【課題】イメージモーションＭＴＦを改善できるＴＤＩ機能を持つＣＭＯＳセンサを提供する。
【解決手段】時間遅延積分イメージセンサは、行および列として編成された画素を備える。各画素は、感光性要素、記憶ノード、および感光性要素と記憶ノードの間に接続された転送要素とを２組備える。さらに、画素の記憶ノードと隣接する画素の感光性要素の間に接続された第３の転送要素を備える。制御回路は、画素内の転送要素２つをオン状態にするコマンドと画素間の転送要素をオフ状態にするコマンドとを同時に与え、別の段階では、画素内の転送要素のうち１つと画素間の転送要素をオン状態にするコマンドと画素内の別の転送要素をオフ状態にするコマンドとを同時に与えるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】複数種の撮像センサー（３）を評価することが可能な評価装置を提供する。
【解決手段】第１乃至第Ｎの基板間コネクタ（７）を備えた撮像部取り付け基板（６）に、第１乃至第Ｍ（Ｍ≦Ｎ）の読み出し部（３４）を有する撮像センサ（３）を実装した撮像センサー取り付け基板（４）が着脱可能に接続可能であり、基板間コネクタ（７）の各々には、前置信号処理手段（８）が接続可能であり、第ｍ（ｍ≦Ｍ）の基板間コネクタ（７−ｍ）に第ｍの前置信号処理手段（８−ｍ）が接続された状態において、第ｍの読み出し部（３４−ｍ）の出力信号が第ｍの前置信号処理手段（８−ｍ）に入力されて処理され、処理された信号が第ｍの記憶領域（１１−ｍ）に書き込まれ、第１乃至第Ｍの記憶領域に書き込まれたデータが一連のデータとして読み出される。 （もっと読む）

【課題】画像入力装置で、画像入力の対象物に応じてローパスフィルタ特性を可変とする。
【解決手段】ＴＤＩセンサＳは、主走査方向に沿って画素の配列された複数のラインセンサが主走査方向と直交する方向に所定の配列間隔で配列されて構成される。ＴＤＩセンサＳで主走査が行われ、ＴＤＩセンサＳと走査対象の像との間で副走査方向に沿う相対的な動きがもたらされて二次元の像が入力される。１ライン分の走査対象の像に対して行われる一連のＴＤＩ動作において、一のタイミングで一のラインセンサによって蓄積動作が行われるときに一のラインセンサの読取範囲に導かれる像と、別のタイミングにおいて別のラインセンサによって蓄積動作が行われるときに別のラインセンサの読取範囲に導かれる像との間で、主走査方向および副走査方向のうちの少なくともいずれかの方向に沿って像ずれを生じるように像とＴＤＩセンサＳとの相対位置が制御される。 （もっと読む）

【課題】所定の走査方向に撮像対象を走査して撮像を行う場合に、受光素子毎の受光方向の違いによる画像の鮮鋭度のばらつきを抑える。
【解決手段】撮像装置１の受光面上のＣＴ方向に配置されるリニアＴＤＩ−ＣＣＤ１３−１〜１３−５は、撮像対象からの受光量に応じて電荷を蓄積し、クロック制御部１２は、リニアＴＤＩ−ＣＣＤ１３−１〜１３−５による撮像対象の受光範囲の走査方向の長さに基づいて決定される所定の出力周期毎に、リニアＴＤＩ−ＣＣＤ１３−１〜１３−５が蓄積した電荷を出力させる。 （もっと読む）

【課題】電荷転送装置が転送できる電荷を多くするとともに、電荷の転送効率を高くする。
【解決手段】ＣＣＤ撮像部１００（電荷転送装置）は、垂直ＣＣＤ１１０，１２０（第一の電荷結合素子、第二の電荷結合素子）を有する。垂直ＣＣＤ１１０は、電荷を下方向（所定の方向）へ転送する。垂直ＣＣＤ１２０は、垂直ＣＣＤ１１０が転送した電荷を受け取って、下方向へ転送する。垂直ＣＣＤ１２０が転送する電荷量は、垂直ＣＣＤ１１０が転送する電荷量よりも多い。 （もっと読む）

