【課題】 電極板と冷却管との接合性が良く、冷却効率が高く、かつ耐食性に優れ、長寿命のイオン源用電極を提供する。
【解決手段】 イオンビームを引出すための複数のビーム引出し孔がそれぞれ形成された複数の薄板1,2が重ね合わせ接合された電極本体部4と、薄板とは異なる金属材料からなり、電極本体部を一方側の端部から他方側の端部まで貫通し、さらに電極本体部の両端からそれぞれ延び出す延長部分を有する複数の冷却管3a,3b,3cと、薄板とは異なる金属材料からなり、冷却管の延長部分が内部を貫通するように電極本体部の両側にそれぞれ取り付けられ、冷却管との間隙がそれぞれシール溶接され、熱間静水圧処理により薄板と冷却管とが接合されて一体化した一対の端板7とを有する。 （もっと読む）

【課題】ビーム引出開始時の加速電源の電圧低下を抑制し、質の高いビームを放出できるイオン粒子電源を提供する。
【解決手段】フィラメント電源２と、アーク電源３と、イオン源の壁１と電極６間に直流電圧を印加してイオン粒子を加速するための加速電源４とから構成する。加速電源４は、
商用交流電源に接続された交流スイッチ７と、交流スイッチ７の出力を整流して直流に変換する整流器９と、整流器９の出力を平滑して直流電圧を得るためのコンデンサ１０と、
加速電源出力指令値を交流スイッチ７に与えてその出力電圧を制御するための制御手段２０を備える。制御手段２０は、直流電圧と電圧設定値との偏差に応じて加速電源出力基準を得る電圧制御手段２２と、加速電源４とアーク電源３が共にオンしたとき、所定の関数を発生する関数発生器２２とを有し、加速電源出力基準と関数発生器２２の出力を加算して加速電源出力指令値を得る。 （もっと読む）

【課題】冷却効率が高く、かつ耐食性に優れる長寿命のイオン源用電極を提供する。
【解決手段】イオンビームを引出すための複数のビーム孔23が形成され、少なくとも一方が連続する溝2,2A,2Bを有する耐熱性の金属材料からなる１対の耐熱電極板1,1A,1B,3,3A,3Bと、１対の耐熱電極板の間に挟まれ、かつ溝の周壁を被覆するように、耐熱電極板の各々に密着接合され、耐食性の金属材料からなるバリア材4,4A,4B,5,5A,5Bと、ビーム孔の近傍に配置され、溝の周壁を被覆するバリア材によって周囲を規定され、耐熱電極板を冷却するための冷媒が通流し、少なくとも一部が前記溝2,2A,2Bのなかに入り込むように配置された冷媒流路22,22A,22Bと、を有する。 （もっと読む）

【課題】放電管の内部表面でのプラズマ損失を低減できるプラズマ源，それを用いた高周波イオン源，負イオン源，イオンビーム処理装置，核融合用中性粒子ビーム入射装置を提供することにある。
【解決手段】絶縁物で構成された放電管５と、放電管５の周囲に配置されたコイル３とを有する。コイル３に高周波を印加することで、放電管５の内部にプラズマを生成する。導体であるファラデーシールド４は、放電管５とコイル３の間に設置されるとともに、複数のスリット４Ｓを有する。複数の永久磁石６は、複数のスリットの間であって、ファラデーシールド４の外側に設置され、放電管５の内部に多極磁場Ｂを生成する。 （もっと読む）

【課題】冷却効率が高く、かつ溶融層により耐食性が優れ、冷却水の漏水の危険が少なく、冷却効率の高いイオン源電極を得ることにある。
【解決手段】熱膨張係数の小さい耐熱材料からなる平板１と冷却孔となる冷却溝２を設けた溝付き平板３とを接合した構造のイオン源電極において、平板１と溝付き平板３との接合面及び溝付き平板の溝２内部にこれらの平板と反応性の良い耐食性に優れた金属からなるバリヤ９，１０を形成し、これら平板及び溝付き平板の接合面をバリヤ９，１０を介して接合して一体化したものである。 （もっと読む）

