気がロータリーキルンの内部に流入するのを防止しつつ、ロータリーキルンの内部のガスが外部に漏れるのを防止する。
【解決手段】回転しながら原料を移送する回転炉２と、その回転炉２の端部に設ける固定フード３との連結部に備えるロータリーキルン１のシール構造６において、回転炉２の端部外周に第１の筒状部材１１を設け、その第１の筒状部材１１の外径側に間隔をあけて対向配置される第２の筒状部材１３を固定フード３に設け、第１の筒状部材１１と第２の筒状部材１３との間にロータリーキルン１の内部１ａを密封するグランドパッキン１６を装着し、そのグランドパッキン１６の外部側の空間１８を、第１の筒状部材１１に外部側に向かって弾性変形して接触する第１のリップパッキン２４で密封し、その第１のリップパッキン２４の外部側の空間２６を、第１の筒状部材１１に内部側に向かって弾性変形して接触する第２のリップパッキン３０で密封する。 （もっと読む）

本発明は、巻鉄心（４）を焼鈍処理するための高温炉であって、該高温炉が、焼鈍台（２）と支持装置（３）とを備えており、該支持装置（３）が、巻鉄心（４）を焼鈍台（２）の上方に間隔を置いて同軸的に支持するための載置面（１７）を形成しており、前記高温炉が、焼鈍台（２）を支持装置（３）と共に同軸的に取り囲む保護フード（６）を備えており、該保護フード（６）が、保護ガス供給管路（１０）と保護ガス排出部とに接続されていて、円筒状の周壁（７）と、該周壁（７）を上方で閉鎖する丸天井（１６）とから成っており、前記高温炉が、焼鈍台（２）と保護フード（６）との間に設けられた全周にわたって延びるシール部材（９）と、保護フード（６）を間隔を置いて取り囲む加熱フード（１３）とを備えている形式のものに関する。均一な被焼鈍物加熱を可能にするために、本発明によれば、焼鈍台（２）からの支持装置（３）の載置面（１７）の高さ間隔（ｈ）によって規定された保護フード（６）の軸方向の周壁区分が、丸天井面の少なくとも３／４を成す面を有している。
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【課題】高温で熱処理が可能な熱処理炉を提供すべく、熱処理炉内の圧力変化があっても所定の熱処理雰囲気を維持可能となるエンドキャップ、及びそれを用いた熱処理炉を提供する。
【解決手段】シール面２０４を備えるシャッター部材により密閉可能な、熱処理炉の収容部の搬入口１０２に装着可能なエンドキャップであって、前記搬入口１０２の内周面に挿入される第１の挿入管部１２と、連接し一周する溝１５と、前記搬入口１０２にフランジ面１８で当接可能な第１のフランジ２０と、前記シール面２０４と当接してシール可能なフランジ面２５を備える第２のフランジ２４と、前記第１のフランジ及び前記第２のフランジの間の連結部に接続された炉内に連通する開口を備える排気管と、前記溝内に開口し、前記連結部から半径方向に突出するシールガス導入管と、を備えるエンドキャップ。 （もっと読む）

【課題】回転乾燥機において、回転部（回転ドラム）と固定部とのシールを確実に行いながら、シールプレート（メタルプレート）の摩耗を防止して長寿命化を実現して、かつシール部の消耗品等の交換作業を簡略化して保守費用のコストダウンを実現して、さらにシール性能を向上させた回転乾燥機を提供する。
【解決手段】シール部１０を設けた回転乾燥機１において、前記シール部１０が、前記回転部３の周囲に直交して固定された環状の第１シールプレート１１と、前記第１シールプレート１１を両側から挟持する２枚の環状の第２シールプレート１２を有し、更に、前記第２シールプレート１２の第１シールプレート側に円周状の溝部１３を設け、前記溝部１３にパッキン１４を設置して、前記パッキン１４が前記第１シールプレート１１と接触してシールする。 （もっと読む）

