【課題】基板に照射される電子線の照射位置を補正することにより、精度よく基板にパターンを描画する。
【解決手段】位置コントローラ７４から出力される偏差情報から、まず回転テーブルユニット３０を構成する回転機構３２の駆動に起因する回転同期振動成分と、スライドユニット３３によって移動ステージが移動されることに起因する振動成分とを除去し、次に、偏差情報と、電子線の電流値（ｎＡ）に対する電子線の偏向感度（ｍＶ／ｎｍ）を示す特性曲線に基づいて走査電極１６に印加する電圧値を決定する。そして、決定された電圧値の電圧を走査電極１６に印加して、電子線の入射位置の補正を行う。これにより、電子線の照射位置の変動分が効率的に補正される。 （もっと読む）

【課題】インプリントレジスト層に対する凹凸パターンの転写性を向上させたインプリント用モールド構造体並びに磁気記録媒体及びその製造方法の提供。
【解決手段】半径ｄ１の円板状の基板と、該基板の一の表面上に該表面を基準として複数の凸部が配列されることによって形成された凹凸部とを有し、円板状の磁気記録媒体の基板上に形成されたインプリントレジスト組成物よりなるインプリントレジスト層に凹凸部を押圧して凹凸部に基づく凹凸パターンを転写するインプリント用モールド構造体であって、磁気記録媒体の基板の半径をｄ２とし、凹凸部が形成された凹凸部形成領域の半径方向における最大寸法をｄ３としたとき、ｄ３＜ｄ２＜ｄ１を満たし、基板の他の表面における半径ｄ３の領域の外縁部にはインプリント用モールド構造体保持手段が当接する当接部が設けられたインプリント用モールド構造体である。 （もっと読む）

【課題】アフターコロージョンの無い生産性のよいパターンドメディア型磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板表面に少なくとも磁性層およびカーボン保護層が形成された磁気記録媒体中間体の前記磁性層および保護層を部分的に除去して凹凸パターンを形成する凹凸パターンの形成方法であって、ドライエッチングを用いて磁性層を部分的に除去して凹凸パターンを形成する際、エッチングガスとしてＡｒと炭素化合物を含むデポジションガスの混合ガスを用いることを特徴とする凹凸パターンの形成方法、及び、上記凹凸パターンの形成方法を採用してなることを特徴とするパターンドメディア型磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数のサーボパターン対して１台の検査装置で対応することを可能とすることにより、安価な検査装置及び検査方法を提供することにある。
【解決手段】
磁気ヘッドまたは磁気記録媒体の特性を測定する磁気ヘッドまたは磁気記録媒体の検査において、複数のサーボパターン対応するためにサーボパターンの一部の情報を検出パターンとして設定し、前記一部の情報の復調パターンと前記検出パターンを比較し、その結果に応じて検査の動作タイミングを制御して、磁気ヘッドまたは磁気ディスクを検査する。 （もっと読む）

【課題】スタンパの打ち抜き加工の際、スタンパの切断面にバリが全く発生しないこと。
【解決手段】スタンパ原盤１２が、下敷部材１０を介して固定側打ち抜きダイ２０の刃部２０Ｂに載置された後、押出プレート１４により押圧された状態で、スタンパ原盤１２が、可動側打ち抜きダイ１８の刃部１８Ｅで下敷部材１０とともに剪断されるもの。 （もっと読む）

【課題】複数の円周トラックに沿って、連続的に精度よくパターンを描画する。
【解決手段】円周トラックＣＴｒ_１上の描画開始位置ＳＰ_１から円周トラックＣＴｒ_１に沿ってパターンの描画を開始してから、基板が２π−Δθｔｅ_１回転した位置で、電子線をＸ軸へ偏向することで電子線の入射位置を円周トラックＣＴｒ_２上へ位置決めする。そして、円周トラックＣＴｒ_２上の描画開始位置ＳＰ_２から円周トラックＣＴｒ_２に沿ってパターンの描画を開始してから、基板が２π＋Δθｔｅ_１＋Δθｔｅ_２回転（（４π＋Δθｔｅ_２）−（２π−Δθｔｅ_１））した位置で、電子線をＸ軸へ偏向することで電子線の入射位置を円周トラックＣＴｒ_３上へ位置決めする。 （もっと読む）

