【課題】超音波発振器の発振周波数と超音波振動子の共振周波数とを簡単に整合できる超音波洗浄機及び超音波洗浄機の周波数整合方法を提供する。
【解決手段】超音波発振器で発生した高周波電力を、超音波振動子により超音波振動として洗浄液に印加して、被洗浄物を洗浄する超音波洗浄機であって、少なくとも、超音波発振器と、超音波振動子と、前記超音波発振器と前記超音波振動子とを接続する電力ケーブルと、該電力ケーブルに接続され、かつプラス電極側にコンデンサが直列接続された及び／又はコンデンサが並列接続された、前記超音波発振器の発振周波数と前記超音波振動子の共振周波数とを整合させるための周波数整合アダプタとを備えるものであることを特徴とする超音波洗浄機。 （もっと読む）

【課題】 洗浄能力が高く、かつ均一な音場を持つノズルシャワー式の超音波洗浄器を提供すること。
【解決手段】 ノズルシャワー式の超音波洗浄器に用いられる超音波振動体２は、筐体５の上部の金属材料に圧電素子３である圧電セラミックを接合して形成されている。２００ＫＨｚ用の圧電セラミックの寸法はＬが６０ｍｍ、Ｈが６．５ｍｍそしてＷが４．５ｍｍであり、圧電セラミックだけの所望のモードの固有振動数は約２４０ＫＨｚである。 （もっと読む）

【課題】脱気効率に優れ、コスト廉価で維持管理も容易な脱気装置と、この脱気装置を用いた超音波洗浄装置を提供すること。また、マイクロバブルの存在下で被洗浄物の超音波洗浄を行なうようにした超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】超洗浄槽１内の洗浄液２を循環ポンプ８によって吸引して所定の経路を循環させた後、再び洗浄槽に戻すようにした洗浄液循環路７を形成するとともに、該洗浄液循環路の経路途中に、キャビテーションによって洗浄液中の溶存空気を気泡化する脱気装置９を接続し、該脱気装置９によって洗浄液循環路７内を流れる洗浄液中の溶存空気を気泡化し、該気泡化した溶存空気を洗浄液とともに洗浄槽１へ還流することにより、気泡化した溶存空気を洗浄槽の液面から槽外へ排出するようにした。また、循環ポンプ８としてプロペラ式のポンプを用いるとともに、洗浄液の溶存空気濃度を２．５〜３．５ｍｇ／ｌの範囲に制御した。 （もっと読む）

【課題】 小型化、軽量化およびコストダウン化が図れるようにした低振動の振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 可動部２７と、この可動部２７を電磁力で往復駆動させる電磁駆動部２８とを備え、可動部２７と電磁駆動部２８とを本体ケース３０内に往復動可能に収納して、この本体ケース３０内で、可動部２７と電磁駆動部２８とを逆位相で往復動させることにより、可動部２７と逆位相で往復動する電磁駆動部２８が振幅制御錘の役割を兼ねるから、振幅制御錘を別に配置する必要が無くなるので、振幅制御錘を配置するためのスペースが不要となって小型化でき、振幅制御錘自体も不要となって軽量化やコストダウン化が図れるようになる。 （もっと読む）

【課題】 電動モータの起動性が向上するようにした振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 回転可能な回転円板１６と、軸方向に移動可能な軸動円板１７とを対向配置し、これら各円板１６，１７の対向面の円周方向に、交互に異なる磁極の永久磁石１８，１９を配列して、回転円板１６を電動モータ２０で回転させることにより、軸動円板１７に対して磁気的に吸引・反発を行わせることで、軸動円板１７とともに出力軸２１が軸方向に往復動する振動型アクチュエータ２６において、少なくとも一方の永久磁石１８（１９）の表面部分に磁性体４８を設けることで、永久磁石１８，１９間に流れる磁束が磁性体４８にも流れるようになるために、永久磁石１８，１９間の磁束が弱くなって、トルクが大幅に低減することから、電動モータ２０を小電力で起動できるので、起動性が向上するようになる。 （もっと読む）

【課題】発振回路部と洗浄水噴射部をモジュール化し、小型化が可能な家庭用噴射式超音波洗浄器を提供する。
【解決手段】全体が、超音波振動子１２０、放熱板１３０を含む発振部モジュール１００と、流路ハウジング２２０を含む噴射部モジュール２００とから構成される。発振部モジュール１００は、発振回路部１１０の下側に配置された超音波振動子１２０と、上記発振回路部１１０を収容し、振動子１２０の装着のための振動子装着開口１３４が形成された放熱板１３０を含む。噴射部モジュール２００は、発振部モジュール１００の下側に装着され、原水が流入する原水流入部２１０から流入した原水が通過する内部流路が形成された流路ハウジング２２０、上記内部流路から供給された原水を外部に噴射する噴射ノズル２６０を含む。発信回路部と超音波振動子の距離が短くなる。 （もっと読む）