【課題】単位時間当たりの中性子発生量を増加することができるイオン発生装置および中性子発生装置を提供すること。
【解決手段】中性子発生装置１は、イオン発生装置２を備え、このイオン発生装置２は、重水素ガスまたは三重水素ガスが供給されるイオン発生管２１と、イオン発生管２１の外部に配置され、このイオン発生管２１に磁界を発生させる磁石２３と、イオン発生管２１の外部に配置され、このイオン発生管２１に電界を発生させるプラズマ発生用アンテナ２２と、プラズマ発生用アンテナ２２に高周波電力を供給する高周波電源２４と、を備える。高周波電源２４は、イオン発生管２１においてプラズマの非定常状態を繰り返し発生するように、プラズマ発生用アンテナ２２に、高周波電力をパルス制御して供給する。 （もっと読む）

【課題】電極間排気効率を向上させ、イオンビームの加速効率を改善させることができる核融合プラズマ用イオン源を得ることができる。
【解決手段】真空容器内に配設され、プラズマを発生するプラズマ源と、前記真空容器内に、該真空容器内を複数に区分するように該真空容器とは電気的に絶縁した状態で配設され、各々が同一構成で複数の丸孔が行及び列において等間隔に形成された多孔板からなる複数の電極間に所定の電位を印加し、前記プラズマ源から発生するプラズマの中からイオンビームを引出すイオンビーム引出し部を備えた核融合プラズマ用イオン源において、前記イオンビーム引出し部における電極のうちのイオンを取出す最終段の電極に形成されている複数の丸孔を、前記行単位又は前記列単位でスリット状の長孔に変更した核融合プラズマ用イオン源。 （もっと読む）

【課題】加工形状を厳密に調整するためには粒子ビームを中性化することが必要である。この中性化を、イオンビームの生成条件や加工条件とは独立に制御可能とし、品質の高い中性粒子ビームを得る。
【解決手段】プラズマを生成しイオンビームを射出するプラズマチャンバ１と、イオンビームを中性化するキャピラリ部２と、キャピラリ部を通過したビームを被加工物に照射する加工チャンバ３とを有する中性粒子線ビーム装置であって、キャピラリ部は、キャピラリ中に中性ガスを供給し排気する手段と、それらを制御しキャピラリ中の中性ガス圧を所定値に設定する制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】加速電子の発生量を抑制して高エネルギの負イオンビームを生成するとともに、このビームに良好な収束性を付与して高エネルギで長距離の輸送が可能な、高い効率と信頼性を有する負イオン源を提供する。
【解決手段】本発明に係る負イオン源は、放電プラズマ中に生成された負イオンを放電容器から引き出すための複数の孔１６が穿設され、放電容器内で生成された放電プラズマと接する第１の電極１５と、第１の電極の複数の孔と対応する位置に同数の孔２２が穿設され、第１の電極に対して正電位を印加される第２の電極１８と、第２の電極の孔２１に対応する位置に同数の孔２２が対応して穿設された第３の電極１９と、第１ないし第３の電極に穿設された複数の孔に対応するスリット形状の孔２５が穿設され、接地電位に保持された第４の電極２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマを閉じ込めることができ、且つ、イオン引出分布を均一にすることができるプラズマイオン源装置を提供する。
【解決手段】 プラズマイオン源装置１に備えたリング状のカスプ磁石３−１〜３−１３のうち、イオン引出方向の下流端部に位置するカスプ磁石３−１３を補整磁石とし、この補整磁石の内径を他のカスプ磁石よりも大きくすることにより、放電容器２に対して補整磁石を他のカスプ磁石よりもイオン引出方向と垂直な方向へ遠ざけるようにして、補整磁石の前記垂直方向における位置を調整し、更には補整磁石のイオン引出方向における位置も調整することにより、イオン引出面における前記垂直方向の磁束密度分布がゼロ近傍の略均一な分布となるように調整した構成とする。 （もっと読む）