【課題】電子線照射による温度上昇に起因したレジストパターンの変形、変質等を防止し、且つ高い精度でパターンの欠陥の検査を行うこと。
【解決手段】検査モジュールの真空容器に冷却モジュールの真空容器を気密に接続し、冷却用の真空容器内に基板の載置台が設けられた冷却モジュールにおいて、載置台の表面と基板との間に熱伝達用のガスを供給する手段と、前記載置台を冷却する冷却手段とを備え、基板搬送手段によって前記検査用の真空容器と冷却用の真空容器との間で基板を搬送するようにし、前記検査モジュールにて電子線の照射により加熱された基板を前記冷却モジュールの載置台に搬送し、この載置台で冷却された基板を、レジストパターンの検査の続きを行うために前記検査モジュール内に搬送する。 （もっと読む）

【課題】試料の変形箇所を確実に観察・分析できる試料用ステージと試料の分析方法とを提供する。
【解決手段】真空容器内で分析対象となる試料を保持するための試料用ステージである。このステージは、試料Sの両端部を保持する一対の保持部1L、1Rと、各保持部1L、1Rを互いに離反する方向に駆動して試料Sに引張力を付与する駆動機構とを備える。試料Sは、その変形領域に位置する非接触式のメインヒータ3と、非変形領域に位置する接触式のサブヒータ4L、4Rで所定温度に加熱できる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡などに代表される真空装置に対して、真空チャンバ内面にダメージを与えず、また真空装置外部に配置された樹脂部品を必要以上に加熱せず、真空装置内面のクリーニングしたい箇所を効率的にクリーニングする方法を提供する。
【解決手段】装置内面のクリーニングしたい箇所に、波長６〜８μｍの赤外線を照射する。本発明により、加熱して脱離させたい有機物分子に直接エネルギーを与え、装置壁面の加熱を最小限に抑えたクリーニングが可能となる。その結果、クリーニング速度が増加し、装置のスループットを向上させることが可能となる。また、真空チャンバ外部に配置された樹脂材料にダメージを与えることなく真空チャンバのクリーニングを行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、たとえば電子顕微鏡又は集束イオンビーム装置のような荷電粒子装置内での光学顕微鏡スライド(10)の使用に関する。従来の顕微鏡スライドは電子顕微鏡内での使用に適していない。その理由は、従来の顕微鏡スライドは、電子顕微鏡内で観察される際に荷電粒子ビームが入射することで帯電するからである。
【解決手段】 しかしたとえばインジウムスズ酸化物(ITO)のような導電性層でコーティングされた顕微鏡スライドが存在する。前記顕微鏡スライドは通常、導電性層に電流を流すことによって、スライド上にマウントされた対象物を加熱するのに用いられる。これらの顕微鏡スライドは荷電粒子装置内で、導電性層を接地電位と接続して、入射荷電粒子の戻り路を生成することで、帯電を防止するのに有利に用いることができることが実験によって示されている。
本発明はさらに、光学顕微鏡(130)が備えられた荷電粒子装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】マイクロサンプルを効率良く加熱して、正確に観察可能なマイクロサンプル加熱用試料台を実現する。
【解決手段】マイクロサンプル搭載部１はコイル状の加熱部分であり、両端はマイクロサンプル加熱用試料台ベース２に固定される。ベース２はベース切り込み線３の部分で２つの部材２ａ、２ｂに分割可能であり搭載部１の一方端部は部材２ａに固定され他方端部は部材２ｂに固定される。マイクロサンプリングしたサンプルは搭載部１に搭載される。ホルダ４の先端部から外し、試料台用ステージに載せる。部材２ａ、２ｂを介して電流をマイクロサンプル搭載部１に供給し、マイクロサンプル６を加熱しながら観察する。 （もっと読む）

【課題】観察領域における温度上昇及び／又は気体及び／又は液体のようなある物理的又は化学的な状態に暴露された環境セルの試料の撮像を実現する。
【解決手段】電子顕微鏡支持構造体ならびにその製造及び使用方法。支持構造体は、半導体材料及び半導体製造プロセスを使用して一般に構成される。支持構造体の温度を制御することが可能であり、及び／又は気体又は液体を反応及び／又は撮像用の観察領域に閉じ込めることが可能である。 （もっと読む）

本発明は、高圧荷電粒子ビーム・システム内でサンプルを処理する、すなわちサンプルを改変し、画像化する方法および装置を含む。本発明の実施形態は、高圧荷電粒子ビーム処理の間、サンプルがその中に配置される小室を含む。この小室は、処理に必要なガスの量を減らし、それにより迅速な導入、排気、ガス間の切替えおよび処理モードと画像化モードとの間の切替えを可能にする。小室内に処理ガスを保持することは、サンプルチャンバおよびカラムがガスと接触することを防ぐ。いくつかの実施形態では、小室壁およびサンプルの温度を制御することができる。
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【課題】
電子顕微鏡において、傾斜・回転・温度変調を同時に達成し、試料の所望の部位を局所的かつ高速に加熱する構成を提供する。
【解決手段】
試料ホルダーとして試料２８を片側で支持し、別の片方は空間である試料ホルダー１３、２５を用い、その別の片方の空間から試料近傍に試料２８を加熱するためのレーザー光照射機構部を導入し、収束したレーザー光１６によって試料２８を加熱する。その際、収束したレーザー光１６の照射位置の調節を、試料ホルダー１３、２５に設けた光位置検出素子２７の出力を用いてレーザー光１６を試料台近傍に導入する光ファイバー微動機構を用いて調節する。 （もっと読む）

