【課題】開口、該開口を開閉する開閉部材のうちの一方に設けられ、導電性を有する外部電極と、該外部電極と離間し、前記外部電極に沿って設けられ、前記外部電極と電気的に絶縁された内部電極とを有したセンサに関し、省スペースのセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】内部電極２０７とセンサ本体（外部電極）２０１との間が、熱可塑性を有し、液体状態での流し込みにより形成される電気抵抗を有する導電性樹脂部２５１によって、電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】導線とリード線等との電気的接続強度を確実に維持できると共に、導線やリード線等の接続作業性を向上させることができる接触センサを提供する。
【解決手段】弾性変形可能な外側電極と、この外側電極の軸線上に配置された内側電極と、これら外側電極と内側電極との間に螺旋状に配索されたスペーサとを有し、外側電極の弾性変形に基づいてこの外側電極に異物が接触したことを検出する接触センサであって、外側電極の端末部に配置される端末処理装置５を備え、この端末処理装置５は、外部電極の外側導線や内部電極の内側導線が接続される導線接続部８と、外側電極内に挿入される挿入部７とを有し、挿入部７の外周面７ｂに、外部電極とスペーサとの相互位置関係を維持可能な螺旋溝部１０を形成した。 （もっと読む）

【課題】センサデバイスをパッケージ化する際に、製造コストを低減し、他の素子の仕様に合わせて接続関係を容易に変更でき、基板とパッケージとの接合の信頼性を向上させ、パッケージ化されたセンサデバイス全体の低背化を可能にするセンサデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１基板と、第１基板上に配置され、可動部を有するＭＥＭＳ素子と、ＭＥＭＳ素子の可動部の周辺に非連続に配置された第１支持部と、第１支持部に固定されて少なくとも可動部を覆う第２基板と、第１支持部よりも外側に配置された第１端子と、第１端子に電気的に接続されて、可動部の変位に基づく電気信号を伝達する第１配線と、を具備し、第１配線は、第１支持部の非連続な部位を通ることを特徴とするセンサデバイス。 （もっと読む）

【課題】可動部の反りが大きく、かつ検知感度の低下が抑制された半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】上面に凹部１００が形成された基板１０と、凹部１００内に配置された可動電極２１を有し、可動電極２１から離間した位置において基板１０に固定された梁型の可動部２０と、可動電極２１に対向して凹部１００内に配置され、可動電極２１と電気的に分離されて基板１０に固定された梁型の固定電極３０とを備え、可動電極２１と基板１０との間に、線膨張熱係数が互いに異なる半導体層２２１とキャップ層２２２とが積層された反り部２２を有する。 （もっと読む）

【課題】連結パターンを覆う絶縁膜の形成領域を最小化するタッチスクリーンパネル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される透明基板と、前記表示領域上に第１方向に多数配列された連結パターン１４４と、前記それぞれの連結パターン上に前記連結パターンの端部が露出するようにアイランド状で形成される絶縁層１３０と、前記露出した連結パターンの端部と接触して互いに電気的に連結され、前記第１方向に多数配列された第２感知セル１４２と、前記表示領域上で前記第１方向と交差する第２方向に多数配列される第１感知セル１２２と、隣接した前記第１感知セルを互いに連結し、前記アイランド状の絶縁層上に形成される連結部１２４と、前記非表示領域に形成され、前記表示領域の端部に位置する第１感知セル及び第２感知セルとそれぞれ電気的に連結される金属パターン１６０が含まれる。 （もっと読む）