【課題】画像データの補正に関して、信頼性の高い補正を効果的に行うことができる撮像装置を提供する。
【解決手段】受光素子により生成された電荷を出力する出力ゲート１０２１と、出力ゲート１０２１が出力した電荷を変換することにより生成された電気信号をデジタル信号に変換して画像データとしてメモリに出力する画像データ出力部１２１とを有する撮像部１２０と、撮像部１２０を制御するコントローラ１０４とを備える撮像装置１００において、コントローラ１０４は、出力ゲート１０２１からの電荷の出力を停止させ、出力ゲート１０２１からの電荷の出力が停止された状態で画像データ出力部１２１から出力される画像データを、出力ゲート１０２１が電荷を出力している状態で画像データ出力部１２１から出力される画像データの補正データとしてメモリ１０８に記憶させることを特徴とする。 （もっと読む）

時間遅延積分方式（TDI）センサー（22）は、1からNまでの番号が付けられたセル（42、44、42、44）のシーケンスを含む。そのTDIセンサーは、1の番号が付けられたセルから、2からN-1番号が付けられたセルを通ってNの番号が付けられたセルまで電荷を移動させるように構成されている。そのセルのシーケンスにおける各セル（42；44）は、TDIセンサー（22）が第1スペクトルを有する光（46）によって均等に照射されるとき、非感受性セル（44）のいずれかに入射する光の強度が、感受性セル（42）のいずれかに入射する光の強度のせいぜい90%であるという意味において、感受性であるか又は非感受性であるかのいずれか一方である。そのセルのシーケンス（42、44、42、44）は、以下の順番において：第1感受性（42）セル、少なくとも1つの非感受性セル（44）及び第2感受性セル（42）、を含む。イメージング・システムは、TDIセンサーを含み、物体のイメージングを行う方法も開示される。
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【課題】ＴＤＩ動作を用いることで撮像を行い、ＦＤリセットにおけるリセットノイズを除去できる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】固体撮像素子は、互いに異なるタイミングで被写体光における同一色の読み取りを行う、複数の画素列２１−１〜２３−３と、各画素列２１−１〜２３−３の画素２０により読み取られた、それぞれ読み取りタイミングが異なる、同一被写体の露光による各信号電荷を合算して蓄積する蓄積部ＣＸと、蓄積部ＣＸから転送された合算された各信号電荷を、信号電圧に変換するために蓄積する、各画素列の画素に共通の変換用フローティングディフュージョン２５と、変換用フローティングディフュージョン２５をリセットするリセットトランジスタＲＱと、変換用フローティングディフュージョン２５に蓄積された信号電荷を増幅し、信号電圧として出力する増幅トランジスタＧＱとを備えている。 （もっと読む）

【解決手段】ウェーハ／マスク／レチクルの表面を検査するための検査システムは、モジュラーアレイを含み得る。モジュラーアレイは、複数の時間遅延積分（ＴＤＩ）センサーモジュールを含み得る。各ＴＤＩセンサーモジュールは、ＴＤＩセンサーと、ＴＤＩセンサーの駆動および処理を行うための複数の局所回路とを有する。局所回路のうち少なくとも１つは、ＴＤＩセンサーと関連付けられたクロックを制御し得る。少なくとも１つのライトパイプを用いて、複数のＴＤＩセンサーモジュールに照明源を分配することができる。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一検査領域または異なる検査領域を取り込むように配置され得る。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一であってもよいし異なる積分段に対して設けられてもよい。モジュールの間隔は、１回の通過で検査領域の１００％を網羅する処理範囲に対応できるように設定することもできるし、あるいは、処理範囲全体を網羅するのに２回以上の通過が必要となる部分的処理範囲に対応できるように設定することもできる。 （もっと読む）