【課題】 小型であっても的確に振動できる。
【解決手段】 振動回路１２は、第１トランジスタ２８および第２トランジスタ３０と、振動子２０およびコイル３４からなる装置と、検出回路２２と、マイコン２４とを含む。
第１トランジスタ２８および第２トランジスタ３０は、電圧が周期的に変動する電力を生成する。振動子２０およびコイル３４からなる装置は、第１トランジスタ２８および第２トランジスタ３０が生成した電力の供給を受けて振動する。検出回路２２は、振動子２０およびコイル３４からなる装置の振動の振幅を検出する。コンピュータは、振動子２０およびコイル３４からなる装置の振動の振幅が所定の範囲内の振幅となるように、第１トランジスタ２８および第２トランジスタ３０が生成する電力の電圧の周波数を制御する。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波基板洗浄装置では、被洗浄基板が超音波によってダメージを受けるという問題がある。
【解決手段】 棒状ホーン７の一端は斜めに切断されて、傾斜面７ａが形成され、棒状ホーン７の他端に膨大部７ｂが構成されて、この膨大部７ｂに圧電体振動子８が装着され、この圧電体振動子８を覆うように振動子ケース９が棒状ホーン１の膨大部９ｂにパッキン１０を介してネジ１１で固定され、振動子ケース９の端部をケーブル１２が貫通し、ケーブル１２のコード１２ａが圧電体振動子８に接続されている。 （もっと読む）

実質的に一様なキャビテーションの場を増強するためのシステム及び方法である。容器（１０３）を分割しているダイヤフラム（１０９）を有するシステム（１００）により、空洞Ｃの圧壊のため発生した第１のエネルギーパルスに対応して第２のエネルギーパルスが作られ、そして対応した変換器１２１−ｋを調整するか否かを決定するために使用される。システム（１６）において、変換器の組立体１５−ｉを有する空洞発生ユニット（１１）は、変換器の試験後、試験液から粒子除去（ＰＲ）液に動くことができる。別のシステムにおいては、センサー１７１−ｊのアレイを有するセンサー板（１７０）が、仮想ウエハーを提供する。キャビテーションの実質的に均一な場は、空洞増強液又は変換器エネルギーの調整により維持することができる。対象物保持機構が実質的に均一なキャビテーションを作る。キャビテーション密度を単調に減少させ及び／又は増加させる容器内の向かい合った変換器が、実質的に均一なキャビテーション密度を作る。 （もっと読む）

【課題】 負荷の共振周波数の変化が早くても、単位時間当たり平均して一定の超音波電力を超音波洗浄装置の超音波振動子に供給することができる超音波洗浄装置の超音波電力供給方法および超音波電力供給装置を提供すること。
【解決手段】 超音波発振器で発振された超音波信号をドライブアンプで増幅し、さらにパワーアンプで電力増幅した後、超音波洗浄装置の超音波振動子に供給するようにした超音波洗浄装置の超音波電力供給方法において、パワーアンプの熱損失による温度上昇を測定し、測定された温度が、熱損失が少ない所定の温度となるようにパワーアンプの信号入力状態を制御することにより、パワーアンプ出力の超音波電力を制御する。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単であってしかも超音波エネルギーを利用した液体処理を効率よく行うことができる超音波処理装置を提供する。
【解決手段】超音波反応装置１０は、超音波を発生させるための超音波振動子１３を底部１９の外側に設置してなる反応槽１２を備える。反応槽１２内は仕切り板１５で上下に区画されている。仕切り板１５の下側の領域は二次処理室１６として用いられ、上側の領域は一次処理室１７として用いられる。一次処理室１７内には、超音波照射によって処理される被処理液体Ｗ１が最初に供給される。二次処理室１６内には、一次処理室１７を通過した被処理液体Ｗ１が通路２６を介して供給される。二次処理室１６内の被処理液体Ｗ１は、超音波を一次処理室１７内の被処理液体Ｗ１に伝播させる媒体として作用する。 （もっと読む）

【課題】配管等の被洗浄体に超音波振動を与えることにより、被洗浄体に付着した付着物を、気相中で除去する装置、及び除去方法を提供するものである。
【解決手段】本発明は、超音波を用いて、円管５等の被洗浄体の共振周波数に合わせ、被洗浄体を励振させる方法であり、超音波の縦振動子２をホーン３を介して、円管５等の被洗浄体に固定し、縦振動子２の超音波で被洗浄体を励振し、被洗浄体にたわみ振動モードを与えることで、被洗浄体に付着した付着物を気相中で除去する。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波美容器では、超音波出力を大きくするために、振動板にソリッド型の圧電素子を複数枚接着することが必要であり、そのため、振動の位相を合わせる接着位置の調整が困難であるというという問題があった。
【解決手段】 ランジュバン型振動子３は圧電素子４をホーン５及び後部金属ブロック６で挟持して固定したもので、このランジュバン型振動子３のホーン５の先端５ａに切り込み５ｂを形成し、この切り込み５ｂに振動板７の端部７ａの一部を挿入し、ホーン５の切り込み５ｂの近傍に形成したネジ孔５ｃに止めネジ８を挿入して固定する。 （もっと読む）

