【課題】簡単な構造で処理槽の中央部と壁側との超音波出力を調節可能にし、超音波振動子ごとに超音波出力を調整して音圧分布の均一化を図る超音波処理装置を提供する。
【解決手段】超音波発振器より超音波出力を入力することが可能な超音波振動子３を処理液２で満たされた処理槽１０底面の輻射板１２に外側底部の設置面１２ｂから配置させて励振させることで処理液２中の被洗浄物１を洗浄する超音波洗浄装置であって、処理槽１０の輻射板１２に中央の中央部Ａ及びその周囲の壁側Ｂからなる設置面１２ｂを設定し、この設置面１２ｂ内で処理槽１０の洗浄状態に応じて、超音波発振器により中央部Ａに低い超音波出力を入力して励振させる超音波振動子３Ａと、壁側Ｂに高い超音波出力を入力して励振させる超音波振動子３Ｂとを各々分けて備える。 （もっと読む）

【課題】照射効率の高い超音波照射装置を提供する。
【解決手段】超音波振動子３４から発生させた超音波を音響レンズ３２でライン状に集束させて、供給される洗浄液に照射することで被洗浄基板を洗浄する超音波洗浄装置１０において、音響レンズ３２は、表裏面のうち一方面が円弧状、他方面が平面状の凹型レンズに形成され、他方面に超音波振動子３４が設けられるとともに、複数の部材３２ａ、３２ｂ、３２ｃを音響レンズ３２の平面方向で組み合わせて形成されており、複数の部材３２ａ、３２ｂ、３２ｃは各々、前記表裏面の間の厚さが前記超音波の波長の１／２の整数倍で形成される。 （もっと読む）

【課題】デジタル化した超音波振動子の共振周波数追従装置を提供する。
【解決手段】駆動時の超音波振動子に印加される電圧と電流とを検出し、検出電圧及び検出電流を矩形波に変換する波形整形手段と、前記検出電圧の矩形波と前記検出電流の矩形波との位相差を表す基準クロック数Δφを算出する位相差算出手段３０と、前記基準クロック数Δφを基に前記位相増加分を生成する入力値算出手段４０と、前記位相増加分が逐次入力するＤＤＳ５０で生成された波形の信号を増幅して超音波振動子の印加電圧を生成する増幅手段とを備え、位相差算出手段３０、入力値算出手段４０及びＤＤＳ５０がデジタルデジタル回路で構成されていることを特徴としている。位相差算出手段３０、入力値算出手段４０及びＤＤＳ５０を１チップ化することができる。
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トランスデューサー、それを製造するシステム及び方法は、圧電ピラーの複合物を利用する。一実施形態において、本発明は、音響エネルギーを発生させるための装置であって、圧電物質で造られる複数のピラーを含んでおり、ピラーは、隣接したピラー間に空間が存在するように離隔方式で配列されており、ピラーは、幅と、上面と底面との間で延びる高さとを有しており、ピラーの高さは、ピラーの幅よりさらに大きく、空間は、複合アセンブリーを形成するように弾性物質で満たされている。
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【課題】圧電振動子の形状が平板形状でありながらも、所望の方向に振動を伝播させることができる圧電振動子及びその製造方法を提供し、さらに該圧電振動子を使用することにより、装置設計が圧電振動子に制限されず且つ洗浄性能がより向上できる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持手段１１と、圧電振動子１５の振動を洗浄液１４に伝播させて基板Ｗを超音波洗浄する洗浄手段１２と、圧電振動子１５に高周波電圧を印加する超音波発振器１３を有する超音波洗浄装置１０において、圧電振動子１５は、振動電極１６ａ、１６ｂの形成された平板形状の圧電振動子であり、該平板形状の圧電振動子１５は、その分極軸Ｐが厚み方向Ｔに対して所望の角度に傾斜したものであることを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の電気機械変換効率等の評価値を容易に管理できるようにする。
【解決手段】超音波発振回路に駆動されて超音波振動する超音波振動子１０６を内蔵し、超音波振動子１０６の振動輻射面１０６ａに接する液室１０８を有してこの液室１０８に連通する液体供給口１０９とノズル１０７と排気口１１０とを有するケーシング１０２を設け、超音波振動中の超音波振動子１０６の抵抗成分を測定する抵抗成分測定回路を設け、超音波振動子１０６を超音波振動させるに先立って、（１）排気口１１０と外部との間に介在する電磁バルブを開放動作させ、（２）液体供給口１０９を介して液室１０８に液体を供給し、（３）液室１０８に液体が供給されていない状態と供給されている状態とでの抵抗成分測定回路による超音波振動子１０６の抵抗成分の測定値を比較し、超音波振動子１０６の電気機械変換効率を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】
回転体を使用することなく流体を回転させることができる超音波流体移動装置およびこれを使用したポンプ並びに攪拌器にを提供する。
【解決手段】
流体Ｆが収容されまたは通過する空洞を有するステータ１１と、前記ステータの外面に周方向に沿って取り付けられた複数の超音波発生素子１３１〜１３４とからなり、前記複数の超音波発生素子１３１〜１３４は前記空洞内の流体を移動する力を生成する。複数の超音波発生素子１３１〜１３４には、位相が９０°ずつ異なる交流電圧Ｖ_１〜Ｖ_４が印加される。 （もっと読む）

