【課題】 加熱板一枚当りの実質的な重量軽減、使用電気容量の低減、分割・軽量による加熱板交換・組立の容易化、加熱板厚み低減による多段段数の確保を可能とした、熱板、複合熱板及びこれらを備えた加熱炉を、提供することを目的とする。
【解決手段】 中空部４を有する支持体５と、この支持体５の上面に積層される発熱体６と、この発熱体６の上に積層される伝熱体７とを備えた熱板１、さらに、中空部４が、上下２枚の支持層と、この支持層を保持する長手方向に走る梁３とに囲まれた熱板。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、現在稼働している設備をそのまま利用することも可能でありながら、地震による倒壊の可能性・倒壊による被害を小さくし、また、軽量・低コスト化を可能にする仕切壁を提供するものである。
【解決手段】 加熱炉の炉内を仕切る仕切壁の構造において、仕切壁全体の高さに対して上部少なくとも１／３の最上段部を、該最上段部より下の土台部を構成する材料よりも低いかさ密度からなる低密度材料で構成することにより、仕切壁の重量を軽くすることができ、地震による仕切壁、特に最上段部の倒壊の可能性を少なくすることができる。さらに、従来の耐火レンガより熱容量を小さくなるので、加熱炉の運転初期加熱でのコストを下げることができる。 （もっと読む）

【課題】扉の駆動手段としては、扉の上昇・下降駆動手段だけで、それ以外の駆動手段は特に必要がないシンプルかつ安価な構造の、真空浸炭炉の熱処理室の入口扉を提供。
【解決手段】ワーク５が入る熱処理室である冷却室２の前面の開口部６を閉じるようにシール部材 9、9を両面に配置した中間板12と、中間板12を鋏みかつシール部材 9,9の両面に接触可能に配置された２枚の外側入口扉1a及び内側入口扉1bと、を有し、外側入口扉1a及び内側入口扉1bは、直動軸受 14、14によりガイドされ、個別に上昇・下降可能にされている。中間板12は連通穴23を有し、外側入口扉1a及び内側入口扉1bが下降し中間板内周空間24を遮蔽する状態になったとき、中間板12の連通穴23を介して中間板内周空間24内を排気し、冷却室外の大気圧と冷却室２の内圧で外側入口扉1a及び内側入口扉1bを中間板12に押し付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】炉内の各構成部位における蓄熱を解消ないしは低減すると共に、排気に伴う輻射エネルギーの損失等を抑える一方、輻射エネルギーはできるだけ炉内に封じ込めて効率的に利用することができ、高温信頼性を確保しつつ実用に十分供することのできる熱輻射反射炉を提供する。
【解決手段】 内面に金膜が形成された耐熱管２と第１内管（石英管）３との間に、空気断熱層となる第１の間隙２１、第１内管３と第２内管（プロセスチューブ）４との間に第２の間隙２２がそれぞれ設けられている。第２の間隙２２内にはヒータ５だ配置されている。耐熱管２の外面は水冷ジャケット１に囲まれ、両者の間には、冷媒の通気路となる第３の間隙２３が設けられている。耐熱管２は水冷ジャケット１によって外面側から冷却され、その結果炉全体から外部へと放出される熱が冷却される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハ等の板状被加熱物の面内照度分布を半径方向で均一化し、照度分布がブロードになるまでの距離を短くすることができる熱処理装置を提供することにある。
【解決手段】 ランプ、抵抗ヒータ等の加熱サークル４を同心円状に配置した面状加熱装置１に対し、板状被加熱物５を対向させ且つ回転させるように構成し、板状被加熱物５の回転中心Ｃ２を、相対的に上記面状加熱装置の加熱源サークル群の円弧の中心Ｃ１からずらせ、板状被加熱物５が温度の異なる高低区域を通過する過程で板状被加熱物５の面内温度差が緩和されるように偏心させる。 （もっと読む）

【課題】
ロータリーキルン方式の熱分解装置の熱分解ガスまたは加熱空気を、大気に漏洩することを防止するための金属接触によるガスシールにおいて、シールに用いる材料の磨耗を低減できる材料を選定することである。
【解決手段】
固定リングと回転リングの金属接触によるガスシールにおいて、固定リングと回転リングに適用する材料の一方を、高硬度の材料となるように組み合わされた構成とすることにより、固定リング及び回転リングの金属接触による磨耗を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 土壌消毒装置の製造費及び維持費を低減することができ、回転ドラムの回転駆動を阻害することもない土壌消毒装置を提供する。
【解決手段】 土壌を収容して回転駆動される回転ドラム２と、回転ドラム２に土壌を供給する土壌供給機構３と、土壌供給機構３に駆動力を伝達する駆動力伝達機構４と、回転ドラム２内に収容された土壌を加熱処理する加熱装置５と、から土壌消毒装置１を構成する。複数の羽根状部材２１２を固着した攪拌移送部材２１を回転ドラム２の内壁面に螺着する。回転ドラム２の一端部に連結軸２６を固定し、連結軸２６に土壌供給機構３の支持軸３４の一端部を連結する。 （もっと読む）