【課題】重り部の厚み寸法の大型化や軽量化をすることなく検出感度を向上させることのできる加速度センサを提供する。
【解決手段】凹部４１，５１と充実部４０，５０が一体に形成された重り部４，５と、１対のビーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと、可動電極４ａ，５ａと、第１の固定電極２０ａ，２１ａ及び第２の固定電極２０ｂ，２１ｂとから成るセンサ部を備え、１対のビーム部６ａ，６ｂ及び７ａ，７ｂを各々結ぶ直線を回動軸とした重り部４，５の回動に伴う可動電極４ａ，５ａと固定電極２０ａ，…との間の静電容量の変化から加速度を検出するものであって、重り部４，５の重心位置から回動軸に下ろした垂線と可動電極４ａ，５ａの表面とが成す角度が略４５度となるように、ビーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂを凹部４１，５１側にずらして配置した。 （もっと読む）

【課題】重り部の厚み寸法の大型化や軽量化をすることなく検出感度を向上させることのできる加速度センサを提供する。
【解決手段】第１の凹部４１，５１と充実部４０，５０が一体に形成された重り部４，５と、１対のビーム部６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと、可動電極４ａ，５ａと、第１の固定電極２０ａ，２１ａ及び第２の固定電極２０ｂ，２１ｂとから成るセンサ部を備え、重り部４，５の重心位置から回動軸に下ろした垂線と可動電極４ａ，５ａの表面とが成す角度が略４５度となるように、ビーム部６ａ，…を第１の凹部４１，５１側にずらして配置し、且つ充実部４０，５０に一面に開口する第２の凹部４４，５４を設け、重り部４，５を成す材料よりも比重の高い金属材料から成る補助重り部４５，５５を第２の凹部４４，５４に埋設した。 （もっと読む）

【課題】梁部材を接触させることなく、広範囲の加速度を検出できる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ１０は、基板１と、基板１に支持された梁部材２と、基板１に対して移動可能に梁部材２に支持され、可動電極４を有する慣性質量体３と、可動電極４と対向するように配置された固定電極５とを備え、梁部材２は、慣性質量体３にかかる加速度の方向に伸びており、梁部材２は、加速度が大きくなるにつれて変位の変化率が小さくなり、かつ梁部材２が縮んで梁部材２自体が接触するまでの加速度の方向の梁部材２の変位量が加速度がかかった場合の加速度の方向の梁部材２の伸びる部分の変位量より大きい。 （もっと読む）

【課題】駆動錘と検出錘とを有する振動子を２つ備えた振動型角速度センサにおいて、外部衝撃に対する各駆動錘の同調性および各検出錘の同調性を高める。
【解決手段】駆動錘１５０、２５０は、当該駆動錘１５０、２５０がそれぞれ対向する部分に開口部１５２、２５２をそれぞれ備えている。また、検出錘１４０、２４０は、駆動錘１５０、２５０の内側にそれぞれ配置されている。そして、駆動連成梁４００は、第１振動子１００の駆動錘１５０と第２振動子２００の駆動錘２５０とを直接連結している。一方、検出連成梁５００は、駆動錘１５０、２５０の開口部１５２、２５２を介して第１振動子１００の検出錘１４０と第２振動子２００の検出錘２４０とを直接連結している。これにより、外部からの衝撃に対する各駆動錘１５０、２５０の同調性および各検出錘１４０、２４０の同調性の両方を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】センサ感度を下げることなく、また交差部角にも応力を集中させずに最大応力を抑制して、耐衝撃性を上げることができる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ１００は、枠部１１１と、錘部１１２と、枠部１１１と錘部１１２とを連結する梁部１１３と、梁部１１３上に形成された加速度検出部と、梁部１１３と錘部１１２又は枠部１１１との連結部に近接するに従って広がるフィレット部１１６と、連結部１１５の下側に円弧状又は楕円形状で形成され、かつ連結部１１５から離れる方向に奥行きを有する応力緩和部１１７とを備え、応力緩和部１１７は、梁幅Ｗ、交差部幅Ｌ、奥行きＯとしたとき、Ｌ≧１００μｍ、３０μｍ≦Ｗ≦６０μｍ、１０μｍ≦Ｏ≦４０μｍに形成する。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させた加速度センサ及び加速度センサ装置。
【解決手段】
固定部５０と、固定部５０に対して変位可能な重り部７と、固定部５０および重り部７を連結するとともに重り部７の変位に伴って撓む梁部５と、を含み、固定部５０および重り部７は、少なくとも一方の側面の梁部５との連結部１２外周に、梁部５の長手方向に沿って断面視凹曲線の内面６を有した溝部４を備えたことによって、耐衝撃性を向上させた加速度センサ及び加速度センサ装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサーの感度の検出に影響を与える可動錘の質量と、容量電極のダンピング係数、弾性変形部のバネ特性等の設計の自由度を向上させる。
【解決手段】多層配線構造を加工して形成されるＭＥＭＳセンサーは、弾性変形部１３０によって固定枠部１１０に連結され、周囲に空洞部が形成されている可動錘部１２０と、固定枠部１１０に固定された固定電極部１５０と、可動錘部１２０に接続され、固定電極部１５０に対向して配置される可動電極部１４０とを含む容量電極部１４５と、可動錘部１２０の質量、可動電極部１４０のダンピング係数および弾性変形部１３０におけるバネ特性の少なくとも一つを調整するための調整層ＣＢＬ（ＣＢＬ１〜ＣＢＬ３）とを含み、調整層ＣＢＬは、多層配線構造の構成要素である、少なくとも一層の絶縁層を含む。 （もっと読む）

