【課題】本発明は、試料を構成する原子および分子の空間的な位置情報と質量情報との両方を同時に高分解能で，しかも高速に測定できるイメージング飛行時間型質量分析装置を提供する
【解決手段】本発明にかかるイメージング質量分析装置１は、レンズ系６０を備えるイオン源１０と、分析部２０と、検出部３０とを備えている。イオン源１０では、試料の広い範囲を同時にイオン化し、上記レンズ系６０を用いて、上記試料のイオン像をそのまま引き出す。その後、分析部２０では、上記試料の上記試料のイオン像をそのまま維持し、上記試料のイオンの質量分離を行う。次に、検出部３０では、試料イオンの到達位置と飛行時間とを同時に検出する。 （もっと読む）

【課題】 測定用ビームば照射された試料から散乱した試料イオンの質量にかかわらず均一な質量分解能を実現し，且つ，コンパクトな装置でありながら長い飛行距離を確保して長時間試料イオンを飛行させることにより高い質量分解能を実現すること。
【解決手段】 測定用ビームＨが試料Ｓに照射されることにより該試料Ｓから散乱した試料イオンの飛行時間に基づいて上記散乱イオンの質量を分析する飛行時間型質量分析装置において，試料Ｓにおける上記測定用ビームＨの照射部を通る所定の基準軸Ｇに沿った所定領域に，その基準軸Ｇに平行な磁場をソレノイドコイル３５で発生させ，発生された磁場中を旋回飛行する試料イオンをイオン検出器２１で検出し，検出された試料イオンの所定距離における飛行時間を測定し，測定された飛行時間に基づいて上記散乱イオンの質量を分析する。 （もっと読む）

【課題】 He由来バックグラウンドの主原因であるHe^*を根本的に除去することができるガスクロマトグラフ質量分析装置を提供する。
【解決手段】 MS部３０の真空チャンバ３１内に配設されたイオン化室３２に排気用開口を設け、該排気用開口に接続された真空ポンプ３８によって生じる圧力差を利用して、イオン化室３２に導入されたHe及びイオン化室３２内で発生したHe^*を信号イオンの取り出し方向とは異なる方向に排出する。 （もっと読む）

【課題】 ３次元微細領域元素分析方法及び３次元微細領域元素分析装置に関し、試料に電界蒸発を起こすのに必要な高電圧パルスを印加することなく、一層ずつ制御された状態で、且つ、構成元素の蒸発電界の違いに影響されずに分析を行う。
【解決手段】 被分析試料１に飽和吸着し、且つ、エネルギービーム５の照射によってエッチングが進行するガス種３を被分析試料１に供給したのち、エネルギービーム５を照射して前記被分析試料１のガス種３の吸着した部分のみを脱離させ、脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なうことによって被分析試料１表面の元素分析を行なう。 （もっと読む）

衝突またはフラグメンテーションセル（５）の上流に配置されたイオン移動度分光計またはセパレータ（３）を含む質量分析計が開示される。イオンは、イオン移動度分光計またはセパレータ（３）内でそのイオン移動度にしたがって分離される。衝突またはフラグメンテーションセル（５）に入射する際のイオンのフラグメンテーションエネルギーを最適化するために、イオン移動度分光計またはセパレータ（３）に存在するイオンの運動エネルギーは時間とともに実質的に直線的に増加される。
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【課題】 ２個以上の原子からなる粒子団を試料表面に照射することにより、試料表面から放出される２次粒子量を大幅に増大させるようにすること。
【解決手段】 炭素非粒子団及び粒子団荷電粒子ａを、質量分析器１により粒子団荷電粒子ｂ１と非粒子団荷電粒子ｂ２とに選別し、これらの粒子団荷電粒子ｂ１と非粒子団荷電粒子ｂ２を物質表面に照射する。荷電粒子を粒子団で物質に照射すると、粒子団が被照射物質と衝突する際に、粒子の有するエネルギーが物質表面の狭い領域に集中し、エネルギー密度の高い場が生じる。このような荷電粒子団の照射による特異的な高密度エネルギー場の中では、イオン化反応が促進され、非粒子団照射時に比べて生成される２次粒子の量が増加する。また、荷電粒子団の代わりに中性粒子団を用いた場合にも同様の効果を奏する。 （もっと読む）