【課題】厚み方向の振動変位分布の不均一さを緩和し、また、共振周波数の変化ならびに厚み振動の減衰を軽減する。
【解決手段】圧電セラミックスを用いた振動子において、所望の厚さを有する圧電セラミックスと、上記圧電セラミックスを第１の方向に延長して貫通する第１の孔と、上記圧電セラミックスを上記第１の方向と直交する第２の方向に延長して貫通する第２の孔と、上記圧電セラミックスの第１の面に配設された第１の電極と、上記第１の面とは異なる第２の面に配設された第２の電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液量を少なくでき、超音波振動子の負荷が小さく、超音波の伝達ロスを最小にでき、超音波振動子の負荷となるロスが少ない平面形状部品の洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄すべき平面形状部品２を収納可能でほぼ長方体の洗浄槽１の相対する３組の面のうち、平面形状部品２の平面にほぼ平行な面であって最短の距離ｓ１で対向する２面のうち１面は上下左右の４辺にゴムパッキング１２を設けて液密にした可動壁板１ａで、この２面のいずれか一方、あるいは両方に超音波振動子４を取り付け、洗浄槽１の中を洗浄液３で満たしたうえで可動壁板１ａを前後に移動調整して超音波振動子４を振動させて洗浄する。 （もっと読む）

【課題】プリオンの破壊または不活性化のために従来必要とされている厳しい条件を用いることなく、プリオンの除去に有効な殺菌方法を提供する。
【解決手段】超音波エネルギーと酵素処理との組み合わせを用いてプリオン分子を破壊する。本発明の方法は、プリオンタンパク質またはその代替物で汚染された表面を殺菌する方法であって、前記表面を、超音波エネルギー、電界、磁界及びそれらの組み合わせからなる群より選択されるプリオンタンパク質変性手段で処理するステップと、前記表面を、前記プリオンタンパク質を非感染性断片に開裂するのに有効な１つ若しくは複数の酵素を含有しかつ界面活性剤を実質的に含有しない分解組成物で処理するステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置の効率を極大化することができる、共振を利用し、より微細な汚染源を除去し得る超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】ガラス表面に付着された異物を除去するために、ブロワーからエアを受け、スロット状のエア噴射口を通じて前記ガラス表面にエアを噴射するエア供給部；前記エア供給部から噴射されるエアに超音波を発生させることで、前記噴射されるエアに振動を印加する超音波発生装置；前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、前記ガラスと異物間の静電気発生を防止するイオナイザ；及び前記エア供給部から噴射されたエアと前記エアにより除去された異物とを排出装置により吸いこみ、エア吸入口を通じて排出するエア吸入部；を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体に付着した塵埃又は汚れを簡単な構造で効率的に除去することができる超音波除塵装置を提供する。
【解決手段】超音波除塵装置10は、超音波放出口18を備える超音波反射箱12と、超音波反射箱12内で振動する振動板21と、振動板21に結合された振動子25とを有している。そして、超音波放出口18の口縁と振動板21の中心を結ぶ方向θが振動板21から放射される超音波の主極方向にほぼ等しくなっている。この超音波除塵装置10は、さらに、超音波放出口の近辺に吸引口を開口する粉塵吸引手段を設けることによって、非常に微細な又は浮遊しやすい粉塵を効率よく除去することができる超音波除塵装置を構成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所望の駆動周波数に容易に設定可能な圧電振動子の駆動装置及び超音波髪処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧電振動子の駆動装置は、制御電圧の電圧値に応じて発振周波数が制御されるＶＣＯ１１４と、ＶＣＯ１１４から出力された出力信号を固定の第１分周比で分周し分周信号として出力する固定分周器１１５と、第１基準信号を生成する基準発振部１１１Ａと、分周信号の位相と第１基準信号の位相との差に応じた誤差信号を出力する位相比較器１１２と、この誤差信号を濾波し制御電圧として出力するＬＰＦ１１３とを備え、基準発振部１１１Ａが、第２基準信号を生成する発振器１１１１と、第２基準信号を可変の第２分周比で分周し第１基準信号として出力する可変分周器１１１２と、第２分周比の設定を受け付けてこの第２分周比で発振器１１１１の第２基準信号を分周するように可変分周器１１１２を制御する分周制御部１１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンポジット振動子等を用いた従来の超音波輻射体よりも高効率で均一な縦振動を発生させることができる超音波輻射体および超音波輻射体の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミック振動子と輻射板材とが接合された超音波輻射体であって、前記圧電セラミック振動子は前記輻射板材との接合面に溝を有し、かつ該圧電セラミック振動子の溝の内部が空隙となっているものである超音波輻射体、および圧電セラミック振動子と輻射板材とを接合して製造する超音波輻射体の製造方法であって、輻射板材との接合面に溝を有する圧電セラミック振動子を作製し、該圧電セラミック振動子と前記輻射板とを接合することによって、該圧電セラミック振動子の溝の内部が空隙となるようにして超音波輻射体を製造する超音波輻射体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】振動板全体のキャパシタンスによらず、高周波、大面積の振動板を低電流で駆動でき、洗浄液に同位相の超音波振動を印加でき、コストダウン及びスリム設計も図れる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、洗浄液４が収容される洗浄槽３と、該洗浄槽３の壁面に配置され、洗浄槽３に超音波振動を印加する輻射板７と、該輻射板７を振動させるために接合された複数の振動板２と、該複数の振動板２を振動させるための発振器１を具備する超音波洗浄装置１０において、隣接する２つの振動板２の間は、電気的に直列接続され、該直列接続された２つの振動板２は１台の発振器１により駆動されるものであることを特徴とする超音波洗浄装置１０。 （もっと読む）