【課題】高記録密度の磁気記録媒体を簡易な製造方法にて実現する。
【解決手段】基板と、基板上に複数設けられた、各々が、該基板上に複数種類の原子層が交互に積層されてなる人工格子構造を有する、各々に情報が磁気的に記録される磁性ドットと、磁性ドットの相互間に設けられた、磁性ドットの人工格子構造と連続した人工格子構造を有し、人工格子構造にイオンが注入されてなる、磁性ドットの飽和磁化よりも小さい飽和磁化を有するドット間分断帯とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンが形成された基板から、容易に他の基板等に正確なパターン転写を行うことができる微細パターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも片側に凹凸パターンが形成された第一の基板１１上に、誘電体膜１５を形成する。第一の基板１１とパターン転写先の第二の基板１４とを、第一の基板１１側から順にフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２及びフッ素未含有の第二の紫外線硬化性樹脂１３を介して結合させる。第一の基板１１と第二の基板１４とを、誘電体膜１５とフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２との境界で分離し、フッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２に凹凸パターンを転写する。 （もっと読む）

【課題】サーボデータが上書きされず、かつ再生信号が弱くなることのない磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第１の保護層を有するサーボ部と、基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第２の保護層を有する記録トラック部とを具備し、前記サーボ部と前記記録トラック部は、前記基板の表面に沿って互いに異なる領域上に形成されており、前記サーボ部の記録層の上部に形成される第１の保護層の膜厚が前記記録トラック部の記録層の上部に形成される第２の保護層の膜厚よりも厚くなっていることを特徴とする磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチング速度の選択性が高く、かつレジスト等に用いる微細パターンを熱またはＵＶナノインプリント法によって形成することのできる転写材料用硬化性組成物およびその形成方法を提供する。
【解決手段】式（１）、（２）で表される構造単位を有し、分子の末端が−Ｏ−Ｓｉ（ＯＲ）₃または−Ｏ−Ｓｉ（ＯＸ）₃である硬化性ケイ素化合物を含有する、微細パターンを形成するための転写材料用硬化性組成物およびこれを用いた微細パターン形成方法。




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【課題】凸部間のばらつきを抑制したモールド構造体用原盤の製造方法等の提供。
【解決手段】原盤用基板の表面にレジスト層を形成し、該レジスト層を露光及び現像して、該原盤用基板の表面に、前記原盤凹凸パターンを形成するための略同心円弧状の原盤レジストパターンを形成する原盤レジストパターン形成工程と、前記略同心円弧状の原盤レジストパターンのうち、内周側のレジストパターンが外周側のレジストパターンよりも多く削られる条件で、又は外周側のレジストパターンが内周側のレジストパターンよりも多く削られる条件で、前記原盤レジストパターンを選択的にエッチングする選択的エッチング工程と、前記選択的エッチング工程後の原盤レジストパターンをマスクとして、前記原盤用基板をエッチングし原盤凹凸パターンを形成する原盤凹凸パターン形成工程とを含むモールド構造体用原盤の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 データ領域につき欠陥の少ない良好な加工形状を有する磁気記録媒体を作成するためのインプリント用スタンパ，そのインプリント用スタンパの製造方法、そのインプリント用スタンパを用いて製造された磁気記録媒体、その磁気記録媒体の製造方法、及びその磁気記録媒体を有する磁気ディスク装置を提供することができる。
【解決手段】
本発明のインプリント用スタンパは、複数の記録ビットを含む磁気記録媒体を作成するために用いられるインプリント用スタンパであって、前記複数の記録ビットを形成するための複数の第１の凹部１０２と、前記複数の第１の凹部１０２を互いに分離するように設けられた壁部１０１と、前記壁部１０１に設けられ、１つの前記第１の凹部１０２と隣接する前記第１の凹部１０２とを接続するように設けられた第２の凹部１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】直動ステージとスピンドル回転機構を用いたビーム露光装置において、簡単で安価な回路構成で、円弧パターンを原盤に露光する。
【解決手段】ＤＤＳ(Direct Digital synthesizer)により、スピンドルクロック、ライトクロック、ステージクロックを生成する回路（８０，８２，８４）と、ライトクロックから、１回転に１回程度、特定の描画位置を示すトリガ信号を発生するトリガ発生回路（８７）と、そのトリガが発生した半径及び円周方向位置を測定する測定回路（８８）と、測定結果により、クロック周波数を調整する周波数データ設定回路（８９）とを有する。磁気ディスク媒体等のサーボパターンのような円弧状の整列ピットを、より簡単な回路によって実現できる。 （もっと読む）

