【課題】 残留収差を発生させることなく、色収差と球面収差を補正することができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８が接続系２９を介して直列に接続されている（タンデム式）。つまり、色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８は独立して構成されており、色収差と球面収差は別々に補正される。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度で簡単に組み上がる荷電粒子線装置に用いる収差補正器や偏向器用の多極子を実現する。
【解決手段】軟磁性金属若しくは軟磁性金属材と非磁性金属材を用いて構成される複数の極子７を、荷電粒子が通過しうる貫通孔を有する絶縁性の円筒形ハウジング９の内側に設けた光軸０方向に平行な溝１０に嵌め込んで固定して多極子を形成する。これにより１０マイクロメートル以内、角度数秒以内の高精度で、短時間で再現性のよい多極子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡に適し、電気エネルギー供給における変動に感度を有しない補正器を提供する。
【解決手段】本発明は、６つの多極子（１、２、３，４、５、６）を有する、電子顕微鏡における色収差および開口収差を補正するための補正器（９）に関し、該６つの多極子（１、２、３，４、５、６）は、４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）および８極子場の生成のために、光学経路（７）に順に、対称平面（８）に関して対称に配置されており、全６つの多極子（１、２、３，４、５、６）の４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）は順に、互いに対して９０°回転されており、軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の鏡面対象の交換対称性を形成する。 （もっと読む）

【課題】収差、有利には、より高次の収差を低減するためのよりよい補正を提供する。
【解決手段】軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の無収差中間像（９）が１番目の４極子要素（１）の４極子場（１’）に形成され、当該４極子場（１’）は、軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の非点中間像（１２、１３）が３番目の多極子要素（３）および４番目の多極子要素（４）の両４極子場（３’、４’）の中央領域に形成されるように設定され、当該領域において、２番目の４極子要素（２）の４極子場（２’）の設定により、両軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の中間像（１２、１３）が位置するのと同じ面（ｘ、ｙ）の両軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）がそれぞれ最大を示す。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー幅の小さい電子ビームを造り、球面収差補正電子顕微鏡の分解能を更に向上させる。
【解決手段】 電子銃２と観察用試料１１との間に電子線用プリズム３と分散角増幅用レンズ６とアパーチャ８とを設け、該プリズムによって電子線軌道のエネルギー分散を発生させ、分散角増幅用レンズによって分散角を増幅し、その後ろに設けたアパーチャを通り抜ける電子線のみを使って観察用試料の顕微鏡像を作成する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡に於いて、引出電極や加速電極の電位を固定のままでクロスオーバの位置を自由に調整できる機能を実現する。
【解決手段】光軸に添って配置された、３つの電極により構成される第１電極ユニット２４の第１電極４と第３電極９を所定の第１電位、第２電極８を可変の第２電位とし、更に３つの電極より構成される第２電極ユニット２６を備え、第５電極１６を可変の第３電位とする。また、第１加速装置１７と第２加速装置１８を、それぞれ第４、第５の電位に設定する。 （もっと読む）