【課題】加熱時に付着性の物質を含むガスを生じる物質を処理する場合であっても、低コストで高度なシール性能を発現する回転式加熱処理装置を提供すること
【解決手段】内筒１０と、内筒１０の周壁回りに突設されたフランジ２０と、内筒１０の端部に接続された入口側ケーシング１２と、シール板３１と、シール板３１とフランジ２０とによって挟持されて、入口側ケーシング１２と内筒１０との接続部分をシールするパッキン４０と、パッキン４０よりも入口側ケーシング１２と内筒１０との接続部分寄りに配置されており、シール板３１とフランジ２０とによって挟持され、入口側ケーシング１２と内筒１０との接続部分をシールするメカニカルシールと、シール板３１、フランジ２０、パッキン４０、及びメカニカルシールによって囲まれる空間７０に不活性ガスを供給するガス供給手段とを、備える回転式加熱処理装置１とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造により炭化炉から乾留ガスが漏れ出るのを防止できる炭化装置を提供すること。
【解決手段】炭化装置は、混合物が供給される炭化炉２１と、炭化炉２１を貫通する搬送軸２６と、炭化炉２１に設けられ、搬送軸２６を回転可能に支持する軸受部２４と、を備え、炭化炉２１の炉体２２の内部で混合物を搬送しながらこの混合物を炭化する。軸受部２４には、炭化炉２１の外部からシールガスが供給されるチャンバ２４５が設けられ、このチャンバ２４５には、その内部と炉体２２の内部とを連通する隙間部２４７が設けられる。炭化炉２１には、チャンバ２４５の内部にシールガスを供給しこのチャンバ２４５の内部を炉体２２の内部よりも高圧にした際に、隙間部２４７を介して炉体２２の内部に導入されたシールガスを炉体２２の外部に排出する乾留ガス排出部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】レトルト内で熱処理した被処理物を収容容器に排出する際に、バルブ装置の流体シールが受ける熱の影響を少なくする。
【解決手段】熱処理装置としての回転レトルト炉１０は、加熱装置１２によってレトルト１１内で被処理物を熱処理し、その後、シャッター装置３２を閉じた状態で、姿勢変更手段１８によってレトルト１１を水平姿勢から垂直姿勢に姿勢変更し、シャッター装置３２より流通管２７内で被処理物を滞留させ、その後、シャッター装置３２を開いて被処理物を密閉容器１６に排出する。 （もっと読む）

【課題】筒状回転容器内の気密精度を著しく高めることができ、真空雰囲気下での粉体処理を極めて容易に行うことができる水平式回転容器形粉体処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の水平式回転容器形粉体処理装置１は、水平方向の軸を中心として回転可能に設置された筒状回転容器２と、筒状回転容器２に取り付けられ筒状回転容器２内の気体を排出するための真空雰囲気形成手段３と、筒状回転容器２の一端に設けられ粉体の供給口および排出口を構成する開口端４と、開口端４内に挿入されると共に筒状回転容器２の軸と同軸方向に移動可能に設けられた粉体供給管体５と、粉体供給管体５の外面において回転可能に取り付けられた回転弁６とを有し、回転弁６は粉体供給管体５の筒状回転容器２側への移動に伴って開口端４に当接して封止すると共に筒状回転容器２の回転に伴って回転可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 遮熱特性を低下させることなく大型化することが可能な扉を備えた熱処理装置を提供する。
【解決手段】ＩＲ炉１０は、炉体１２、扉２０、および駆動ユニット２８を備える。扉２０は、シャッタ２６およびメインフレーム２２を備える。シャッタ２６は、炉体１２の内部および外部を熱的に遮断する。また、シャッタ２６は、扉２０の長さ方向に沿って連続して配置された複数のシャッタ片２６２を有する。メインフレーム２２は、複数のシャッタ片２６２の少なくとも一部が長さ方向で移動自在になるようにシャッタ２６を支持するように構成される。また、メインフレーム２２は、駆動ユニット２８に接続されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも低コストでかつ簡易な構造で、チューブ内の２種類の流体の他方への混入を防ぐ流体混入防止装置を提供する。
【解決手段】 流体混入防止装置１４のチューブ１５ｂの壁面にはガスカーテンを形成するための不活性ガスを導入する第３成分流体導入口４が設けられ、第３成分流体導入口４の対面には不活性ガスを放出する第３成分流体放出口５が設けられている。
第３成分流体導入口４の周囲には流体遮断壁６が設けられ、流体遮断壁６には第３成分流体供給孔１３が形成されている。
このように、第３成分流体導入口４の周囲に流体遮断壁６を設ける構造とすることにより、流体遮断壁６も第１成分流体１６と第２成分流体１７の他方への流入を防止する。
そのため、不活性ガスの量を従来よりも減少させることができる。
また、流体遮断壁６は整流作用を有するため、極力乱流の発生を防止できる。 （もっと読む）