【課題】 荷電粒子線装置の収差を補正する収差補正器のテーブルデータを容易に取得できる多極子測定装置を提供する。
【解決手段】 光学系１０と収差補正器１１が挿入されるスペースと位置検出器７とを備えた多極子測定装置において、複数の点で行った一次荷電粒子線の収差補正器６への入射位置および角度と位置検出器７上での照射位置と多極子の関係について多極子場を励起した状態および励起しない状態で測定することにより、多極子場を励起した状態に含まれる多極子成分を抽出する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線レンズアレイを構成する絶縁体表面が帯電することによって生じる荷電粒子線の収差を補正することが可能な荷電粒子線レンズアレイを提供する。
【解決手段】荷電粒子源から放射された複数の荷電粒子線の光学特性を制御する荷電粒子線レンズアレイは、絶縁体２Ａ、２Ｂを介して互いに光軸３の方向に離間して支持された複数の電極１Ａ、１Ｂ、１Ｃを有する。電極は荷電粒子線５が通過するための複数の貫通孔４を有する。複数の貫通孔の配置が、２つの並進ベクトルで規定されるそれぞれの基準位置８から、荷電粒子線レンズアレイ内で生じる荷電粒子線の収差を補正する方向にずれている。各貫通孔の基準位置からのずらし量は、基準位置が絶縁体の表面６Ａ、６Ｂに近い程大きく、絶縁体の表面から遠ざかるに従って小さくなる。 （もっと読む）

【課題】イメージシフトの際、両立が困難であった、広い偏向領域と高い寸法計測再現性とを両立できる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子源１０１、偏向手段（１０３、１０４、１０５等）、焦点位置変更手段（１０６、１０８）を制御すると共に検出器１１９により検出された電気信号により画像用データを作成する制御演算部１２１と、撮像条件ごとに登録された補正係数を保存する記録部１２０を有する荷電粒子線装置において、制御演算部は、焦点位置を変えながら複数の画像を取得し、画像内のマークの位置ずれ量と、記録部に登録された補正係数にもとづいて、計測用画像を取得する際に、荷電粒子線のランディング角が垂直となるように光学条件を制御する。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、
収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビ
ーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッテ
ィングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、荷電粒子線を試料へ照射して画像を得る装置において、特にビーム傾斜時のように、垂直ビームとは異なる条件にてビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子線を傾斜して照射する場合に、複数方向の非点補正強度を調整可能な非点補正器について、複数方向の調整強度の組み合わせ毎に評価値を求め、評価値の高い調整強度の組み合わせに基づいて、非点補正器の調整強度の組み合わせを決定する方法、及び装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッティングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【課題】 収差補正にかかる時間を短縮する。
【解決手段】 焦点位置が異なる複数の二次元画像データを検出器２０に取得させる補正用画像取得指示部５２と、焦点位置が異なる複数の二次元画像データのそれぞれに関して、複数の方向における方向性微分値を求める方向性微分演算部５３と、複数の二次元画像データのそれぞれに関する複数の方向における方向性微分値を用いて、予め定められた手法に従って、各収差パラメータを求める収差パラメータ算出部５４と、各収差パラメータを用いて、各収差に対する補正値を求める収差補正値算出部５５と、補正光学系制御手段に補正値を設定し、収差補正器１６により収差補正を実行させる制御部５６と、を備ええている。 （もっと読む）

【課題】試料に形成されたパターンから取得した画像のオートフォーカス評価値を利用して、簡単なアルゴリズムで且つ迅速に非点収差調整を行うこと。
【解決手段】電子ビームを試料Ｗに照射し、該試料から放出される電子、反射電子、後方散乱電子等の二次電子を検出することによって前記試料を観察評価する電子ビーム装置は、電子ビームの非点収差調整を行う非点収差調整手段１７を備え、試料Ｗに形成されたパターンの画像から得たフォーカス評価値を最大にする補正電圧を非点収差調整手段１７に与える。非点収差調整手段１７は電子ビームの光軸を中心として対向する複数対の電極又はコイルを備える多極子である。 （もっと読む）