【課題】感圧スイッチを操作するときに、操作感を明確に感じることができるようにして操作性を高め、強い力で無理に感圧スイッチを押す必要がなく、感圧スイッチの破損を防止することができるバウンダリーマイクロホンを提供する。
【解決手段】 ベースと、ベースに組み込まれ音声を電気信号に変換するマイクロホンユニットと、マイクロホンユニットの出力信号をオン・オフさせるメンブレン方式の感圧スイッチ１を備え、感圧スイッチ１は、回路基板２を覆うメンブレン４、回路基板２に形成されメンブレン４が接触することにより導通する電極パターン５を上面に形成している回路基板２、メンブレン４と回路基板２の間に挟まれているスペーサ３を有し、メンブレン４は、厚み方向に弾力性のある導電布である。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板上に導電膜によりセンサ板を設ける構造において、寄生容量の影響を無くし、人体の接触を確実に検知可能とする。
【解決手段】センサ本体部１０１は、拡散層３が形成されたシリコン基板２に絶縁膜４が積層形成され、その上にセンサ板５が配設されて樹脂パッケージ６により覆われた構成とされ、センサ板５には、第１の抵抗器２１を介して正弦波発振回路１４の出力が印加され、拡散層３には、正弦波発振回路１４の出力が直接印加され、樹脂パッケージ６へ対する人体の接触により生ずる第１の抵抗器２１の電位差が計装アンプ１０２により増幅され、比較器１５において所定の基準電圧を超えた場合に、人体の接触が生じたとする論理値Ｈｉｇｈに相当する電圧ＶＯＵＴが出力されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】高い感度で外力を検出することができるＭＥＭＳ装置を提供する。
【解決手段】基板５０と、基板５０上に配置された第１の支持部５１及び第２の支持部５２と、第１可動電極１１を有し、第１可動電極１１から離間した位置において第１の支持部５１に固定され、外力により変位する第１の可動部１０と、第１可動電極１１と対向して配置された第２可動電極２１を有し、第２可動電極２１から離間した位置において第２の支持部５２に固定され、外力により変位する第２の可動部２０とを備え、第１可動電極１１と第２可動電極２１との対向位置Ａと第１の可動部１０の重心位置Ｃ１との間において第１の可動部１０が第１の支持部５１に固定され、第２の可動部２０の重心位置Ｃ２を挟んで対向位置Ａと対向する位置において第２の可動部２０が第２の支持部５２に固定されている。 （もっと読む）

【課題】一体化されたＭＥＭＳおよび半導体電気回路センサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサであって、第一の層と、基層と、該第一の層と該基層との間に配置された第一の絶縁層と、該第一の層と該基層と該第一の絶縁層のうちの任意の層に形成された空洞であって、該第一の層は半導体電気回路の基板であり、アクティブなＭＥＭＳ要素として存在する、空洞とを備えている、ＭＥＭＳセンサ。本発明の一実施形態において、上記第一の層内にインプラントエリアがさらに備えられ得る。 （もっと読む）

【課題】検出感度が高く良好な接点を形成可能な接点デバイスの製造方法及び接点デバイスを提供すること。
【解決手段】導電性の基板上に立設された固定部材と、前記固定部材との間に接点を形成し得るように該固定部材から所定間隔をとって配置された可動部材とを形成するエッチング工程を含む接点デバイスの製造方法において、エッチング工程では、エッチングガスとデポジションガスとを共に用いて、エッチングと該エッチングにより形成される側壁の保護膜形成とを並行して行うことにより、スキャロッピングなどの凹凸のない平滑な接点を形成する。 （もっと読む）

【課題】振動子が駆動する際の不要な回転方向の運動を低く抑えることで、検出精度と検出感度を高めることを可能とする。
【解決手段】第１基板１００上の支持部１０３に一端側が支持された弾性支持体１０２と、第１基板１００から離間して弾性支持体１０２の他端側に支持された振動子１０１と、振動子１０１の変位を検出して信号を出力する変位検出部（検出電極１０８、１２０）とを備えた慣性センサ１において、振動子１０１上部に発生するローレンツ力をＦｕ、振動子１０１下部に発生するローレンツ力をＦｄとし、振動子１０１の重心から、振動子１０１の支持点までの距離をＬｊ、振動子１０１上部の駆動点までの距離をＬｕ、振動子１０１下部の駆動点までの距離をＬｄとして、（Ｌｕ−Ｌｊ）×Ｆｕ＝（Ｌｄ＋Ｌｊ）×Ｆｄなる関係式を満たすとともに、振動子１０１に薄膜磁性体１１０が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】加速／減速に応答する小型で低コストな内部スイッチを含むＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】内部スイッチはＭＥＭＳデバイスを含み、ウエハの基体層１１２上に支持された可動電極１２４及び固定電極１２２を有する。可動電極１２４は加速及び／又は減速による内力に応答して移動して、その内力が接触しきい値に達するか超えるかした時に固定電極１２２と接触し、それにより内部スイッチの状態を開放から短絡へ変化させる。ＭＥＭＳデバイスは実質的に平面デバイスであり、内力がデバイス面に平行にかかる時は、他の力方向の場合とほぼ同じとなるように設計される。本発明の内部スイッチは１ミリメートル未満といった比較的小さいサイズに設計され、その内部スイッチは対応のスイッチ回路に組み込むことができる。 （もっと読む）