本発明は、圧電変換器に熱について有利な方法で結合された伝熱要素を有する棒形状の超音波共振器に関する。棒形状の共振器が浴に沈められるとき、伝熱要素は、周囲の空気、または筐体に関する、従って浴に関する熱抵抗を減少する。
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【課題】 大型の被洗浄物に対しても全面にわたって充分な強度の超音波振動を印加した洗浄液を供給することができる超音波洗浄装置用振動板を提供する。
【解決手段】 超音波を発振する超音波振動子２１と、超音波振動子２１によって発振される超音波振動が伝播される振動板２２とを含む超音波洗浄装置用振動板２０において、超音波振動子２１の熱膨張係数と振動板２２の熱膨張係数との差が、±１．７×１０^−６／℃以下になるように構成する。 （もっと読む）

【課題】音を聴取したいときと、聴取したくないときの切り換えができるようにする。
【解決手段】壁部２へ振動を伝達させないように振動発生器３を前記壁部２に取り付け、前記振動発生器３の振動出力部５を壁部２から離している。そして、前記振動出力部５に着脱可能な振動具１４（枕）を配設している。振動発生器３の振動出力部５に振動具１４を当接させると、振動出力部５の振動が振動具１４に伝達され、振動具１４自体が発音体となって発音する。そして、振動発生器３の振動出力部５から振動具１４を分離又は離反などさせると、振動発生器３の振動が伝達されなくなり、発音させない状態となる。このように、この発明では発音状態と、発音させない状態とを選択的に切り換えて使用することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置では、超音波と洗浄液又は流体ジェットによる洗浄であるので、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題がある。
【解決手段】 被洗浄基板９に対してホーン１０が適宜傾斜されて装着され、ホーン１０の先端に柔軟性の材質からなる球面振動体１１が装着され、ホーン１０の先端と対向する背面に圧電体振動子１２が装着され、圧電体振動子１２には高周波発振器１３及び低周波発振器１４が接続され、ホーン１０の側部に注水ノズル１５が装着され、注水ノズル１５からの洗浄液は球面振動体１１に沿って流れるように噴射されている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基板（２０２）を洗浄するシステムおよび方法は、トランスデューサ（２１０）と基板（２０２）とを含むメガソニックチャンバ（２０６）を備える。トランスデューサ（２１０）は、基板（２０２）の方を向いている。トランスデューサ（２１０）と基板（２０２）とは、可変距離ｄによって隔てられる。システム（２００）は、また、トランスデューサに結合された出力部を有する動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）を備える。動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）は、発振器（３０６）の出力電圧の位相とＲＦ発生器の出力電圧の位相とを比較することによって制御することができる。動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）は、また、出力信号のピーク電圧をモニタし、そのピーク電圧を所定の電圧範囲内に維持するようにＲＦ発生器を制御することによって制御することもできる。動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）は、可変の直流電圧源を動的に制御することによって制御することもできる。
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【課題】ガラス基板の表面を傷つけたり、破損させたりすることなく、表面に付着した粒子や有機性の汚染物等を効果的に除去することができる。
【解決手段】ガラス基板１４の表面１４Ａに付着する汚れを超音波を付与した洗浄液で超音波洗浄する超音波洗浄装置１０において、洗浄液１１を貯留する洗浄槽１２と、洗浄液１１中にガラス基板１４を支持する支持台１６と、周波数１〜１０ＭHzの第１の超音波と、該第１の超音波の２分の１以下の周波数の第２の超音波とをガラス基板１４に向けて交互に集束させる超音波発生手段２０と、集束させる集束位置Ｐからガラス基板１４の表面１４Ａまでの距離を調整する集束位置調整手段２２と、超音波発生手段２０による超音波の効力が被洗浄物の表面に万遍なくいきわたるように支持台１６を移動させる移動手段２４と、で構成される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハーのような洗浄対象物に対し最も効果的な洗浄がおこなえる枚葉式洗浄方法及び洗浄装置の提供にある。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物を支持する支持部材２２，２８と、支持部材に支持された被洗浄物の洗浄面に対向配置される超音波振動板３２と、該振動板と被洗浄物との間に洗浄液を供給する液供給ノズル３６と、支持部材を振動板面に対し平行移動させる駆動部材２６と、振動板を超音波振動させる超音波発振器３４とを備え、振動板の振動面を、被洗浄物の洗浄面に対し数ｍｍ以内でかつ洗浄面における平均音圧が最高点またはその近傍以内の位置に近接配備され、支持部材に支持された被洗浄物Ｗを移動させながら振動板を超音波振動させて、介在する洗浄液により被洗浄物面を洗浄するように構成している。 （もっと読む）