【課題】電磁レンズの非点収差を定量的且つ高精度に測定できる電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法、及び非点収差補正機能を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ₃等の単結晶試料に電子線を入射し、それにより出現するロンチグラムを撮像部により取得して画像データとする。その後、ロンチグラムの中心位置を決定した後、ロンチグラムを２回フーリエ変換して画像のスケールのキャリブレーションを行う。次いで、ロンチグラムを１回フーリエ変換して１回フーリエ変換像を得る。その後、制御部により１回フーリエ変換像における輝点と結晶軸方向とのずれ量を検出し、非点収差係数を算出する。そして、その結果に基づいて非点収差補正用偏向コイルを制御し、電磁レンズの非点収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】得られた全視野の分割視野においてパターン量に依存せず鮮鋭度または非点収差の評価値を算出できるようにする。【解決手段】試料２１に荷電粒子ビームを照射し、試料２１から発生する荷電粒子ビームにより試料像を形成する走査電子顕微鏡１０の画像鮮鋭度評価を、形成した試料像から得られる画像を分割する画像分割手段４１と、鮮鋭度または非点収差の程度を各分割画像のパターンの数量を算出する工程と、前記算出したパターン量を用いて、パターンの多寡によらない鮮鋭度および非点収差の程度を算出する算出手段４２と、鮮鋭度または非点収差の程度を評価する評価手段４３とを備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、モノクロメータに入射する電子ビームの調整及びモノクロメータの動作条件の調整を自動的に行うことを可能にする。
【解決手段】モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、電子源及びモノクロメータの間に、モノクロメータに入射する電子ビームの集束を調整する第１集束レンズと、モノクロメータに入射する電子ビームの非点収差を補正する第１非点補正レンズとを備え、モノクロメータ内の電子ビームを集束させる位置に配置された電子ビームの調整用試料の画像を取得し、取得された画像に基づいて、モノクロメータに入射する電子ビームの集束及び非点収差を調整するよう第１集束レンズ及び第１非点補正レンズを駆動する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はロンチグラムを用いた収差補正方法及び装置に関し、ロンチグラムを用いた収差補正を自動的に行なうことを目的としている。
【解決手段】電子線を試料上に集束させ、その電子線を試料上で走査して、試料を透過した電子の検出信号を電子線走査に同期させて画像表示する機能を有する電子顕微鏡において、アモルファスの試料のロンチグラムの微小領域の自己相関をとる第１の演算手段と、該自己相関又は該自己相関のフーリエ解析から開口面上における局所角度領域から形成される電子線の収差を検出する検出手段と、該検出結果に基づいて各収差を計算する第２の演算手段と、該演算手段の演算結果に基づいて収差補正動作を制御する制御手段と、を有して構成される。この構成により、ロンチグラムを用いた収差補正を自動的に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査電子顕微鏡におけるレンズエラー決定方法、より詳細にはそのようなレンズエラーの決定を可能にする試料に関する。
【解決手段】 本発明はたとえば、シリコンウエハ上に所謂‘自己集合’する結晶として比較的容易に製造可能な正方晶MgOの使用について説明する。そのような結晶はほぼ理想的な角度及び端部を有する。これは、たとえレンズエラーが存在してもレンズエラーが存在しない状況での明確な像を与えることができる。これは、良好な再構築が各異なるアンダーフォーカス面及びオーバーフォーカス面でのビーム断面で構成されることを可能にする。レンズエラーはこの再構築に基づいて決定可能である。ここでレンズエラーは補正器の手段により補正可能である。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線光学系の収差を分離して測定できるようにし、荷電粒子線光学系の有効領域における収差をバランスよく調整することが可能な収差測定装置を提供する。
【解決手段】 荷電粒子線光学系の収差を測定するために、複数の荷電粒子線を互いに異なる入射角で前記荷電粒子線光学系の物体面に入射させる荷電粒子生成手段と、前記複数の荷電粒子線が、前記荷電粒子線光学系の像面上に結像する位置を検出する検出手段とを有し、前記荷電粒子生成手段は、各荷電粒子線に対応した電子光学系を有し、各電子光学系の瞳位置に、対応する荷電粒子線が互いに異なる入射角で前記物体面に入射するような開口絞りを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロンチグラムから収差係数を決定し各収差を補正する信号を装置にフィードバックすることにより、指定した分解能を有する走査透過像を得ることができることを特徴とした走査透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子線源１、収束レンズ３、スキャンコイル７、暗視野像検出器１３、Ａ／Ｄコンバータ１８、ＣＰＵ２１などから構成される走査透過電子顕微鏡装置において、対物前磁場レンズ８前段に収差補正器５を搭載し、カメラ１５により取得したロンチグラムと任意の構造に対する計算像とのフィッティングにより決定される収差係数から各レンズ、収差補正器の駆動電流をＣＰＵ２１により算出、フィードバックする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は色収差自動補正方法及び装置に関し、通常の操作員が収差補正を意識せずに色収差補正を行なうことができる色収差自動補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料表面像から荷電粒子ビームの形状を抽出する形状抽出手段１３ｂと、抽出された荷電粒子ビームの形状から装置の色収差を算出する色収差算出手段１３ｃと、前記色収差量が所定の値以下になるまで収差補正器６又は対物レンズ４に対してフィードバックを自動でかけるフィードバック手段１３とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法に関し、Ｘ，Ｙ軸から４５゜回転した軸方向にある非点収差を確実に補正することができる電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 ナイフエッジ法を用いたフォーカス調整機構と非点収差補正機構を具備する電子ビーム描画装置であって吸収電子信号検出器としてナイフエッジ法測定器２を用いるものにおいて、非点収差補正器を６用いた非点収差の補正を先に行ない、その後に対物レンズ４を用いたフォーカス調整を行なうようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）