【課題】間接照射方式の超音波洗浄装置において、洗浄槽内の音圧を安定させやすく、洗浄力を安定させることのできる超音波洗浄装置の提供にある。
【解決手段】底面に超音波振動板１３が取り付けられ、内部に超音波振動を伝達する間接水１４を貯留する外槽１２と、該外槽１２の内部に配置され底面１１ａが超音波振動板１３から所定の間隔Ｌを有し、内部に洗浄液１５を入れて浸漬させた被洗浄物を間接水１４を介して伝搬する超音波振動により洗浄する洗浄槽１１とを備え、かつ間接水１４の液温を調整する調温ユニット１７を有し、前記所定の間隔Ｌを、Ｌ＝（λ／２）×ｎ＋λ／４、ｎは０≦ｎ≦３０の整数、λは間接水中での超音波の波長で示されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】基準周波数の付近に複数の共振点を有し、これらの共振点の周波数で駆動することにより、各周波数の超音波を放射できる超音波多周波振動体を提供する。
【解決手段】軸線ＡＸ方向に延びる形態を有する超音波多周波振動体１０は、主部１１Ａ，１１Ｂ、及びこれらの間に配置された結合部１２Ａを有する。主部１１Ａ，１１Ｂは、この主部を単独で取り出したと仮定したとき、基準周波数ｆ₀の超音波振動で共振する形態とされてなる。結合部１２Ａは、軸線ＡＸ方向の長さＬＳが、０＜ＬＳ＜λｓ／２を満たす。超音波多周波振動体１０は、基準周波数ｆ₀の付近に、全体が共振する共振点が２ヶ以下現れる周波数特性を有する。 （もっと読む）

【課題】一素子で低周波と高周波とを発振きる超音波洗浄用振動子を利用した超精密洗浄が可能な超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置において、同一の超音波振動子１３により低い周波数の超音波とそれより高い周波数の超音波とを発振させる際に、超音波振動子１３に供給される駆動周波数の共振周波数を低い周波数に対し高次共振周波数とし、少なくとも低高２周波の超音波を切り替えて洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 超音波洗浄器において、洗浄槽中の洗浄液にほぼ均一で超音波振動を発生させ、洗浄対象物の汚れをムラなく短時間で除去することを提供すること。
【解決手段】 洗浄槽２の底面を構成する底板４は、２３６ｍｍ角で厚さが２ｍｍのステンレス（ＳＵＳ３１６）板である。そして１０８個の圧電セラミック９を、ステンレス（ＳＵＳ３１６）板にエポキシ樹脂を用いて接合している。１個の圧電セラミック９の形状は、長さ５８ｍｍ、幅２．０ｍｍそして厚さ３．０ｍｍである。また、分極方向は厚さ方向である。なお、１個の圧電セラミック９だけの所望の振動モードの共振周波数は約４６０ＫＨｚであるが、底板４と１０８個の圧電セラミック９を接合した構成の超音波振動子の共振周波数は、約４４０ＫＨｚである。次に図示しない超音波駆動回路より約４１５ＫＨｚの周波数の交流電圧を、リード線を通して圧電セラミックに印加する。 （もっと読む）

【課題】音圧分布を均一に保って、被洗浄物の全面にわたり音圧均一な洗浄が行える超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を噴射させるスリットが形成された洗浄液溜槽と、スリットに沿って洗浄液溜槽内に備えられた超音波振動体とを有し、被洗浄物がスリットに直交する方向に移動されることによって洗浄が行われる超音波洗浄装置であって、超音波振動体は短冊形状の超音波振動素子を複数個、端面が相接するように長さ方向に並べて振動板上に配置・接着された複合素子配置構造によって形成され、超音波振動素子それぞれの相接する端面の一部分のみがスリットに直交方向に沿う又は点で交差するような嵌合形状とし、超音波振動素子それぞれの相接する端面において超音波音圧の低下が抑制されて超音波振動体のスリットから噴射する洗浄液の全面において実質上均一な超音波放射特性が得られる構成とした。 （もっと読む）