【課題】 入力クロックピン数を増加させることなく、任意の段数にＴＤＩ段数を切り替える機能を有したＴＤＩ方式のイメージセンサ、及びその駆動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明によるＴＤＩ方式イメージセンサは、シフトレジスタ回路とライン選択回路を含んだ垂直走査回路を有し、シフトレジスタ回路への入力クロックに応じて撮像エリアの任意の位置で垂直転送方向を切り替えて撮像するもので、水平転送部へと向かって垂直転送される信号だけが時間遅延積分されて読み出される。
また、本発明によるＴＤＩ方式イメージセンサの駆動方法は、ＴＤＩ撮像に先立ってシフトレジスタ回路を駆動してＴＤＩ段数を設定するものである。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩ段数の切り替え機能を有し、かつカップリングノイズを抑制したＴＤＩ方式リニアイメージセンサ、及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】画素群１１０においてＴＤＩ段数を制限するためのブロックゲートを複数箇所に設け、それらのブロックゲートを、対となる転送ゲートに同数ずつ振り分けて配置する。又、その駆動方法は、設定したいＴＤＩ段数に応じた第１ブロックゲートに第１ＤＣ電圧を与え、第１ブロックゲートよりも反垂直転送方向１８１ａ側に位置する第２ブロックゲートに第１ＤＣ電圧よりも大きい第２ＤＣ電圧を与え、さらに、残りのブロックゲートに転送クロックを与える。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線固体撮像素子のNETD低減による性能向上を実現する熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】熱型赤外線固体撮像素子は、断熱構造と赤外線吸収構造を有した温度検出素子を含む画素を２次元配列してなる画素アレイと、画素アレイの各画素に対して温度検出素子の電位を逆バイアスとなる所定電位に設定するリセット動作を行い、リセット動作から所定の蓄積時間経過後に出力を読み出す手段と、断熱構造及び／又は赤外線吸収構造を有しない参照画素の列と、各参照画素に対して行毎に異なる蓄積時間を付与し、各参照画素に対してリセット動作を行い、リセット動作後異なる蓄積時間経過後に各参照画素から出力を読み出す手段と、各参照画素から読み出した出力を基準電圧と比較する比較回路とを備える。画素アレイの画素に対する所定の蓄積時間は比較回路の出力に基づき決定される。 （もっと読む）

【課題】 蓄積型（ＴＤＩ）センサを用いたパターンの画像入力においてパターン光学像のＴＤＩ方向における解像性能を向上させる。
【解決手段】 縦横方向に配列した複数の画素で光電変換された各電荷をそれぞれ縦方向に積算し転送する垂直転送レジスタ、積算の最終段となる横方向の各画素からの積算された電荷を横方向に並行に転送する水平転送レジスタ、該水平転送レジスタにより転送された電荷を読み出しディジタル信号に出力するセンサ出力部、を有する蓄積型センサにおいて、垂直転送レジスタにおける垂直転送クロックを前半のＶclk1、Ｖclk2と後半のＶclk3、Ｖclk4の２つの部分に分け、水平転送クロックＨclkにより、前半の電荷転送後に横方向の半分の各画素からの電荷を読み出し、後半の電荷転送後に残りの半分の各画素からの電荷を読み出す （もっと読む）

本発明は、ＮラインのＰ個の光検出画素により連続的に行われる同一の線形画像の同期読み出し、および各ラインにより読み出された信号の画素単位の合算のための信号積分型、移動型のマルチライン線形アレイ形態の画像センサに関する。
本発明では、光生成電荷積分時間の開始時に、ランクｉ−１の前ラインにおける画素の出力電圧を、ランクｉの中間ラインにおける画素のフォトダイオードに印加し、フォトダイオードを隔離し、光に起因する電荷をその内部で積分し、最終的に積分時間の終了時に、フォトダイオードの電荷を画素の格納ノード（Ｎ２）に移動させる。電荷−電圧変換回路（Ｔ４，Ｔ５）は、格納ノードの電荷を画素の出力電圧に変換する。従って、光生成された電荷を各画素において積分する前に、シーンの同じラインを観測した前の画素ラインに由来する電荷の総計に相当する電荷を、フォトダイオードに流入させる。 （もっと読む）

