【課題】磁界レンズを備える装置、特に電子顕微鏡等の荷電粒子線装置において、磁界レンズの消磁に要する時間を短縮する。
【解決手段】磁界レンズに単一振幅の交流電流を所定サイクル印加することにより、同一電流波形に対し同一ヒステリシス軌道を辿る安定閉ループを生成する。その安定閉ループを与える電流を流し、安定閉ループの分岐点を辿ることでヒストリ効果を消失させることができるため、消磁と同等な効果を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
高周波ノイズによる荷電粒子線への影響を抑制し、高性能で安定した制御が可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
偏向用コイル１０１に対して電流の向きが逆となるノイズキャンセル用コイル１０２を設け、ノイズキャンセル用コイル１０２にはハイパス用コンデンサ１０３を介して高周波ノイズ電流のみを通すことで、ノイズ電流と偏向コイル１０１によって生成される磁場１０５とノイズ電流とキャンセル用コイル１０２によって生成される磁場１０６とが互いに打ち消し合うように構成することで、高周波ノイズによる荷電粒子線１０７への影響を除去する。 （もっと読む）

【課題】直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】直立カラム１００と傾斜カラム２００を有し、傾斜カラム２００の対物レンズ２４の先端磁極２５を磁極本体から分離して電気的に絶縁し、試料１３に近づけて配置し、対物レンズ２４の先端磁極２５と試料１３とを同電位に保つことにより、直立カラム１００でリターディングをして高分解能トップダウン観察、傾斜カラム２００で短焦点動作による高分解能傾斜観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】複数の荷電粒子ビームを用いる荷電粒子装置における多光軸磁気レンズの固有の構造上の非軸対称性による非軸対称横磁界及び軸対称磁界の差異を低減し、シンプルでコンパクトな多光軸磁気レンズシステムを提供する。
【解決手段】各サブレンズモジュールの夫々のホールに円形磁気導体リングと円形非磁性体間隙を挿入させる。磁気導体リングと磁気導体板の間には十分な磁気結合が保持され、磁気導体リング内壁上では十分な軸対称スカラーポテンシャル分布が得られる。結果として、共通励起コイルに励起される各サブレンズの磁界はビームのフォーカスに必要な軸対称の磁界成分を適当な程度に留保し、余計な非軸対称横磁界成分をほとんど含まない。さらに、磁気遮蔽管などの磁気遮蔽ものを導入し、各サブレンズモジュールを通過する以前及び以後の荷電粒子ビーム経路上での非軸対称横磁界を取り除く。 （もっと読む）

イオン注入システムと走査システムが提供され、それにおいて、焦点調整用構成要素が、イオンビームに対するスキャナーのゼロフィールド効果を減少させるために、上記イオンビームの焦点特性を調整するために提供される。上記焦点特性は、ワークピースを横切って走査された上記イオンビームのプロファイルが一定になるために、又は、ワークピースを横切るイオン注入が一定になるために調整され得る。方法は、ワークピースに走査されたイオンビームを提供するために開示されており、走査されたイオンビームを生成するために上記イオンビームを走査する工程と、上記イオンビームに対するスキャナーのゼロフィールド効果に関連してイオンビームの焦点特性を調整する工程と、上記イオンビームを上記ワークピースへ向き付ける工程とを含んでいることを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】本発明は、電子ビーム用の開孔が任意の長さの次元であり、且つ、無収差結像を形成するレンズ装置を開発することを課題とする。
【解決手段】円柱レンズに、磁場型レンズが組み合わされており、該磁場型レンズを用いて４極磁場が形成可能であり、レンズは、僅かな間隔又は間隔なしに相互に配設されており、レンズの光軸は、相互に平行であり、磁場型４極子レンズは、間隙状の開孔を有しており、該開孔は、円柱レンズの開孔に対して平行に配向されており、光軸を包囲する４極子レンズの集束面は、開孔の長手軸並びに当該４極子レンズの焦点はずれ面に平行に、長手軸に対して垂直に配向されており、円柱レンズの屈折力は、４極子レンズの屈折力の２倍の大きさに調整可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査型電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置に関し、電子レンズの軸調整を高精度で高速に自動で行なうことができる電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線２を発生させる電子線源１と、発生された電子線２の電流量を制御するコンデンサレンズ４と、前記電子線２をコンデンサレンズ４の軸に合わせるコンデンサレンズ用軸補正偏向器３と、電子線２を観察試料１２上に２次元方向に走査する偏向器７と、電子線２を対物レンズ１１の軸に合わせる対物レンズ用軸補正偏向器８と、電子線２を細かく絞って観察試料１２に照射する対物レンズ１１と、観察試料１２から発生した信号或いは観察試料１２に吸収される電流を検出して観察試料１２の走査信号画像を取得する画像取得手段と、取得した走査信号画像を画像処理する手段とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】電磁界発生素子及び複数のこのような電磁界発生素子を含む多極素子を提供する。
【解決手段】磁極片（１０）と、磁極片（１０）が取り付けられたヨーク（１２）と、少なくとも１つのコイル（２０）と、この少なくとも１つのコイル（２０）を収容する真空気密容器（２１）と、真空気密容器（２１）が磁極片（１０）及びヨーク（１２）から離間するように真空気密容器（２１）を保持するようになったホルダ（４０、２３）とを含む電磁界発生素子（１）。 （もっと読む）

【課題】 本発明は多極子に関し、製造コストを抑え、高加工精度及び高位置精度を確保した多極子電場、多極子磁場、多極子電磁場をそれぞれ独立に発生させることができる多極子を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数の電極子２又は磁極子４で構成され、荷電粒子の運動を制御する多極子において、同軸上に非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体１で支持されるように配置し、前記多磁極子が多電極子の外側に位置するように構成される。非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体で支持し、前記磁極子４が電極子２の外側に位置するようにしたので、製造コストを抑え、高加工精度及び高位置精度を確保した多極子電場、多極子磁場、多極子電磁場をそれぞれ独立に発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料に対してビームを傾斜しても分解能低下の少ない荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】複数のレンズ６，７に対して一次ビーム４の軌道を軸外に通し、その軸外軌道を制御することにより、ビーム傾斜時に対物レンズ７で発生する収差を他のレンズ６の収差でキャンセルする手段を備え、対物レンズを含む複数のレンズの励磁を同時に変調する手段を設けた。 （もっと読む）