【課題】検出感度を低下させることなく耐衝撃性の向上を図る。
【解決手段】ビーム部６，７は、複数の支柱部６０，７０と、複数の支柱部６０，７０の間に掛け渡された複数の桟部６１，７１とを有する格子状に形成されている。故に、角柱状に形成された従来のビーム部と比べ、ビーム部６，７のねじり剛性を維持しつつ、その引張り剛性や曲げ剛性を高めることができる。その結果、検出感度を低下させることなく耐衝撃性の向上が図れる。 （もっと読む）

【課題】任意の温度特性を持たせることができる半導体物理量センサを提供する。
【解決手段】可動電極となる櫛状のおもり部４１と、おもり部４１の一方端側に形成され、ばね部４２を介しておもり部４１を規定方向へ揺動自在に支持する支持部４３と、おもり部４１の他方端側に形成され、ばね部４４を介しておもり部４１を規定方向へ揺動自在に支持する一組の支持部４５，４６と、支持部４３に一又は複数設けられた所定の大きさの欠如部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来に比べて、簡単な構造にて、センサの薄型化と電気的安定性等とともに質量部の質量を効果的に大きくすることが可能なＭＥＭＳセンサ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコンで形成され高さ方向にて対向配置された第１の基板１及び第２の基板２を有し、前記第１の基板１には、質量部４及び、前記質量部４と接続されるアンカ部５が形成されており、前記アンカ部５は、前記第２の基板２に固定支持されており、前記質量部４と前記第２の基板２の間には空間６が設けられており、前記質量部４の内部には、前記シリコンよりも比重が大きい金属７が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】 加速度センサ素子自体が大型化することなく、加速度の検出感度を向上させることができる加速度センサ素子および該加速度センサ素子を提供する。
【解決手段】 加速度センサ素子１０は、錘部１１と、一方端が錘部１１に連結される梁部１３と、梁部の他方端と連結する固定部１２と、梁部１３に設けられる抵抗素子１４とを備えている。加速度センサ素子１０においては、錘部１１は、固定部１２の第１切り欠き部１２ｂの内壁面の上辺を含んで固定部１２の上面に直交する仮想平面Ｓの外側まで延出された部分であり、固定部１２において平面視したときの幅が小さい領域部分である第２切り欠き部１２ａまで延出した部分である延出部１１ｄを有するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
製品基板への実装前後でセンサー出力のオフセット変化が小さい加速度センサーを実現する。
【解決手段】
支持枠部と支持枠部に可撓性を有する梁部を介して保持される錘部、梁部上に設けられたピエゾ抵抗素子とそれらをつなぐ配線を有し、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化から少なくとも梁部の厚さ方向の加速度を検出できる加速度センサー素子を、保護パッケージ内に保持した加速度センサーであって、加速度センサー素子の梁部は、梁部の長手方向にかかる外力を吸収できる応力緩衝部と、支持枠部と応力緩衝部をつなぐ枠側梁部、錘部と応力緩衝部をつなぐ錘側梁部からなり、ピエゾ抵抗素子は枠側梁部および錘側梁部上に形成され、枠側梁部が錘側梁部よりも長くする。 （もっと読む）

【課題】
製品基板への実装前後でセンサー出力のオフセット変化が小さい加速度センサーを実現する。
【解決手段】
可撓性を有し錘部を支持する複数の梁部と、前記錘部の周囲を囲みそれぞれの梁部と接続する支持枠部と、前記梁部の上に複数設けられたピエゾ抵抗素子と、を有する加速度センサー素子と、この加速度センサー素子を内部に設けた保護パッケージ部と、を備えた加速度センサーにおいて、前記梁部の幅よりも広い幅を有する前記枠側接続部を有し、前記支持枠部は、前記枠側接続部を介して前記梁部と接続する。樹脂製の保護パッケージおよびそれを実装する製品基板の熱変形により加速度センサー素子が受ける外力に対して、錘部に近いピエゾ抵抗素子と梁部に近いピエゾ抵抗素子の横方向応力の変化の差を低減し、オフセット出力の変化を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳの可撓部の撓み検出精度を高める。
【解決手段】ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を直交座標系の３軸とするとき、支持部と、前記支持部からｘ方向に突出しｚ方向に薄い膜状の可撓部と、前記可撓部の突端に結合している錘部Ｗと、前記可撓部と前記支持部との境界に対して近傍のｘ区間である検出区間にあるｘｙ領域であってｙ方向において前記可撓部の中心に対して近傍のｘｙ領域である検出領域に設けられ前記可撓部の突端のｚ方向の変位に応じた歪みを検出するための歪み検出手段と、を備え、前記検出区間にあって前記検出領域より外側の両方にある領域における前記可撓部のｙｚ断面は、それぞれ、前記検出領域から相対的に遠い方の半分の部分の断面積が残部の断面積よりも広い形態である、ＭＥＭＳ。 （もっと読む）