【課題】レジストの直下に剥離しやすい層を新たに設けることで、レジストを簡単かつ確実に除去することができるため、表面に露出する層にダメージを与えずに磁気トラックパターンを形成することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００の製造方法は、ディスク基体１１０上に、磁気記録層１２２を成膜し、磁気記録層の上に保護層１２６を成膜し、保護層の上に剥離層１３０を成膜し、剥離層の上にレジスト層１３２を成膜し、レジスト層および剥離層を加工することで当該レジスト層および剥離層の厚さを部分的に変化させ所定のパターンを形成し、所定のパターンに基づいて剥離層、レジスト層ごと磁気記録層をイオンミリングすることにより凸部と凹部を形成し、剥離層を溶剤で除去することによりレジスト層を除去することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】書込みエラーの発生を抑えて情報を高い精度で簡単に記録することができる設計上の自由度が高いパターンドメディアの磁気ディスクと、そのような磁気ディスクを製造することができる磁気ディスク製造方法を提供する。
【解決手段】ディスク基板と、ディスク基板上に、同心円状に並んで２次元的に並ぶ、外周側ほど周回方向の長さが長い、各々が個別に磁化を保持する複数のドットとを備えた磁気ディスク１００において、各ドットを、ディスク基板に交わる方向を磁化容易軸とする結晶磁気異方性を有する磁性材料で形成するとともに、結晶磁気異方性を弱めるイオン注入を施すものであり、内周側から外周側にかけての同心円状の４つの領域１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄへのイオン注入量を、内周側の領域から外周側の領域にかけて４段階に亘って減少させる。 （もっと読む）

【課題】フリンジ特性の劣化を招くことなく、所望のトラック密度を達成できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に強磁性層、カーボンハードマスク層、および残渣均一化層を積層し、残渣均一化層にレジストを塗付し、インプリントによりレジストに凹凸パターンを転写してレジストパターンを形成し、レジストパターンの凹部に残存しているレジスト残渣を除去し、レジストパターンをマスクとして残渣均一化層をパターニングし、レジストパターンをマスクとしてカーボンハードマスク層をパターニングし、残渣均一化層のパターンをマスクとして強磁性層をエッチングして強磁性層の凹凸パターンを形成することを含み、強磁性層をエッチングする際に、残渣均一化層のエッチング時間が強磁性層のエッチング時間よりも短いことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】磁性粒子間の磁気的な分離を十分に行うことができ、しかも垂直磁気記録媒体を容易に製造することができる垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上に、磁性粒子１５ａとこの磁性粒子１５ａを取り囲むＭｏＣｕＯ１５ｂとからなるグラニュラー膜１５を形成する。このグラニュラー膜１５をアルカリ溶液または水を用いてウエットエッチングすることによりＭｏＣｕＯ１５ｂを除去し、空隙とする。こうしてＭｏＣｕＯ１５ｂを除去した膜を磁気記録層として用いる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに良好な浮上性を与え、かつ保護膜との密着性に優れた非磁性層を備えた磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された軟磁性層と、前記軟磁性層上に互いに分離して設けられた凸状の強磁性層からなる複数の磁性パターンと、前記複数の磁性パターン間に形成された、窒素濃度が基板側よりも表面側で高い非磁性層とを具備した磁気記録媒体を搭載したことを特徴とする磁気記録装置。 （もっと読む）

【課題】磁気記録を行う複数の磁性体記録要素が非磁性体によって分離されている磁気記録層を有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】各磁性体記録要素を分離する空隙には中間金属層を露出させ、一方、磁性体記録要素の上部には非金属層を形成し、これらの性質の違いにより、超臨界流体に溶解した非磁性金属の有機金属化合物を還元する際に、金属中間層表面に選択的に非磁性体金属を堆積させる。 （もっと読む）

【課題】ディスクリート方式、または、ビットパターン方式の磁気記録媒体で、表面に凹凸が残存してもヘッドの浮上特性が安定し、高記録密度に対応できる磁気記録媒体を高い生産効率で提供する。
【解決手段】円盤状基板の少なくとも一方の表面に磁気記録パターンを有し、前記磁気記録パターンに対応した凹凸を表面に有する磁気記録媒体の評価方法であって、回転させた前記磁気記録媒体の表面にセンサーを取り付けたヘッドスライダを浮上走行させ、前記ヘッドスライダと前記磁気記録媒体とが非接触状態で前記センサーから出力される信号を検知し、この信号から前記磁気記録媒体の良否を判断することを特徴とする磁気記録媒体の評価方法を採用する。 （もっと読む）