【課題】 共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。
【解決手段】 電子を放出する電子源と、電子源から放出された電子を加速する手段と、加速された電子線を試料上に収束させる収束レンズと、電子線を試料表面上に走査するための走査コイルと、試料表面に焦点を合わせるための対物レンズと、試料により散乱された電子線の取り込み角度を制御するための投影レンズと、走査顕微鏡像を取得するための走査顕微鏡像検出器と、試料の組成および電子状態を分析する分析装置と、試料厚さを計測するための計測部と、対物レンズの焦点深度を調整する焦点深度調整手段とを有し、対物レンズの前段に対物レンズの球面収差を補正する球面収差補正装置と、対物レンズの色収差を補正および調整する色収差補正装置とを設けるとともに、対物レンズの色収差係数を調整するための制御部と、色収差係数を測定する測定部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 電磁レンズにおける色収差係数測定方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、電子の加速電圧を変化させることなく、一枚の高分解能電子顕微鏡像を取得するだけで簡便に且つ精度良く色収差係数を測定する。
【解決手段】 球面収差補正された電磁レンズを通過した収束電子線を結晶構造及び格子定数が既知の単結晶試料に入射して、分解能が０．３ｎｍ以下の高分解能走査透過電子顕微鏡像を取得する際に連続的に前記電磁レンズの焦点ずれ量を変化させた顕微鏡像を実測により取得し、前記顕微鏡像を走査方向に平均化した強度プロファイルから回帰曲線を求め、前記顕微鏡像と同じ条件で理論計算で求めた理論顕微鏡像の計算結果から得られる色収差係数と前記回帰曲線のパラメータを比較することによって、前記電磁レンズの色収差係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線に対して球面収差と色収差を同時補正する収差補正装置を提供する。
【解決手段】光軸１１に沿って厚みを有し、三回対称の静電場又は静磁場とそれに重畳する二回又は三回対称の静電磁場とを発生する多極子１２、１３を二段設け、該二段の多極子のそれぞれにおいて、所定の加速電圧の電子線１７に対する磁気的偏向力及び電気的偏向力をおおむね相殺するように静電磁場を設定して色収差を補正し、かつ、同多極子１２、１３が生じる三回対称の静電場又は静磁場で球面収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】当該発明は、像の質を改善するための補正器（３３０）及びコントラストを改善するための位相板（３４０）を備えたＴＥＭに関係する。
【解決手段】改善されたＴＥＭは、対物系のレンズ及び位相板の間に完全に置かれた補正系を具備すると共に、位相板における回折平面の拡大された像を形成するために補正器のレンズを使用する。 （もっと読む）

【課題】さらに高次の妨害収差を導入することなく３次の非点収差を除去する。
【解決手段】本発明は、粒子−光学式システムの軸上及び軸外ビーム経路のための補正器に関し、当該補正器は、光軸上のビーム経路に、一方が他方の後方に配置された第１及び第２の補正部を備え、各補正部は、中央平面に関して対称に且つ以下のフィールドを伴って配置された四つの連続する多極子要素をそれぞれ備え、多極子要素のうち、第１及び第４の多極子要素は、４極子フィールドを発生させるために用いられ、第２及び第３の多極子要素は、８極子フィールド及び４極子フィールドを発生させるために用いられ、後者は重畳された磁気及び電気フィールドであり、全四つの多極子要素の４極子フィールドは互いに９０°回転させられている。
【効果】本発明に従い、中央平面に配置された中央多極子要素が８極子フィールドを発生させることにより、３次の非点収差が補正され得る。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡または走査透過型電子顕微鏡における色収差および開口収差を除去する。
【解決手段】光路（９）に連続的に配置された４つの多極子要素を備え、第１の多極子要素（１）および第４の多極子要素（４）は４極子フィールド（５，６）を作るために使用され、第２の（２）および第３の多極子要素（３）は８極子磁場フィールド（７，８）および４極子フィールドを作るために使用され、前記全４つの多極子要素の４極子フィールドは連続的に互いに９０°回転しており、
第２（２）および第３の多極子要素（３）は、１２極子フィールド（２５，２６）を使用して、１２極子要素として設計され、追加の１２極子要素（１３）が、第２の（２）と第３の多極子要素（３）との間に挿入され、かつ、追加の１２極子要素（１３）には、８極子フィールド（１４）が１２極子フィールド（１５）によって重畳される。 （もっと読む）