【課題】良好な耐衝撃性を有し、小型化が可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】支持部２４の枠部１０上面と対向する面３６、枠部１０の支持部２４底面と対向する面３８、及び第１絶縁層１４の錘部１２側の側面２０により区画された第１凹部３０と、質量部２６の錘部１２上面と対向する面４０、錘部１２の質量部２６底面と対向する面４２、及び第２絶縁層１８の枠部１０側の側面２２により区画された第２凹部３２と、梁部１６の支持部２４と質量部２６との接続方向上に位置する第１絶縁層１４の錘部１２側の側面又は第２絶縁層１８の枠部１０側の側面に形成された第３凹部７０と、を有し、第１凹部３０の深さ３４及び第２凹部３２の深さ３５が枠部１０の幅の３．３％以上５．０％以下である。 （もっと読む）

【課題】可撓部と錘部とを備えるＭＥＭＳの感度と強度を高いレベルで両立させる。
【解決手段】可撓部と、前記可撓部の少なくとも一部の層を構成している薄肉部と前記薄肉部から前記薄肉部の厚さ方向に突出している凸部とを備えバルク材料からなるバルク部と、前記凸部の側面と結合し前記可撓部とともに運動し金属材料からなる錘部と、前記可撓部の変形または変位を検出する検出手段と、を備えるＭＥＭＳ。 （もっと読む）

【課題】 特に、センサ全体の大きさを大きくしなくても可動部の変位量を大きくでき検出感度を向上させることが可能な物理量センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 可動部８０と固定部８１間が梁８２により連結されている。梁８２の可動側端部８２ａ及び固定側端部８２ｂには幅方向の両側に切欠き８３〜８６が形成されており、可動側端部８２ａ及び固定側端部８２ｂの幅寸法Ｔ２が中央部８２ｃの幅寸法Ｔ３よりも細くなっている。これにより可動側端部及び固定側端部のバネ定数を小さくでき、可動側端部及び固定側端部にヒンジ機能を持たせることが出来る。これにより従来に比べて、梁の可動側端部の変位量を大きくでき、全体の大きさを大きくせずに、可動部の変位量を大きくできる。よって従来に比べて、小型化で且つ検出感度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 マス部の励振方向の励振が検出手段の検出結果に影響を及ぼすのを抑制する技術を提供すること。
【解決手段】 角速度センサ１００のビーム７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄは、検出方向（ｙ軸方向）よりも励振方向（ｘ軸方向）にバネ定数が小さいフォールディッド型ビーム７３と、励振方向（ｘ軸方向）よりも検出方向（ｙ軸方向）にバネ定数が小さいストレート型ビーム７５を有している。フォールディッド型ビーム７３は、ストレート型ビーム７５よりもマス部４０側に配置されている。検出手段６０は、フォールディッド型ビーム７３よりも反マス部４０側のビーム７０ｂに設けられている。 （もっと読む）

【課題】慣性力によって変位する可動体を複数有し、各可動体によって形成される可変容量素子の容量値を検出して、慣性力を検出する慣性センサにおいて、可変容量素子の容量値の検出を可変容量素子の数よりも少ない検出系で行うこと。
【解決手段】可変容量素子が形成される複数の可変ブロックと固定容量素子が形成される固定ブロックとを有し、可変ブロックが所定方向に往復振動する構造体について、各可変容量素子及び固定容量素子の一端にそれぞれ所定の位相差を持った複数相の検出用パルス信号を印加する検出用パルス信号印加部と、位相差を有する検出用パルス信号が印加された可変容量素子間、又は固定容量素子と可変容量素子との間の容量値の差分を検出し、当該差分に基づいて前記印加される慣性力を検出する慣性検出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 センサーチップに加わる外乱力に対して感度などの特性が変動しにくい加速度
センサーを実現する。
【解決手段】 支持枠部と可撓性の梁部を介して支持枠内に支持される錘部と、梁部に設
けられた半導体ピエゾ抵抗素子とそれらを接続する配線を有し、ピエゾ抵抗素子の抵抗変
化から加速度を検出する加速度センサーであって、梁部のピエゾ抵抗素子の形成部以外の
部分に応力緩衝部を形成する。応力緩衝部は梁部の略中央部に形成する。センサー素子に
外乱力がり梁部の長手方向に力が加わっても、応力緩衝部で外乱力を吸収する。梁部の長
手方向の応力が変化しにくいため、梁の変形しやすさも変化しにくくなり、外乱力の影響
による感度の変化を低減することができる。 （もっと読む）