【課題】速やかなクリーニングを実現できるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】各々の空間部の最上部に試料７０a、７０b、７０cが取り付けられたホルダ３０a、３０b、３０cの各空間部にフィラメント９０a、９０b、９０cが取り付けられ、試料７０a、７０b、７０cを支持している部分には電圧印加用電極８０a、８０b、８０cが設けられている。
そして、一台のフィラメント加熱用電源１００からスイッチング回路１１０を介してフィラメントに電流が流せ、一台の電圧印加用電源１２０からスイッチング回路１３０を介して任意の電極に電圧が印加できる。 （もっと読む）

小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。
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【課題】従来技術の問題に対する解決をもたらす。
【解決手段】本発明は粒子−光学装置のための熱スイッチに関する。例えば、低温ＴＥＭ（透視型電子顕微鏡）において、試料ホルダ７の末端２０に配置される試料３４が、例えば、液体窒素の温度に維持され得る。例えば、顕微鏡を低温から室温に全体的に加熱することなしに、簡単な方法において室温で試料を検査し得る必要がある。熱スイッチ４０を使用することによって、これは可能になる。このために、熱スイッチは、装置内の冷源２２と試料ホルダ７の末端２０との間の熱経路変更し、それによって、１つの位置、位置４６ａにおいて、末端２０から冷源２２への接続が行われ、他の位置、位置４６ｂにおいて、室温に維持される装置の一部４４に接続が行われる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、電子顕微鏡の試料室等において付着する不純物を除去し、その後の製造プロセスへの悪影響を抑制し得る試料測定方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、荷電粒子線による試料測定、或いは検査の後であって、次の半導体製造工程前に、試料上の不純物除去処理を行う装置を提供する。これによって、試料室内等で付着する不純物を除去することができるため、測定，検査後の半導体製造工程における不良発生を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子ビーム装置に新たな構成を付加することなく、加熱装置が発生する磁場の影響を低減する。
【解決手段】 荷電粒子ビーム装置は、対象物に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム装置において、対象物を加熱する加熱装置１を備える。加熱装置１は、駆動電流の供給を受けて対象物を加熱し、この駆動電流が流れる流路は駆動電流の電流方向を互いに逆方向となる流路を備える。加熱装置の各流路は駆動電流が流れることで磁場を発生する。加熱装置の流路が発生する磁場は、荷電粒子ビームの経路上において互いの流路が生成する磁場を相殺する。これによって、加熱装置が発生する磁場が荷電粒子ビームに対する影響を低減する。 （もっと読む）

【課題】温度勾配や局所加圧による変位等の状態変化や組織変化が試料に生じている様子を観察する。
【解決手段】プローブ１と、プローブ１を移動させてその先端を試料２の顕微鏡視野内の部位又はその周辺あるいはこれらの裏面に接触させる駆動機構３を備えている。駆動機構３は、プローブ１を支持し且つ温度変化によって変形する支持部材４と、支持部材４を冷却又は加熱して変形させプローブ１を試料２に接触させる熱源５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 観察装置及び加工装置の少なくともいずれかにおいて、簡素化された移動機構によって作業効率を低下させないことを目的とする。
【解決手段】 試料６を保持する試料ステージ７を備える複合装置において、試料ステージ７を、観察装置の観察位置又は加工装置の加工位置の近傍に移動する試料ステージ移動手段と、試料ステージ７上で、試料６を観察位置又は加工位置に移動する試料移動手段と、試料ステージ７が移動しているときでも、試料６と試料ステージ７の相対位置関係を保持する手段と、を備える。また、試料ステージ７が停止した際に位置を観察位置又は加工位置に調整する手段をさらに備える。 （もっと読む）

第１および第２の被覆層（１３）を備え、これらの被覆層は、両方とも電子顕微鏡の電子ビーム（１４）に対して少なくとも一部が透明性であり、さらに相互から一定の相互距離を置いて相互に隣接して延び、これらの被覆層間にチャンバ（１５）が取り囲まれている、顕微鏡で使用するマイクロリアクタであって、入口（４）および出口（５）が、流体をチャンバに通して供給するために設けられ、さらに加熱手段（８）が、チャンバおよび／またはこのチャンバの中に存在する要素を加熱するために設けられるマイクロリアクタ。 （もっと読む）

【課題】 真空下にて試料を分析および／または処理する際に必要とされる複数の機能を備えた器具を提供する。
【解決手段】 端子１および突起部６を有する基板１００、ならびに端子１と接触する電極３および突起部６を挿入するための凹部１０を有するホルダー２００を備える回路形成用カセットであって、突起部６が凹部１０へ挿入されることによって基板１００とホルダー２００とが固定される構成を有する回路形成用カセットを用いる。 （もっと読む）