【課題】
回転対称系における従来の収差補正システムの問題を解決し、低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】
荷電粒子線源から発生する荷電粒子ビームのビーム放射軸を回転軸として分割数２より大きい自然数で分割した角度を有する放射状の平面内に、ビーム放射軸に沿って配置されたコイル群を配置し、荷電粒子ビームの入射軸上に重畳磁界を発生させて荷電粒子ビームの軌道を制御する。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡便な系で透過型電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行うことができ、かつ高分解能観察を実現できる色収差補正装置を提供する。
【解決手段】 第１の四極子場発生多極子２１で凹レンズ効果を発生しても余分な２回非点が残留している。この余分な２回非点を２番目の四極子場のような第２の四極子場発生多極子２３を挿入することで除去する。第２の四極子場発生多極子２３は、その極性を第１の四極子場発生多極子２１と逆極性にする。すなわち、第１と第２の四極子場発生多極子の組み合わせにより、２回非点を相殺し、拡がりを持つ円筒対称型電子線に対して、凹レンズ効果による色収差補正が行える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームの無球面収差化・色消し化・エネルギー単色化を回転対称構造のレンズのみを使って行う荷電粒子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】１９から出た種々のエネルギー値を有するイオン線は１０に入射し、つぎに、３に入射する。３を出たイオン線のうち１８の中心孔を通り抜けたイオン線のみが４に入射し、４で集束されて２を照射する。３の励起電圧を調節することで無球面収差化がなされる。１０の励起電圧を調節することで色消し化、もしくは、エネルギーの単色化がなされる。本発明の解決手段は、（１）２つ以上のレンズを使って１９の像を２の上に投影すること、（２）１９と２との間には、１９と２を含めて少なくとも３つ以上のビームクロスオーバーを産むようにレンズを励起すること、（３）クロスオーバーの少なくとも１つはレンズの作用領域の内部に設けること、である。各レンズの励起強度は荷電粒子線の軌道計算を行って決める。 （もっと読む）

【課題】多極子レンズを多段配置してなる収差補正器において、該多極子レンズを構成する複数の極子を駆動する電源の数を低減し、収差補正の性能を落とすことなく安価な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】収差補正器１０は１段目１１と最終段目１４に静磁型多極子レンズを、間に挟まれた領域に一対の静電・静磁複合型多極子レンズ１２、１３を配置して構成する。該多極子レンズの各極子に備えられたコイルに、発生する磁場の種類に応じた共通電流源を接続することにより電流源の数を低減する。電場を発生させるために各極子に印加する電圧の電圧源も共通化する。電源２６はこれら複数の電流源と電圧源からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明はロンチグラムを用いた収差補正方法及び装置に関し、ロンチグラムを用いた収差補正を自動的に行なうことを目的としている。
【解決手段】電子線を試料上に集束させ、その電子線を試料上で走査して、試料を透過した電子の検出信号を電子線走査に同期させて画像表示する機能を有する電子顕微鏡において、アモルファスの試料のロンチグラムの微小領域の自己相関をとる第１の演算手段と、該自己相関又は該自己相関のフーリエ解析から開口面上における局所角度領域から形成される電子線の収差を検出する検出手段と、該検出結果に基づいて各収差を計算する第２の演算手段と、該演算手段の演算結果に基づいて収差補正動作を制御する制御手段と、を有して構成される。この構成により、ロンチグラムを用いた収差補正を自動的に行なうことができる。 （もっと読む）

各補正部材は、複数の４重極フィールドと少なくとも１つの８重極フィールドから構成されていて、補正部材の真ん中の面に対して対称に構成されていて、奇数の、少なくとも５つの４重極フィールドと、少なくとも１つの８重極フィールドとから構成されており、真ん中の４重極フィールドは、補正部材の真ん中の面に対してセンタリングされて設けられていて電磁性であり、両補正部材の４重極フィールドは逆対称であり、各補正部材間に、トランスファレンズ系が、補正装置の真ん中の面に対して対称に設けられており、丸形レンズを有しているトランスファレンズ系の調整は、両補正部材の真ん中の面が相互にアナモルフィックに結像されるように行われ、一方の主平面内での倍率は、他方の主平面での倍率の逆数であり、各補正部材の真ん中の４重極フィールドは、８重極フィールドによって重畳されている。
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