【課題】 半導体ウエハーのような洗浄対象物に対し最も効果的な洗浄がおこなえる枚葉式洗浄方法及び洗浄装置の提供にある。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物を支持する支持部材２２，２８と、支持部材に支持された被洗浄物の洗浄面に対向配置される超音波振動板３２と、該振動板と被洗浄物との間に洗浄液を供給する液供給ノズル３６と、支持部材を振動板面に対し平行移動させる駆動部材２６と、振動板を超音波振動させる超音波発振器３４とを備え、振動板の振動面を、被洗浄物の洗浄面に対し数ｍｍ以内でかつ洗浄面における平均音圧が最高点またはその近傍以内の位置に近接配備され、支持部材に支持された被洗浄物Ｗを移動させながら振動板を超音波振動させて、介在する洗浄液により被洗浄物面を洗浄するように構成している。 （もっと読む）

【課題】発熱体層における各パッド近傍部位の破壊を防止でき、長期間にわたって超音波域の圧力波を安定して発生可能な圧力波発生素子を提供する。
【解決手段】支持基板としてのシリコン基板からなる半導体基板１と、半導体基板１のの一表面側に形成された発熱体層３と、半導体基板１の上記一表面側で半導体基板１と発熱体層３との間に介在する多孔質シリコン層からなる熱絶縁層２と、発熱体層３の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッド４，４とを備え、一対のパッド４，４を介した発熱体層３への通電に伴う発熱体層３と媒体との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子であって、発熱体層３と各パッド４，４それぞれとの間に介在し発熱体層３と各パッド４，４それぞれとの反応を防止する一対のバリア層５，５を設けてある。 （もっと読む）

【課題】発熱体層の材料として金を採用する場合に比べて高出力化を図れる圧力波発生素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板からなる支持基板１と支持基板１の一表面側に設けられる発熱体層３との間に多孔質シリコン層からなる断熱層２が設けられ、発熱体層３への通電による発熱体層３の温度変化に伴って発熱体層３と空気との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子であって、発熱体層３の材料として、ヤング率が１７０ＧＰａを下回らない金属材料（例えば、Ｐｔ、Ｍｏ、Ｉｒ、Ｗ）を用いている。 （もっと読む）

【課題】 汚れの落ちにくい箇所の汚れを良く落とし、且つ十分な抗菌力を与えることのできる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】 超音波洗浄装置１は、筐体１１の中に超音波振動ホーン２１を有する。超音波振動ホーン２１のヘッド部２２は筐体１１の開口部１４から露出し、ここに被洗浄物が押し付けられる。ヘッド部２２には給水部２６より水を供給する。この水の中に、イオン溶出ユニット３０が金属イオンを溶出させる。イオン溶出ユニット３０は、銀、銅、亜鉛などの金属からなる電極３４、３５に電圧を印加して、抗菌作用を有する金属イオンを溶出させるものである。超音波洗浄装置１はベース１２により任意位置に取り付けられる。 （もっと読む）

処理効率及び／又は有効性を増大させつつ、処理中に基板装置へのダメージを最小限にすることのできる、音響エネルギ源にパワーを供給する方法及び装置。本装置及び方法は、音響エネルギ源を駆動するために使用する電気信号の振幅を変動させ、及び／又は振動数を変化させるというコンセプトを利用するものである。これにより、基板に適用される音響エネルギの振幅及び振動数が、対応する形で変動し及び／又は変化する。音響エネルギで基板を処理する方法は、ａ）少なくとも一つの基板を処理チャンバ内に支持する、ｂ）ベースとなる電気信号を生成する、ｃ）該ベースとなる電気信号をアンプに伝達し、該アンプが該ベースとなる電気信号を最大振幅を有する出力電気信号に変換する、ｄ）該出力電気信号をトランスデューサに伝達して、該トランスデューサ該は出力電気信号を対応する音響エネルギに変換する、ｅ）該音響エネルギを、前記処理チャンバ内に支持された前記少なくとの一つの基板上に適用する、ｆ）該出力電気信号の最大振幅を変動させる、ことから構成される。
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【課題】 内部に超音波放射面を有するノズルから液体を流出させて被洗浄部位と接触させることで超音波の伝播路を形成し、前記被洗浄部位を超音波振動で洗浄するようにしたノズルシャワー式の超音波洗浄装置において、あらゆる汚れに対応できるようにする。
【解決手段】 超音波伝達体５および超音波振動子４の中心部に管路２３を形成し、該管路２３を経て超音波放射面５ａの中心部から液体を吐出するようにし、駆動回路６は、超音波洗浄モードよりも多くの流量によって前記被洗浄部位を洗浄する高圧洗浄モードでの洗浄を可能にする。したがって、超音波洗浄モードで歯垢や皮脂等の強固に付着している汚れを除去（剥離）し、高圧洗浄モードで、前記超音波洗浄モードで剥がし取られた汚れや、食物残渣等を流し飛ばし、１台であらゆる汚れに効果的な洗浄を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な高周波整流や高周波演算を行うことがなく、簡単な回路と低コストの手法によって超音波装置における負荷の変動を確実に判別できる方法を提供すること。
【解決手段】 超音波装置におけるパワーアンプへの供給直流電源８の印加電圧と印加電流を計測して超音波振動子９への負荷量を演算器28により算出し、算出された負荷量が設定した値を超えたときは、所定乃至定格の振動振幅を印加し、負荷量が設定値を下回ったときは、小さな振幅に戻すか、振動を停止させること。 （もっと読む）

【課題】薄板状またはシート状の被洗浄物の洗浄でも槽両側の振動子により定在波を発生させる調節ができ、洗浄液を励起して均一な洗浄が可能な超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留した超音波洗浄槽１０内側の両側面にお互い平行に対向する一対の振動子１２を備えてこの振動子１２の間に被洗浄物１を設置して超音波洗浄する超音波洗浄装置であって、超音波洗浄槽１０内に延在して振動子１２が対向する間を遮断するとともに内部に密閉した中空部１４ａを備えて両側面を薄板状の隔壁１４ｂにより形成することでこの中空部１４ａを介した隔壁１４ｂが振動子１２による両側からの超音波を各々外側に反射して干渉を防止する反射板１４を備え、この反射板１４から両側の振動子１２までの距離Ｌをλ／４＋１／２＊ｎにして定在波を発生させ、この定在波が発生した反射板１４の両側で薄板状またはシート状の被洗浄物を洗浄する。 （もっと読む）

超音波処理装置および超音波処理の方法に係る発明が開示されている。この発明は、超音波洗浄または超音波処理すべきコンポーネントを入れたタンクに満たされた液体に超音波エネルギーを供給するために、少なくとも二つの異なった応答周波数を持つ複数のトランスデューサを使用するものである。各トランスデューサは、異なった周波数を持つトランスデューサと隣接するように、タンクの壁の対角線に沿って正三角形状に配置される。これとは別の装置として、タンクに種々の周波数を混合した超音波エネルギーを供給することができるようにするために、異なった応答周波数を有する一つまたはそれ以上のロッド・トランスデューサを使用したものがある。更に本発明の別の特徴点として、除外された周波数範囲の外側に存在する、異なった応答周波数を持つトランスデューサを選択して使用すると共に、トランスデューサの応答周波数範囲と除外された周波数範囲の全体にわたったスイープされる駆動信号によってそのトランスデューサへ電力を供給するようにすることもできる。 （もっと読む）