【課題】 高解像度でも画素の感度を最大限にする。
【解決手段】 ＴＤＩ方式を用いたＣＣＤイメージセンサ３０には、第１の画素列１、第２の画素列２、蓄積部列３、ＳＨ１ゲート４、ＳＨ２ゲート５、第１の転送ゲート（ＴＤ１）６、第２の転送ゲート（ＴＤ２）７、第１のＣＣＤシフトレジスタ１０、第２のＣＣＤシフトレジスタ１１、及び最終段ゲート部１２が設けられている。第１の画素列１、第２の画素列２、蓄積部列３、ＳＨ１ゲート４、ＳＨ２ゲート５、第１の転送ゲート（ＴＤ１）６、第２の転送ゲート（ＴＤ２）７、第１のＣＣＤシフトレジスタ１０、及び第２のＣＣＤシフトレジスタ１１は、互いに離間され、それぞれ平行配置される。第１の画素列１を構成する画素は第２の画素列２を構成する画素と相対向して平行配置される。 （もっと読む）

センサおよびその実装内に電荷を伝播させる方法および装置が提供される。この方法と装置は、試料を検査するために使用され、センサは、蓄積した電荷をＴＤＩセンサのゲート間で進めるように動作する。設計の実施態様は、正弦波信号や台形信号などの複数の位相ずれ信号を表す１組の値を提供する。これらの位相ずれ信号は、変換されてセンサに送られる。変換された信号を利用して、センサは、センサ内の電荷をセンサの端部の方に転送する。フィードスルー補正や非線形性の補正などの態様に対処される。
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【課題】
異物欠陥検査装置で、光検出器としてＣＣＤセンサを用いる場合、光電変換により内部に発生した信号電荷を電圧に変換して読み出す際に電気的なノイズが発生し、微小な異物や欠陥からの反射散乱光を検出して得られる微弱な検出信号が電気的なノイズに埋もれてしまい、より微小な異物や欠陥を検出する上で障害となっていた。
【解決手段】
光検出器として電子増倍型ＣＣＤセンサを用い、光電変換によって生じた電子を増倍した後に読み出すことにより、電気的なノイズに対して入力光による信号が相対的に大きくなるようにして、従来のＣＣＤと比較してより微弱な光を検出することを可能にし、従来と比べて、より微小な異物や欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

時分割および積分（ＴＤＩ）センサを通して電荷を伝播するための方法および装置が提供されている。この方法および装置は、ＴＤＩセンサとともに試験片の検査に使用でき、ＴＤＩセンサは、ＴＤＩセンサのゲート間において蓄積された電荷を前進させるべく動作する。この設計は、ゲート間において蓄積された電荷を前進する波形のための、複合、正弦曲線、またはそのほかの成形された波形等の実質的に非方形波形の電圧波形の形状をコントロールすることを包含する。電圧波形の形状をコントロールすることは、実質的に些細な正味の電圧変動を提供するべく隣接ゲート内において異なる電圧位相で作用する。
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光を撮像する方法および装置が開示される。光を収集し、収集した光を電荷信号に変換し、電荷信号を増倍して、関連するレベルの利得を有する複数の電荷信号を生成し、電荷信号を電圧信号に変換し、収集した光を表す電圧信号のうちの１つまたは複数から出力信号を発生させることによって光が撮像される。電荷信号は、複数のタップに関連付けられた電子増倍装置を使用して増倍することができ、異なるレベルの利得を有する電荷信号が生成される。
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【課題】 経時的に輝度が変化する試料を正確に測定することができる顕微鏡撮像装置およびそれを用いた生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 被検査物を保持するステージと、被検査物を照明する照明手段と、被検査物の画像を撮影する撮像素子と、ステージと撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備え、撮像手段が、被検査物に対応した蓄積電荷を発生させるとともに、ステージと撮像手段との相対移動に対応して蓄積電荷を転送し、順次前記蓄積電荷を加算して累積するタイム・ディレイ・インテグレーション方式での撮像が可能な撮像素子を備え、被検査物の撮像Ｓ４の前に行われる被検査物のプレスキャンＳ２により求められた被検査物の検出強度から、撮像Ｓ４の露出時間を決定する計算手段を有する顕微鏡撮像装置を提供する。 （もっと読む）